研究活動情報

• 2017年01月 電気学会, 平成28年電気学会優秀論文発表（IEEJ Excellent Presentation Award）, 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光

  池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2016年10月 電気学会, 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞, 金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ波長計測マイクロ振動子デバイス

  菅野 公二, 田中 祐樹, 前田 悦男, 米谷 玲皇, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2015年10月 電気学会, 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞, 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA 塩基の表面増強ラマン分光

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2015年01月 電気学会, 平成26年電気学会優秀論文発表（IEEJ Excellent Presentation Award）, 金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

  竹下 俊光, 末國 啓輔, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞

• Fabrication of Tri-Axial MEMS Tactile Sensor for Minimally Invasive Medical Application using Wafer-Level Packaging

  Tomoya Imanishi, Keiju Miyamoto, Shuntaro Higashi, Shunsuke Oki, Akio Uesugi, Koji Sugano, Takanori Aono, Yoshitada Isono

  Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 2023年01月, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 143(1) (1), 13 - 18

  研究論文（学術雑誌）


• Dynamic surface-enhanced Raman spectroscopy of DNA oligomer with a single hotspot of a gold nanoparticle dimer

  Koji Sugano, Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Akio Uesugi, Yoshitada Isono

  2022年01月, Optics Letters, 47(2) (2), 373 - 376, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Integration of silicon nanowire bridges in microtrenches with perpendicular bottom-up growth promoted by surface nanoholes

  Akio Uesugi, Shusuke Nishiyori, Tatsuya Nakagami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2022年, Japanese Journal of Applied Physics, 61(7) (7), 英語

  [査読有り]


• Surface-Potential-Modulated Piezoresistive Effect of Core-Shell 3C-SiC Nanowires via Passivation

  Akio Uesugi, Shinya Nakata, Kodai Inoyama, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2022年, Nanotechnology, 33(50) (50), 英語

  [査読有り]


• Effects of beam length and vibration amplitude on measurement resolution in microresonator-based optical sensing

  Naoki Kondo, Kohei Takegami, Naoyuki Arai, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2022年, Microsystem Technologies, 28(5) (5), 1281 - 1290, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

  神戸大学リポジトリ（Kernel）へのリンク


• Spectroscopic measurement of water using an electrostatic transducer with near‐infrared absorber

  Takamasa Suzuki, Kota Nakafuji, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  Wiley, 2021年12月, Electronics and Communications in Japan, 104(4) (4), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Spectroscopic Measurement of Water Using an Electrostatic Transducer with Near-infrared Absorber

  Takamasa Suzuki, Kota Nakafuji, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 2021年09月, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 141(9) (9), 321 - 326, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Silicon-coated gold nano diffraction grating structures as plasmonic absorber for short wavelength infrared light

  Tatsuya Tsubota, Naoyuki Arai, Atsuya Harada, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  The Optical Society, 2021年08月, Journal of the Optical Society of America B, 38(10) (10), 2863 - 2872, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Vapor–liquid–solid growth of silicon nanowires from surface nanoholes formed with metal-assisted chemical etching

  Akio Uesugi, Taiju Horita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2021年05月, Japanese Journal of Applied Physics, 60(5) (5), 055502 - 055502, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Dynamic electrical measurement of biomolecule behavior via plasmonically-excited nanogap fabricated by electromigration

  Akihiro Morita, Takayuki Sumitomo, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2021年03月, Nano Express, 2(1) (1), 010032 - 010032, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Three-axis force sensor miniaturized by 3D microstructuring using high-temperature punch creep-forming process

  Kyosuke Nimura, Kenji Osaka, Kazuma Sawada, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2021年02月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 31(2) (2), 025009 - 025009, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Anomalous Piezoresistive Changes of Core-Shell Structured SIC Nanowires

  Akio Uesugi, Shinya Nakata, Kodai Inoyama, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IEEE, 2021年01月, 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• 近赤外光吸収体を有する静電型マイクロ振動デバイスを用いた水の分光測定

  鈴木隆正, 中藤康太, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2021年, 141(8) (8), 321 - 326, 日本語

  [査読有り]


• Wavelength-dependent near-infrared microbolometer for short-wavelength infrared light with gold nanowire grating optical absorber

  Tatsuya Tsubota, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2021年, Microsystem Technologies, 27(3) (3), 997 - 1005

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Detection of wavelength shift of near-infrared laser using mechanical microresonator-based sensor with Si-covered gold nanorods as optical absorber

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Akio Uesugi, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  Elsevier BV, 2020年11月, Sensors and Actuators A: Physical, 315, 112337 - 112337, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Effect of clamped beam pattern on resonant frequency shift of microresonator under near-infrared laser irradiation

  Kohei Takegami, Kota Nakafuji, Naoyuki Arai, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2020年, Japanese Journal of Applied Physics, 59(SI) (SI)

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）

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• Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性

  新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  一般社団法人 電気学会, 2020年, 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 140(4) (4), 72 - 78, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Strain engineering of core–shell silicon carbide nanowires for mechanical and piezoresistive characterizations

  Shinya Nakata, Akio Uesugi, Koji Sugano, Francesca Rossi, Giancarlo Salviati, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  2019年04月, Nanotechnology, 30(26) (26), 265702, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MANIPULATION OF BIOMOLECULES INTO NANOGAP BY PLASMONIC OPTICAL EXCITATION FOR HIGHLY SENSITIVE BIOSENSING

  Akihiro Morita, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2019年, 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 166 - 169, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• SERS DETECTION OF A SINGLE NUCLEOBASE IN A DNA OLIGOMER USING A GOLD NANOPARTICLE DIMER

  Koji Sugano, Katsunari Maruoka, Akio Uesugi, Yoshitada Isono

  2019年, 2019 20TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS & EUROSENSORS XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 979 - 982, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Eutectic-based wafer-level-packaging technique for piezoresistive MEMS accelerometers and bond characterization using molecular dynamics simulations

  T. Aono, A. Kazama, R. Okada, T. Iwasaki, Y. Isono

  Institute of Physics Publishing, 2018年01月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 28(3) (3), 035004, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• A Novel 3-axis Tiny Tactile Sensor Developed by 3-D Microstructuring using Punch Creep Forming Process

  Kenji Osaka, Satoshi Nakata, Kensuku Yamamoto, Takao Toyoda, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2018年01月, The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2018), 1036 - 1039, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• SERS detection and analysis of a single DNA oligomer using a single gold nanoparticle dimer

  Katsunari Maruoka, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2017年07月, TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 468 - 471, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Single-molecule surface-enhanced Raman spectroscopy of 4,4 '-bipyridine on a prefabricated substrate with directionally arrayed gold nanoparticle dimers

  Koji Sugano, Kiyohito Aiba, Kohei Ikegami, Yoshitada Isono

  2017年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56(6) (6), 06GK01, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Characterization method for relative Raman enhancement for surface-enhanced Raman spectroscopy using gold nanoparticle dimer array

  Koji Sugano, Kohei Ikegami, Yoshitada Isono

  2017年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56(6) (6), 06GK03, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Bonding Strength Characterization of Eutectic-based WLP using Molecular Dynamics and Wafer Level Shear Testing

  Takanori Aono, Atsushi Kazama, Ryoji Okada, Tomio Iwasaki, Yoshitada Isono

  2017年06月, The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017), 1199 - 1202, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy Analysis Device with Gold Nanoparticle Arranged Nanochannel

  Toshimitsu Takeshita, Keisuke Suekuni, Kiyohito Aiba, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2017年03月, Electronics and Communications in Japan, 100(4) (4), 33 - 41, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY ANALYSIS OF DNA BASES USING ARRAYED AND SINGLE DIMER OF GOLD NANOPARTICLE

  Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2017年, 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 2017(MEMS) (MEMS), 408 - 411, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Microresonator with gold nanorod array for laser wavelength measurement by photo−thermal conversion

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  2017年, Proceedings of The 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2017), 159 - 162, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• MICRORESONATOR WITH GOLD NANOROD ARRAY FOR LASER WAVELENGTH MEASUREMENT BY PHOTO-THERMAL CONVERSION

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  2017年, 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 2017(MEMS) (MEMS), 159 - 162, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Development of wafer-level-packaging technology for simultaneous sealing of accelerometer and gyroscope under different pressures

  T. Aono, K. Suzuki, M. Kanamaru, R. Okada, D. Maeda, M. Hayashi, Y. Isono

  2016年10月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 26(10) (10), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication and characterization of a CNT forest integrated micromechanical resonator for a rarefied gas analyzer in a medium vacuum atmosphere

  Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Ryota Tsutsui, Hiroyuki Kishihara, Naoki Matsuzuka, Ichiro Yamashita, Yukiharu Uraoka, Yoshitada Isono

  2016年07月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 26(7) (7), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Optical Properties of Strained Wurtzite Gallium Phosphide Nanowires

  J. Greil, S. Assali, Y. Isono, A. Belabbes, F. Bechstedt, F. O. Valega Mackenzie, A. Yu. Silov, E. P. A. M. Bakkers, J. E. M. Haverkort

  2016年06月, NANO LETTERS, 16(6) (6), 3703 - 3709, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Semi-empirical calculation for design of flexural mode silicon Mechanical resonator with variable cross section

  Naoki Matsuzuka, Takuya Hara, Yoshitada Isono

  2016年06月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 243, 25 - 34, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MEMS-BASED MECHANICAL CHACTERIZATION OF CORE-SHELL SILICON CARBIDE NANO WIRES FOR HARSH ENVIRONMENTAL NANONIECHANICAL ELEMENTS

  Shinya Nakata, Koji Sugano, Mario Negri, Francesca Rossi, Giancarlo Salyiati, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  2016年, 2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 2016-February, 543 - 546, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Electrical Resistance Characterization of Strain-Induced Multiwalled Carbon Nanotubes Using MEMS-Based Strain Engineering Device

  Kenji Yamauchi, Keisuke Obata, Shinya Nakata, Koji Sugano, Kisaragi Yashiro, Yoshitada Isono

  2016年, SENSORS AND MATERIALS, 28(2) (2), 75 - 88, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたアデニン分子の高感度表面増強ラマン分光検出

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 山崎 真之亮, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 136(6) (6), 256 - 260, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• 金粒子配列ナノチャネルを用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

  竹下 俊光, 菅野 公二, 末國 啓輔, 饗庭 清仁, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年06月, 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 135(6) (6), 214 - 220, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy using Linearly Arranged Gold Nanoparticles Embedded in Nanochannels

  Koji Sugano, Keisuke Suekuni, Toshimitsu Takeshita, Kiyohito Aiba, Yoshitada Isono

  A micro/nanofluidic device containing linearly arranged gold nanoparticles embedded in nanochannels was developed for highly sensitive and highly efficient surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS). The Si nanochannel array was fabricated using a photolithography-based process. The nanochannel width was controlled from 100 to 400 nm. Synthesized particles of mean diameter 100 nm were arranged linearly in the nanochannels, using a nanotrench-guided self-assembly process. We developed a process for integrating linearly arranged nanoparticles and micro/nanofluidic components. The particle geometry provided significant Raman enhancement. Furthermore, efficient Raman analysis was possible by scanning a laser spot, because the particles were arranged in one direction. The fabricated structures were evaluated for SERS using 4,4′-bipyridine molecules at concentrations of 1 mM and 10 µM. The Raman peaks was obtained from a few hot spots. The Raman spectra showed that the molecule-specific Raman intensities were correlated with the number of hot spots in the nanochannel.

  Institute of Physics, 2015年05月, Japanese Journal of Applied Physics, 54(6S1) (6S1), 06FL03, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ANOMALOUS RESISTANCE CHANGE OF ULTRASTRAINED INDIVIDUAL MWCNT USING MEMS-BASED STRAIN ENGINEERING

  K. Yamauchi, T. Kuno, K. Sugano, Y. Isono

  2015年, 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 28th Vol.1, 369 - 372, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Electrostatic actuated strain engineering in monolithically integrated VLS grown silicon nanowires

  Stefan Wagesreither, Emmerich Bertagnolli, Shinya Kawase, Yoshitada Isono, Alois Lugstein

  2014年11月, NANOTECHNOLOGY, 25(45) (45), 1 - 6, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Characterization of Interlayer Sliding Deformation for Individual Multiwalled Carbon Nanotubes Using Electrostatically Actuated Nanotensile Testing Device

  Hyun-Jin Oh, Hideaki Omori, Mitsutaka Sadakata, Ikko Tsubokura, Yoshitada Isono

  2014年08月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 23(4) (4), 944 - 954, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Mechanical characterization of sub-100-nm-thick Au thin films by electrostatically actuated tensile testing with several strain rates

  Hyun-Jin Oh, Shinya Kawase, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  2014年02月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 53(2) (2), 027201, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• FABRICATION OF GOLD NANOPARTICLE-EMBEDDED NANOCHANNELS FOR SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY

  Keisuke Suekuni, Toshimitsu Takeshita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2014年, 2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 27th Vol.2, 1059 - 1062, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• DIRECT MEASUREMENT OF SHEAR PIEZORESISTANCE COEFFICIENT ON SINGLE CRYSTAL SILICON NANOWIRE BY ASYMMETRICAL FOUR-POINT BENDING TEST

  Taiki Kimura, Naoki Saito, Toshimitsu Takeshita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2014年, 2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 27th Vol.1, 600 - 603, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Scanning probe lithography with negative and positive electron beam resists

  Lydia Anggraini, Bungo Tanaka, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono

  2013年05月, Japanese Journal of Applied Physics, 52(5) (5), 1 - 56501, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• DEVELOPMENT OF MWCNT EMBEDDED MICROMECHANICAL RESONATOR WORKING AS RAREFIED GAS SENSOR

  H. Kishihara, I. Hanasaki, N. Matsuzuka, I. Yamashita, Y. Uraoka, Y. Isono

  2013年, 26TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2013), 985 - 988, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Experimental Nano Mechanics for Silicon & Carbon Nanomaterials Using MEMS Technology

  Yoshitada Isono

  2012年11月, 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Kobe, 2012., 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Biomolecular Adsorption Control for CNT-domain Fabrication

  Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono, Bin Zheng, Yukiharu Uraoka, Ichiro Yamashita

  2012年10月, 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, Kobe, 2012, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Detection of diffusion anisotropy due to particle asymmetry from single-particle tracking of Brownian motion by the large-deviation principle

  Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  2012年05月, PHYSICAL REVIEW E, 85(5) (5), 1 - 51134, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• DEVELOPMENT OF IN-SITU SEM NANO MANIPULATION & MEMS-BASED TESTING SYSTEM WITH ULTRA-PRECISION DISPLACEMENT SENSORS FOR NANOMECHANICS OF MWCNTS

  Hideaki Omori, Mitsutaka Sadakata, Ikko Tsubokura, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  2012年, 2012 IEEE 25TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 25th Vol.1, 412 - 415, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Location and Density Control of Carbon Nanotubes Synthesized Using Ferritin Molecules

  Itsuo Hanasaki, Toshihiro Tanaka, Yoshitada Isono, Bin Zheng, Yukiharu Uraoka, Ichiro Yamashita

  2011年07月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 50(7) (7), 1 - 75102, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Adsorption Density Control of Ferritin Molecules by Multistep Alternate Coating

  Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono, Bin Zheng, Yukiharu Uraoka, Ichiro Yamashita

  2011年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 50(6) (6), 1 - 65201, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• STRAIN RATE DEPENDENCE OF MECHANICAL PROPERTIES FOR SUB 100 NM-THICK AU FILM USING ELECTROSTATICALLY ACTUATED NANO TENSILE TESTING DEVICE

  Hyun-Jin Oh, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono, Seung-Woo Han, Hak-Joo Lee

  2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 24th Vol.1, 493 - 496, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Bonding of a Carbon Nanotube Film to a Au Film at Low Temperature and Contact Resistance of the Film under Micronewton Loads

  Hiroshi Kinoshita, Yoshitada Isono, Nobuo Ohmae

  A process for bonding a carbon nanotube (CNT) film to a Au film at low temperature was developed with a view to using the CNT films as electrical contact materials in radio-frequency microelectromechanical systems (RF MEMS) switches. First, a CNT film was synthesized on a silicon substrate at 750 °C and subsequently coated with Au at room temperature. Finally, the Au-coated CNT film was bonded at 100 °C to a Au film, which was then deposited on a silicon substrate to act as a transmission line. An apparatus was developed to measure contact resistances and forces under contact conditions mimicking those that will be encountered in actual RF MEMS switches, such as micronewton loads and square-micrometer contact areas. Contact resistance and force of the bonded CNT film sample were simultaneously measured as a function of displacement between the sample and an electrode Au tip and compared with those for a Au film and Au-coated CNT film. The bonded CNT film sample had no adhesion force, but higher contact resistance than the other samples.

  Japanese Society of Tribologists, 2011年01月, Tribology Online, 6(4) (4), 189 - 192, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• A NOVEL DFM CANTILEVER WITH TUNING FUNCTION OF RESONANT FREQUENCY FOR BIOMATERIAL IMAGING

  Yoshihiko Hashimoto, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 24th Vol.2, 1217 - 1220, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Nanolithography on the electron beam resist using the scanning probe microscope cantilever

  Lydia Anggraini, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono

  Institute for Research and Community Services, Institut Teknologi Bandung, 2010年, ITB Journal of Science, 42(1) (1), 1 - 10, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Simulation of piezoresistivity in n -type single-crystal silicon on the basis of the first-principles band structure

  Koichi Nakamura, Yoshitada Isono, Toshiyuki Toriyama, Susumu Sugiyama

  2009年08月, Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics, 80(4) (4), 1 - 45205, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• First-Principles Simulation on Orientation Dependence of Piezoresistance Properties in Silicon Nanowires

  Koichi Nakamura, Yoshitada Isono, Toshiyuki Toriyama, Susumu Sugiyama

  2009年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 48(6) (6), 1 - 6, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fatigue Life Prediction Criterion for Micro-Nanoscale Single-Crystal Silicon Structures

  Takahiro Namazu, Yoshitada Isono

  2009年02月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 18(1) (1), 129 - 137, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fatigue Life Prediction Criterion for Micro–Nanoscale Single-Crystal Silicon Structures

  NAMAZU Takahiro, ISONO Yoshitada

  2009年, Journal of Micro Electro Mechanical Systems, Vol.18, No.1, pp. 129 - 137, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• The piezoresistance effect of FIB-deposited carbon nanowires under severe strain

  Mario Kiuchi, Shinji Matsui, Yoshitada Isono

  2008年06月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 18(6) (6), 1 - 10, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• First-principles study on piezoresistance effect in silicon nanowires

  Koichi Nakamura, Yoshitada Isono, Toshiyuki Toriyama

  2008年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 47(6) (6), 5132 - 5138, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Scanning probe parallel nanolithography with multiprobe cantilever array fabricated by bulk silicon micromachining

  Hensy Gandjar, Yuki Takagi, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono

  2008年05月, IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3(3) (3), 260 - 267, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Influence of gas flow ratio in PE-CVD process on mechanical properties of silicon nitride film

  Hyun-Jin Oh, Yoshitada Isono, Takahiro Namazu, Yoshihiro Saito, Akira Yamaguchi

  2008年05月, IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3(3) (3), 281 - 289, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MHz帯域RF-MEMS共振器の設計開発(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

  松塚 直樹, 磯野 吉正

  This paper describes the design, fabrication and measurement of an electrostatic RF-MEMS resonator with a resonant frequency in an MHz range. In the design, the Duffing equation was applied to a vibration model of a mechanical oscillator, for precisely analyzing its vibration characteristic. Electromechanical coupling provided us with an equivalent circuit of the MEMS resonator vibrating the oscillator, which enables to analyze the impedance of the resonator. In the fabrication, sub-micron gaps between the oscillator and two electrodes were created by combining focused ion beam (FIB) sputtering with deep reactive ion etching (Deep-RIE), for decreasing a driving voltage and increasing a detection capacitance. We have, so far, succeeded in fabricating the RF-MEMS resonator with a micro-mechanical oscillator and the gaps of 600 nm in width, and measuring the resonant frequency in an MHz range.

  一般社団法人日本機械学会, 2008年, 年次大会講演論文集, 2008, 153 - 154, 日本語


• 単結晶シリコン材料のピエゾ抵抗物性シミュレーション

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山 寿之

  We have simulated the piezoresistivity in single-crystal silicon materials based on the first-principles calculations of model structures. Our novel approach to calculate the piezoresistance coefficients is valid qualitatively for electron transport in the multi-valley conduction band structure of n-type bulk silicon, in particular, the shear piezoresistance coefficient π_<44> can be presented clearly as a negative constant. For p-type bulk silicon, an easy additional procedure for the spin-orbit coupling in the valence bands gives an appropriate hole distribution and piezoresistance coefficients in a qualitative level. The calculation result that p-type <001> silicon nanowire will have a giant piezoresistivity is considered to be reliable.

  一般社団法人日本機械学会, 2008年, 年次大会講演論文集, 2008, 155 - 156, 日本語


• Mechanical characteristics of FIB deposited carbon nanowires using an electrostatic actuated nano tensile testing device

  Mario Kiuchi, Shinji Matsui, Yoshitada Isono

  2007年04月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16(2) (2), 191 - 201, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MEMS構成材料の引張り強度評価に関する研究

  鈴木 竜生, 磯野 吉正, 森井 明雄

  This paper proposes a novel tensile testing technique using CCD camera system for evaluating mechanical properties of MEMS materials. Single crystal silicon (SCS) films with 2 micron thick and polycrystalline silicon (Polysilicon) films with 1 micron thick were tested. Here, elongation at the gauge of specimen was directly measured by the CCD camera. Consequently, we have succeeded in evaluating the tensile strength and tensile strain on a micro scale. It was found that the averaged Young's modules of SCS was 168.3GPa, which is close to theoretical value in [110] direction on (100) plane of SCS. The fracture strength of SCS ranged from 1.8 to 2.8GPa. The averaged Young's modules of polysilicon was 161.1GPa. The fracture strength of Polysilicon ranged from 1.2 to 1.7GPa.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年, 年次大会講演論文集, 2007, 731 - 732, 日本語


• 非対称四点曲げ試験法によるマイクロSi構造体のせん断強度評価

  鈴木 竜生, 磯野 吉正, 小河 真人

  This paper proposes a novel shear testing technique for MEMS materials based on an Asymmetrical Four-Point Bending (AFPB) method This research has newly developed a shear tester and a AFPB test specimen that are able to apply pure shear stress loading to a micro single crystal silicon (SCS) specimen with "U" and "V" shaped notches, in order to estimate shear strength and fracture toughness. Consequently, we have succeeded in evaluating the shear strength and shear strain of SCS on a micro scale. Shear modules of SCS averaged 58.7GPa, which is close to theoretical value in [112] direction on (110) plane of SCS. The fracture toughness was 3.6 to 4.5 MPa√m. The shear strength was 0.6 to 2.1GPa in average. The crack initiated on the slip plane at the bottom of notches, whereas it propagated perpendicularly to the maximum principal stress direction dominated by mode II predicted by FEM.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年, 年次大会講演論文集, 2007, 719 - 720, 日本語


• Development of scanning probe parallel nanowriting system with electron beam resist

  Naoki Matsuzuka, Bungo Tanaka, Toshihiko Nagarmira, Tobru Sasaki, Takahiro Namaza, Yoshitada Isono

  2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Ti-NiSMA film-actuated 2-D multi-probe array for scanning probe nano-lithography on a wide area

  Y. Okamura, T. Namazu, D. Kamoyama, N. Urushihara, T. Sasaki, T. Nagamura, Y. Isono

  2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Development of AFM tensile test technique for evaluating mechanical properties of sub-micron thick DLC films

  Y Isono, T Namazu, N Terayama

  2006年02月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 15(1) (1), 169 - 180, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Mechanical characterization of single crystal silicon and UV-LIGA nickel thin films using tensile tester operated in AFM

  Y Lee, J Tada, Y Isono

  2005年08月, FATIGUE & FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS & STRUCTURES, 28(8) (8), 675 - 686, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fatigue characteristics of the Si moveable comb inserted into MEMS optical devices

  T Shimazu, M Katayama, Y Isono

  2005年05月, IEICE TRANSACTIONS ON ELECTRONICS, E88C(5) (5), 1020 - 1024, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Effect of gas flow ratio in PE-CVD on elastic properties of sub-micron thick silicon nitride films for MEMS

  Y Isono, T Namazu, Y Saito, A Yamaguchi, N Fukushima

  2005年, Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2, 847 - 850, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Silicon anisotropic wet etching simulation using molecular dynamics

  T Kakinaga, A Hatai, O Tabata, Y Isono

  2005年, Transducers '05, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2, 816 - 819, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価

  海野 敏典, 鳥山 寿之, 磯野 吉正, 杉山 進

  2005年, エレクトロニクス実装学会誌, 8(2) (2), 125 - 132, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Inelastic Constitutive Relationship of Electroplated Nickel Films at Elevated Temperatures for Design of Micro Connector

  Yoshitada Isono, Junichi Tada, Toshinori Unno, Susumu Sugiyama, Toshiyuki Toriyama

  2005年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 125(7) (7), 294 - 301, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Development of full-reversed bending fatigue tester based on AFM technique for cyclic damage evaluation of MEMS

  Y Isono, T Kikuchi, H Kitoh

  2005年, ADVANCES IN FRACTURE AND STRENGTH, PTS 1- 4, 297-300, 567 - 573, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Atomic force microscope cantilever array for parallel lithography of quantum devices

  K Kakushima, T Watanabe, K Shimamoto, T Gouda, M Ataka, H Mimura, Y Isono, G Hashiguchi, Y Mihara, H Fujita

  2004年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 43(6B) (6B), 4041 - 4044, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Characteristics of Ni electroformed micro connector used for high density packaging

  Toshinori Unno, Toshiyuki Toriyama, Yoshitada Isono, Susumu Sugiyama

  2004年, Proceedings of the 2004 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS2004; The Fourth Symposium 'Micro-NanoMechatronics for and Information-Based Society' The 21st Century, 105 - 108, 英語

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• AFM技術に基づいたマイクロ材料疲労試験機の開発

  鬼頭 宏明, 菊池 栄成, 磯野 吉正

  We newly developed a full-reversed bending fatigue tester for evaluating low-cycle fatigue of MEMS materials. This paper focuses on design of the micro fatigue tester based on AFM technique, which can apply tension/compression loads to a microscale specimen of cantilever type, and establishment of the bending fatigue test procedure. The efficacy of the design and driven concept is demonstrated by applying a cyclic loading to the specimen and direct measurement of the applied load of the specimen using a bult-in laser reflection technique. This research succeeded in obtaining an elastic hysteresis loop of microscale specimen.

  一般社団法人日本機械学会, 2004年, 年次大会講演論文集, 2004, 371 - 372, 日本語


• マイクロ・ナノ単結晶Siの高サイクル疲労試験と疲労寿命予測パラメータの提案

  生津 資大, 磯野 吉正

  This paper proposes a new high-cycle fatigue parameter for correlating fatigue lives of micro/nanoscale single crystal silicon (Si) structures under bending and tensile stressing. Fatigue tests of micro/nanoscale Si structures under bending/tensile stressing were conducted in order to reveal the influence of deformation mode on Si fatigue lives. Consequently, the authors enabled to propose a shear stress parameter for predicting fatigue lives of Si structures ranging from micro- to nanoscale, regardless of deformation mode and specimen size. The parameter can be used for reliable design of MEMS/NEMS components subjected to fluctuating stress.

  一般社団法人日本機械学会, 2004年, 年次大会講演論文集, 2004, 369 - 370, 日本語


• High-cycle fatigue damage evaluation for micro-nanoscale single crystal silicon under bending and tensile stressing

  T Namazu, Y Isono

  2004年, MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 149 - 152, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• 傾斜機能材料の焼結特性の基礎的考察

  田中 武司, 磯野 吉正, 河合 竜弥

  The present paper describes the sintering characteristics of functionally gradient material (hereafter f.g.m.), such as aluminum nitride/HSS and zirconia/Ni, in order to clarify the influences of sintering conditions to the physical and mechanical properties of these compounds, and their applications to a kind of tool materials. It is clarified that both AIN and ZrO_2 compounds that were successfully fabricated by SPS, provide the moderate physical and mechanical properties. Micro Vickers hardness of AIN/10wt%HSS compound is larger than that of AIN compound. The hardness of ZrO_2/Ni compound is smaller than that of ZrO_2 compound due to the softness of Ni. The surface roughness of aluminum alloy cut by both AIN/HSS and ZrO_2/Ni f.g.ms. is slightly smaller than that cut by P20 in wet and dry cutting. The forces in cutting by AIN/HSS f.g.m are smaller than those in cutting by P20 and ZrO_2/Ni f.g.m. The flank wear of P20 is less than that of both AIN/HSS and ZrO_2/Ni f.g.ms. due to a larger hardness of tungsten carbide. However, the wear rates of P20 are larger than those of functionally gradient materials.

  公益社団法人精密工学会, 2004年, 精密工学会誌, Vol. 70, No. 6, pp. 818-822(6) (6), 818 - 822, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• パラレルAFMリソグラフィー用カンチレバーの作製

  角嶋 邦之, 渡辺 稔之, 島本 浩司, 合田 拓史, 安宅 学, 三村 秀典, 磯野 吉正, 橋口 原, 藤田 博之

  2004年, 電気学会誌E, 124(7) (7), 248 - 254, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata

  Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Noriaki Baba, Yoshitada Isono, J. G. Korvink, K. H. Ehrmann

  2004年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 124(1) (1), 7 - 13, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Quasi-static bending test of nano-scale SiO2 wire at intermediate temperatures using AFM-based technique

  T Namazu, Y Isono

  2003年03月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 104(1) (1), 78 - 85, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Verification of etching rule in CAES

  Noriaki Baba, Koji Makino, Takamitsu Kakinaga, Osamu Tabata, Yoshitada Isono, J. G. Korvínk

  Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2003年, MHS 2003 - Proceedings of 2003 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, 277 - 280, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• High-cycle fatigue test of nanoscale Si and SiO2 wires based on AFM technique

  T Namazu, Y Isono

  2003年, MEMS-03: IEEE THE SIXTEENTH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 662 - 665, 英語

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• ジルコニア/ニッケル複合材料の強度に及ぼす相変態と研削面粗さの影響について

  田中 武司, 磯野 吉正

  The phase transformation of zirconia and the deterioration of ground surface are provided in grinding zirconia/nickel compounds. The present paper describes the influences of these phenomena to the strength of compounds. The bending strength of compounds decreases with an increase of nickel contents. The cracks propagate at the interface between zirconia and nickel in the zirconia-enriched compounds. Monoclinic phase contents increase by phase transformation of zirconia in grinding. However, its increase rate lowers with an increase of nickel contents. The bending strength of compounds increases with more zirconia by phase transformation after grinding, and decreases with more nickel than about 50wt% nickel contents due to large ground surface roughness. The increase of compressive residual stress in zirconia depends on phase transformation derived by grinding, and the residual stress in nickel changes from tensile to compressive accompanying with more contents of nickel.

  公益社団法人精密工学会, 2003年, 精密工学会誌, 69(8) (8), 1087 - 1092, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• シリコン添加水素化アモルファスカーボン薄膜の機械的性質に及ぼす膜構成元素の影響

  磯野 吉正, 谷渕 栄仁, 田中 武司, 寺山 暢之

  This paper studies elementary and structural effects on mechanical properties of silicon incorporated amorphous hydrogenous carbon films. Fifteen kinds of the carbon films were prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition method of the penning ionization gauge discharge type using argon, acethylen and tetramethylsilane gases. X-ray photoelectron and Raman spectroscopes performed elementary and microstructural analyses of the carbon films, respectively. Nano-indentation tests were also carried out in order to characterize the reduced elastic modulus and hardness of the carbon films. Intermixture of the tetramethylsilane gas led to a formation of silicon-carbon bonding and an increase of hydrogen atoms in the films. Hydrogen atoms also increased with a reduction of the negative bias voltage at the film substrate. The reduced modulus and hardness of the carbon films ranged from 53 GPa to 163 GPa and from 9 GPa to 29 GPa, respectively. Better mechanical properties resulted from a reduction of tetramethylsilane gases and an increase of the negative bias voltage. The bias voltage especially had a larger influence on the mechanical properties than the gas flow rate. Molecular orbital calculations revealed that the role of a double bond of carbon atoms was likely significant for better mechanical properties of the carbon films.

  一般社団法人日本機械学会, 2003年, 日本機械学会論文集A編, 69(679) (679), 602 - 609, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Mechanical property measurements of nanoscale structures using an atomic force microscope

  S Sundararajan, B Bhushan, T Namazu, Y Isono

  2002年05月, ULTRAMICROSCOPY, 91(1-4) (1-4), 111 - 118, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Plastic deformation of nanometric single crystal silicon wire in AFM bending test at intermediate temperatures

  T Namazu, Y Isono, T Tanaka

  2002年04月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 11(2) (2), 125 - 135, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication of a micro needle for a trace blood test

  K Oka, S Aoyagi, Y Arai, Y Isono, G Hashiguchi, H Fujita

  2002年04月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 97-8, 478 - 485, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Simulator for observing the Si anisotropic chemical etching process in atomic scale

  T Kakinaga, N Baba, O Tabata, Y Isono, K Ehrmann, JG Korvink

  2002年, MHS2002: PROCEEDINGS OF THE 2002 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 35 - 40, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Mechanical characterization of sub-micrometer thick DLC films by AFM tensile testing for surface modification in MEMS

  Y Isono, T Namazu, N Terayama, T Tanaka

  2002年, FIFTEENTH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 431 - 434, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Quasi-static/cyclic loading tests of nanometric SiO2 wires using AFM technique for NEMS designs

  T Namazu, Y Isono

  2002年, PROCEEDINGS OF THE 2002 2ND IEEE CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY, 51 - 54, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• 燃料噴射バルブのcBNホイール研削加工(第2報)-油密およびバルブの形状精度と研削加工条件の関係-

  田中 武司, 磯野 吉正

  The present paper describes the influences of the valve roundness and corner dullness to a gasoline leakage, after analyzing them with the shape preciseness of valve-seat system. Moreover, the influences of CBN wheel grinding conditions on the preciseness of valve are discussed. In order to decrease a gasoline leakage from valve-seat clearance, it is necessary to decrease the roundness and corner dullness of valve, as well as the roundness and average clearance of seat. For the small roundness of valve, valve should be fed at the minimum feed rate to CBN wheel under the low eccentricity. The resin-bonded CBN wheel provides the small roundness without sharp scratching under the large wheel speed. The vitrified-bonded CBN wheel with grain size over #800 improves the corner dullness of valve by the sharp edge of wheel formed by the diamond truer of #600 grain size.

  一般社団法人日本機械学会, 2002年, 日本機械学会論文集C編, 68(674) (674), 3094 - 3101, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• cBNホイールによる軟鋼の冷風研削における研削現象

  田中 武司, 磯野 吉正, 盛貞 悦一

  2002年, 砥粒加工学会誌, Vol. 46, No. 5, pp. 234-239(5) (5), 234 - 234, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• cBNホイールによる延性材料の冷風研削現象について

  田中 武司, 磯野 吉正, 盛貞 悦一

  2002年, 砥粒加工学会誌, Vol. 46, No. 9, pp. 452-457(9) (9), 457 - 457, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• New development of a grinding wheel with resin cured by ultraviolet light

  T Tanaka, Y Isono

  2001年06月, JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY, 113(1-3) (1-3), 385 - 391, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• AFM内引張試験機を用いたMEMS材料のひずみ測定技術の開発

  生津 資大, 磯野 吉正, 田中 武司

  This paper describes a development of strain measurement technique using micro tensile tester built in AFM. The micro tensile tester was designed for evaluation of Young's modulus and fracture strength of MEMS materials, In tensile test, gauge patterns on the test specimen were directly measured by the AFM. Averaged Young's modulus of Si[110] was 170 GPa, which was in agreement with analytical values calculated from anisotropic theory. This technique is, therefore, efficient to the evaluation of mechanical properties for micro-scaled materials.

  一般社団法人日本機械学会, 2001年, 年次大会講演論文集, 1, 325 - 326, 日本語


• a-Si:C:H薄膜の微小押込み試験による機械的特性評価

  谷渕 栄仁, 村本 憲一, 磯野 吉正, 田中 武司

  This paper describes an evaluation of mechanical properties for a-Si:C:H thin films by means of nano-indentation test. This research focuses on revealing the relationship between mechanical properties of films, depositing conditions and film structure. The a-Si:C:H films were prepared by the plasma-enhanced CVD method of the hot cathode PIG discharge type. The microstructure of the films was examined by XPS and Raman spectroscopy. Young's modulus of the films increased with an increase of bias voltage and with decreasing hydrogen content in the film. Better mechanical properties of the a-Si:C:H thin films was achieved by the higher bias voltage of the deposition condition.

  一般社団法人日本機械学会, 2001年, 年次大会講演論文集, 1, 297 - 298, 日本語


• AFM bending testing of nanometric single crystal silicon wire at intermediate temperatures for MEMS

  Y Isono, T Namazu, T Tanaka

  2001年, 14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 135 - 138, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• 燃料噴射バルブのcBNホイール研削加工(第1報)-油密量と研削加工により創製する形状・精度の関係-

  田中 武司, 磯野 吉正

  2001年, 日本機械学会論文集C編, 67(660) (660), 2719 - 2724, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• インコネル718の冷風研削における研削現象

  田中 武司, 磯野 吉正, 盛貞 悦一

  2001年, 砥粒加工学会誌, Vol. 45, No. 10, pp. 490-465(10) (10), 490 - 490, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• PZTセラミックスの延性/脆性モード研削の研究”, 砥粒加工学会誌, 砥粒加工学会

  田中 武司, 磯野 吉正

  2001年, 砥粒加工学会誌, Vol. 45, No. 8, pp. 391-396, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Evaluation of size effect on mechanical properties of single crystal silicon by nanoscale bending test using AFM

  T Namazu, Y Isono, T Tanaka

  2000年12月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 9(4) (4), 450 - 459, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Nano-scale bending test of Si beam for MEMS

  Takahiro Namazu, Yoshitada Isono, Takeshi Tanaka

  IEEE, 2000年, Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 205 - 210, 英語

  研究論文（学術雑誌）


• 729 AFM を用いたナノスケール Si および SiO_2 ビームの高温曲げ試験

  生津 資大, 磯野 吉正, 田中 武司

  This research makes clear the temperature effect on mechanical properties of micro/nano scale Si beams by using Atomic Force Microscope (AFM). The Si and SiO_2 beam were fabricated on a Si diaphragm by means of field-enhanced anodization with AFM and anisotropic etching. The beams were approximately 200-800nm in width and 255nm in thickness. As a result of bending tests, bending strength and Young's modulus of Si beam in the <110> direction decreased with increasing temperature ranging from 295K to 573K.

  一般社団法人日本機械学会, 2000年, 年次大会講演論文集, 2000, 215 - 216, 日本語


• Investigation on thermal changes of workpiece in cool air grinding with porous metal bonded diamond wheel

  Son Hoanh Truong, Yoshitada Isono, Takeshi Tanaka

  Japan Society for Precision Engineering, 2000年, Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 66(12) (12), 1911 - 1916, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• a-SiC薄膜およびDLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討

  中 庸行, 山本 和人, 磯野 吉正, 田中 武司, 寺山暢之

  Japan Society of Mechanical Engineers, 2000年, 日本機械学会論文集A編, 66(644) (644), 698 - 705, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Scanning electron microscopic study and mechanical property examination of a bond bridge: development of a porous metal bonded diamond wheel

  SH Truong, Y Isono, T Tanaka

  1999年05月, JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY, 90, 385 - 391, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Molecular dynamics simulations of atomic scale indentation and cutting process with atomic force microscope

  Y Isono, T Tanaka

  1999年04月, JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERING, 42(2) (2), 158 - 166, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ダイヤモンドライクカーボン薄膜のマイクロトライボロジ特性に及ぼす膜構造の影響

  中 庸行, 磯野 吉正, 田中 武司, 寺山 暢之

  This paper describes the microstructural effect of Diamond-Like Carbon (DLC) thin film on micro-tribological properties. DLC thin films with density of 1.9-2.4 g/cm³ were deposited on Silicon (111) surface by Plasma-Enhanced CVD method of the hot cathode PIG discharge type. The effect of deposition conditions on the microstructure of DLC thin film was evaluated by Raman spectroscopy. Increasing the bias voltage and the discharge current shifted the peak of the G-band shift toward high frequency and enlarged I (D)/I (G) ratio. Pin-on-Plate friction experiments were carried out using a diamond pin in high vacuum. The friction coefficients of DLC thin films indicated constant values during the friction. The friction coefficients increased with shifting G-band toward low frequency in the range above 1540 cm^-1, but those did not vary with increasing I (D)/I (G). The friction coefficients were directly proportional to density of the film. Molecular orbital calculations revealed that the adhesion energy on the sp³ bonding atom cluster was higher than that on the sp² bonding atom cluster.

  一般社団法人日本機械学会, 1999年, 日本機械学会論文集A編, 65(634) (634), 1427 - 1434, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Some effects of over coated metal for the mechanical property improvement of bond bridge of porous metal bonded diamond wheel

  SH Truong, Y Isono, T Tanaka

  1998年12月, INTERNATIONAL JOURNAL OF THE JAPAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING, 32(4) (4), 275 - 277, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Microstructural study of mechanical and thermal properties of diamond-like carbon

  Y Isono, T Tanaka, N Terayama

  1998年12月, MATERIALS SCIENCE RESEARCH INTERNATIONAL, 4(4) (4), 267 - 274, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Evaluation of mechanical and thermal properties of cubic boron nitride by ab-initio calculation

  Y Isono, H Kishimoto, T Tanaka

  1998年03月, MATERIALS SCIENCE RESEARCH INTERNATIONAL, 4(1) (1), 39 - 44, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 熱陰極PIGプラズマCVD法で作製したダイヤモンドライクカーボン薄膜のトライボロジ特性評価(摩擦実験および分子動力学法による検討)

  中 庸行, 磯野 吉正, 田中 武司, 寺山 暢之

  This paper describes the effect of density of Diamond-Like Carbon (DLC) thin film on tribological property. DLC thin films having the density of 1.9-2.5 g/cm³ were prepared on (111) of Silicon surface by the hot cathode PIG Discharge Type Plasma-Enhanced CVD method. Ball on disk friction experiments were carried out using diamond ball. The friction coefficients increased from 0.05 to 0.20 with increasing film density in the density range below 2.185 g/cm³, but those did not change above 2.185 g/cm³. The specific wear value also increased with increasing film density. The effect of film density on tribological property between DLC thin film and diamond pin was examined by molecular dynamics simulation. The diamond pin slides to uniaxial direction on DLC thin film having the density 1.5-3.0 g/cm³. Atoms of DLC thin film having the density of 1.5 g/cm³ were moved most actively. Atomic movement being like to shear deformation was observed during frictional processes. The effect of film density on friction coefficients in MD simulations was similar to that in experiments qualitatively.

  一般社団法人日本機械学会, 1998年, 日本機械学会論文集A編, 64(620) (620), 1061 - 1068, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 光造形法による砥石の開発と特性評価

  田中 武司, 磯野 吉正, 進藤 寛英, 石崎 陽介

  1998年, 砥粒加工学会誌, Vol. 42, No. 8, pp. 344-350(8) (8), 344 - 344, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ニッケル-銅-すず合金系結合強の強じん化について(有気孔メタルボンドダイヤモンドホイールの開発)

  TRUONG Son Hoanh, 磯野 吉正, 田中 武司

  It has been aimed to develop porous metal bonded diamond wheel with an ideal bond bridge like a vitrified bond, the pore rates of about 50 vol% and the bending strength of 10 to 50 MPa, because a lot of merits, such as low grinding temperature and a few grinding force, many chip pockets and easy dressing and truing, may be obtained. The following conclusions are obtained by some treatments. (1) The phosphorus diffuses into bond bridge with oxygen by heating after the phosphorating treatment. (2) The shear strength of bond bridge and the elastic modulus of bending test pieces increased by the heat treatment under high pressure by the diffusion of phosphorus and the subzero treatment by a martensite transformation of metal. (3) The original targets of development of porous metal bonded diamond wheel are accomplished with such treatments.

  公益社団法人精密工学会, 1998年, 精密工学会誌, 64(6) (6), 923 - 928, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• A Trial of Bond Bridge Formation with Extracted Metals from Colloidal Solution

  TRUONG Son Hoanh, ISONO Yoshitada, TANAKA Takeshi

  1998年, International Journal of JSPE, Vol. 33, No. 1, pp. 40-42, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• AFMを用いた微小押し込みおよび微細加工の分子動力学解析

  磯野 吉正, 田中 武司

  1998年, 日本機械学会論文集A編, 64(625) (625), 2263 - 2270, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Three-dimensional molecular dynamics simulation of atomic scale precision processing using a pin tool

  Y Isono, T Tanaka

  1997年07月, JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES A-SOLID MECHANICS AND MATERIAL ENGINEERING, 40(3) (3), 211 - 218, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• New Product of Zirconia/Alumina Fine Ceramics Compounds and Its Grinding Characteristics

  TANAKA Takeshi, ISONO Yoshitada, TSUDA Takahiro, KOJIMA Masahiro

  1997年, Rapid Product Development, pp. 197-206, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Influences of metal constituents to the characteristics and grinding abilities of metal bonded diamond wheel

  T Tanaka, Y Isono

  1997年01月, JOURNAL OF MATERIALS PROCESSING TECHNOLOGY, 63(1-3) (1-3), 175 - 180, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 3次元分子動力学法を用いた微細加工機構の解析(第2報,被削材結晶方位が被削性に及ぼす影響)

  磯野 吉正, 田中 武司

  1997年, 日本機械学会論文集A編, 63(612) (612), 1814 - 1821, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 3次元分子動力学法を用いた微細加工機構の解析(工具-被削材間の相互作用および環境温度が表面粗さに及ぼす影響)

  磯野 吉正, 田中 武司

  1996年, 日本機械学会論文集A編, 62(602) (602), 2364 - 2371, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• INFLUENCES OF SURFACE-ROUGHNESS AND PHASE-TRANSFORMATIONS INDUCED BY GRINDING ON THE STRENGTH OF ZRO2-Y2O3

  T TANAKA, Y ISONO, S UEDA

  1995年04月, PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING, 17(2) (2), 117 - 123, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• メタルボンドダイヤモンドホイールの特性と性能に及ぼす金属成分の影響

  田中 武司, 磯野 吉正

  1995年, 精密工学会誌, Vol. 61, No. 6, pp. 841-843, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• A Study on Work Toughening of Zirconia Ceramics by Grinding Process

  TANAKA Takeshi, ISONO Yoshitada, KOJIMA Masahiro, TSUDA Takahiro

  1995年, International State of Art in Abrasive Technology, pp. 41-48, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MULTIAXIAL LOW-CYCLE FATIGUE DAMAGE EVALUATION USING AC POTENTIAL METHOD FOR ALLOY 738LC SUPERALLOY

  Y ISONO, M SAKANE, M OHNAMI, K FUJIYAMA

  1994年10月, JOURNAL OF ENGINEERING MATERIALS AND TECHNOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME, 116(4) (4), 488 - 494, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ZrO2-Y2O3の強じん化に対する相変態と仕上げ面粗さの寄与について

  田中 武司, 磯野 吉正, 上田 智

  Zirconia is regarded as the structural materials of machine element which provide the distinct properties of tenacity by the martensitic transformation from a tetragonal phase to the monoclinic or rhombohedral phases under the plastic deformation and the brittle fracture. The present paper makes clear the relationships between both fracture modes and the phase transformations. In several machining processes which form the surface with both fracture modes, it is experimentally examined how the surface roughness and the phase transformation influence to the toughening of ZrO₂-Y₂O₃. The phase transformation plays an important role in grinding and shotpeening, but the surface roughness influences much to the toughening of ZrO₂-Y₂O₃ in oscillated wet-lapping. In grinding, a tetragonal phase equivalently transforms to the monoclinic and rhombohedral phases, but a monoclinic phase is mostly presented in oscillated wet-lapping and shotpeening. It was made clear that the plastic deformation related to the transformation of tetragonal phase to a rhombohedral phase, as well as the brittle fracture related to the transformation of tetragonal phase to a monoclinic phase.

  公益社団法人精密工学会, 1994年, 精密工学会誌, 60(10) (10), 1465 - 1469, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

• モノリシック集積コアシェルSiナノワイヤ架橋構造の熱起電力評価

  上杉晃生, 西依脩祐, 菅野公二, 磯野吉正

  2023年, 電気学会論文誌 E, 143(7) (7)


• 金コロイド溶液濃度調整による表面増強ラマン分光の感度向上

  中村友河, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2023年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 40th


• Al₂O₃エレクトレット膜被覆Siナノワイヤのピエゾ抵抗効果

  長野貴哉, 仲上達也, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2023年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 40th


• たわみを有する両端固定梁の光応答周波数変化の計算

  松塚直樹, 安木大恭, 近藤直輝, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2023年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 40th


• 金ナノ粒子二量体ナノギャップ制御による表面増強ラマン分光の感度増強

  CHANG Yuanzhi, 中村友河, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2023年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 40th


• 表面増強ラマン分光による単一DNAオリゴマー計測の評価

  品部智哉, 伊藤寛樹, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2022年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 39th


• 原子層堆積Al₂O₃誘電膜のエレクトレット化に関する研究

  井口慶人, 楢崎桃子, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2022年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 39th


• モノリシック集積コアシェルSiナノワイヤ架橋構造の熱起電力評価

  上杉晃生, 西依脩祐, 菅野公二, 磯野吉正

  2022年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 39th


• 金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光によるメチル化アデニン1塩基計測

  伊藤寛樹, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2022年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 39th


• コアシェルSiCナノワイヤのピエゾ抵抗効果に及ぼすシェル表面電位の影響評価

  上杉晃生, 仲田進哉, 菅野公二, 磯野吉正

  2021年, マルチスケール材料力学シンポジウム講演論文集(CD-ROM), 6th


• MACE表面ナノホールのシリコンナノワイヤ垂直成長促進効果

  上杉晃生, 西依脩祐, 菅野公二, 磯野吉正

  2021年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 38th


• コアシェル構造SiCナノワイヤの界面静電場によるピエゾ抵抗効果の制御

  上杉晃生, 仲田進哉, 菅野公二, 磯野吉正

  2021年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 38th


• 電気的・光学的1分子計測に向けた金ナノ粒子二量体ナノギャップの作製・制御・評価

  住友孝行, CHANG Yuanzhi, 森田明宏, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2021年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 38th


• マイクロ振動子のたわみ状態制御による振動型光センサの高感度化—Study on sensitivity improvement of microresonator-based optical sensor by deflection control

  竹上 航平, 近藤 直輝, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語


• 高温パンチクリープ成形技術を用いた3軸力センサの開発および被覆樹脂の粘弾性特性を考慮したセンサ性能評価—Development of three-axis force sensor by 3D microstructuring using high temperature punch creep forming and sensor performance evaluation considering resin viscoelasticity

  澤田 和磨, 丹村 響介, 大坂 憲司, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語


• 金ナノ構造を用いた波長依存性を有するSOI型近赤外ボロメータ素子—Study on wavelength-dependent SOI-type near-infrared bolometer element using gold nanostructure

  坪田 達也, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 金ナノ構造光吸収体集積静電型マイクロ振動子デバイスによる近赤外光強度センサ—Near-infrared light intensity sensing by electrostatic microresonator transducer integrated with gold nanostructure optical absorber

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 近赤外吸収体を有する静電型マイクロ振動子デバイスを用いた水の分光測定—Spectroscopic measurement of water using electrostatic transducer with Near-infrared absorber

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語


• 金ナノ粒子二量体を用いたナノギャップ電極の作製とその電気的・光学的評価—Fabrication of nanogap electrode based on gold nanoparticle dimer and its electrical and optical evaluation

  住友 孝行, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 光センシングマイクロ共振デバイスの梁長さおよび振幅が計測分解能に与える影響—Effects of beam length and amplitude on measurement resolution in optical sensing using microresonator

  近藤 直輝, 竹上 航平, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 光励起ナノギャップ電極を用いたDNAオリゴマーの光トラップおよび1分子検出—Optical trapping and single-molecule detection of DNA oligomer using optically-excited nanogap electrodes

  森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 6p, 日本語


• 架橋成長Siナノワイヤの熱電特性評価に関する研究—Characterization of thermoelectric properties of bridged-grown Si nanowire

  北川 諒, 岸本 卓巳, 小國 凌, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性—Pattern dependency of resonant frequency response of silicon microresonator for optical sensing

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• 金ナノグレーティング構造の光吸収ピーク波長制御による高感度レーザ波長計測マイクロ振動子デバイス—Highly sensitive laser wavelength measurement using microresonator controlling absorption peak of gold nanograting

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• コアシェルSiCナノワイヤの電気伝導性に及ぼすシェル表面電位の影響解明—Effect of shell surface potential to electrical properties of core-shell SiC nanowire

  井ノ山 滉大, 仲田 進哉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• 静電型マイクロ振動子トランスデューサを用いたシリコン近赤外光強度センサ

  中藤康太, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  2019年, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 36th


• Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性—Polarization dependence of near-infrared absorption spectrum of Si-deposited gold nano-grating structures

  新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2018年, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 6p, 日本語


• VLS成長SiNW単体に対する熱電変換特性評価—Characterization of thermoelectric properties for VLS-growth SiNWs

  北川 諒, 井本 大暉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2018年, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 5p, 日本語


• Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価

  新居 直之, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2017年10月31日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 34, 6p, 日本語


• 高温クリープ立体成形技術による極小MEMS触覚センサの開発

  大坂 憲司, 中田 悟史, 山本 賢祐, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2017年10月31日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 34, 1 - 5, 日本語


• 単一金ナノ粒子二量体を用いたアデニンの表面増強ラマン分光検出 (フィジカルセンサ マイクロマシン・センサシステム 合同研究会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

  丸岡 克成, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  電気学会, 2016年12月19日, 電気学会研究会資料. PHS, 2016(58) (58), 43 - 46, 日本語


• Si薄膜被覆金ナノワイヤアレイ構造の光学特性評価 (フィジカルセンサ マイクロマシン・センサシステム 合同研究会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

  新居 直之, 城谷 修司, 菅野 公二, 磯野 吉正

  電気学会, 2016年12月19日, 電気学会研究会資料. MSS, 2016(27) (27), 1 - 3, 日本語


• 逆解析手法による単結晶Si薄膜の高温クリープ特性の解明と触覚センサ開発への応用

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年10月02日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 33, 1 - 4, 日本語


• VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤのMEMS援用ピエゾ抵抗特性評価

  仲田 進哉, 井本 大暉, Rossi Feancesca, Lugstein Alois, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年10月02日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 33, 1 - 4, 日本語


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光

  池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年10月02日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 33, 1 - 6, 日本語


• Gold Nanoparticle Synthesis Using High-Speed Pulsed Mixing Microfluidic Device

  Koji Sugano, Ayumi Maedomari, Yuki Tanaka, Yoshitada Isono

  2015年11月, Proc. of 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2015), 13P-11-66, 英語


• VLS成長シリコンナノワイヤの歪み誘起電気伝導特性の結晶方位依存性

  仲田 進哉, 北田 勇馬, Wagesreither Stefan, Lugstein Alois, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年10月28日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 32, 4p, 日本語


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年10月28日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 32, 1 - 4, 日本語


• Evaluation of Piezoresistivity for VLS-Grown Silicon Nanowires Under Enormous Elastic Strain

  Nakata Shinya, Kitada Yuma, Wagesreither Stefan, Lugstein Alois, Sugano Koji, Isono Yoshitada

  一般社団法人日本機械学会, 2015年10月04日, Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2015(14) (14), 184 - 184, 英語


• 非対称四点曲げ試験法による単結晶シリコンナノワイヤのせん断ピエゾ抵抗係数の直接計測

  竹下 俊光, 木村 大気, 菅野 公二, 磯野 吉正

  This research evaluated the shear piezoresistance property of p-type single crystal silicon nanowire (SiNW) by the asymmetrical four-point bending (AFPB) testing proposed by the authors. We fabricated the p-type SiNW on the AFPB specimen with "V"-shaped notches (V-notches) made of single crystal silicon. Bending the specimen by the asymmetrical four point-supports, simple shear stress can be produced at the center of the specimen. Consequently, we have succeeded in evaluating the shear piezoresistance coefficient of SiNW directly, which was found to be π_<44>=203.28×10^<-11> Pa^<-1> at an impurity concentration of 4×10^<18> cm^<-3>. This value is 2.1 times larger than that of p-type piezoresistors used in conventional piezoresistance sensors on a micrometer scale. The proposed evaluation technique and obtained result will be effective for design application of high-sensitivity mechanical sensors integrating SiNW piezoresistance elements.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年09月07日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2014, "J2240304 - 1"-"J2240304-5", 日本語


• MEMSデバイスによる多層カーボンナノチューブの層間すべり変形機構の解明

  山内 健司, 大森 英明, 磯野 吉正, 屋代 如月

  We have developed the in-situ scanning electron microscopy (SEM) nanomaterial manipulation system including newly designed Electrostatically Actuated NAnotensile Testing devices (EANATs), in order to investigate mechanical characteristics of multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs) synthesized by an atmosphere pressure-chemical vapor deposition (APCVD). The new EANATs can measure uniaxial tensile displacement of nanomaterials with the capacitive displacement sensor incorporated to the cantilever motion amplification system. The nanomaterial manipulation system functions to pick up an individual MWCNT from a substrate and to fix it on EANATs. Stress-strain relations of MWCNTs were successfully obtained from the nanotensile tests, and Young's moduli were estimated to be 243 to 623 GPa. The shear strength at stick-slip event during interlayer sliding of MWCNTs under tensile loading was directly derived from the shear interaction force in tensile force-displacement curves and SEM observations.

  一般社団法人日本機械学会, 2013年11月04日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013(5) (5), 139 - 140, 日本語


• 大偏差統計理論に基づく楕円体粒子のブラウン運動異方性の評価

  花崎 逸雄, 磯野 吉正

  Brownian motion of an ellipsoid is faster in the longitudinal direction than that in the perpendicular direction. This leads to the diffusion anisotropy while it is isotropic in the long time limit. The mean square displacements from the particle trajectory do not reveal such characteristics and cannot distinguish the dynamics from that of spherical particles. Furthermore, it is often difficult to determine the particle orientiation at every time step of the single particle tracking experiments. In this study, we show that the diffusion anisotropy can be evaluated from the particle trajectory without the information of particle orientation by the statistical quantities based on the large deviation principle in mathematics. The scope of this study is the characterization of fluctuation phenomena beyond the central limit theorem.

  一般社団法人日本機械学会, 2012年11月16日, 流体工学部門講演会講演論文集, 2012, 231 - 232, 日本語


• Low Temperature Formation Process and Low Load Electrical Contact of a Carbon Nanotube Film Bonded to a Au Film

  Hiroshi Kinoshita, Naganori Koda, Masanori Seki, Masahiro Fujii, Yoshitada Isono, Nobuo Ohmae

  2011年, Proceedings of International Tribology Conference Hiroshima 2011(ITC Hiroshima 2011)


• MEMS機能デバイスによるナノ厚金薄膜の力学特性評価に関する研究

  呉 衒珍, 磯野 吉正

  一般社団法人日本機械学会, 2010年03月16日, 関西支部講演会講演論文集, 2010(85) (85), "1 - 2", 日本語


• MEMS技術によるカーボンナノワイヤの力学特性評価とピエゾ抵抗効果の解明

  木内 万里夫, 松井 真二, 磯野 吉正

  ナノメカニカルセンサの開発を目指して、MEMSデバイスを用いたアモルファスカーボンナノワイヤ(CNW)の力学的・電気的特性評価を実施した。具体的には、MEMS技術を用いて開発した静電駆動型ナノ材料引張試験デバイスを用いて、FIB-CVD法によって作製した直径約100nmのCNWの機械的性質および弾塑性変形挙動を実験的に解明するとともに、CNWの単軸応力下における電気抵抗特性であるピエゾ抵抗効果について検討した。

  一般社団法人日本機械学会, 2008年09月16日, M&M材料力学カンファレンス, 2008, "OS0405 - 1"-"OS0405-2", 日本語


• 応力印加によるバルクシリコンのバンドひずみとピエゾ抵抗物性への効果

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山 寿之

  We have discussed the deformation of band structure due to stresses and the piezoresistivity in single-crystal bulk silicon based on the first-principles calculations. For n-type bulk silicon, the longitudinal and transverse piezoresistance coefficients originate from the energy gap between the valleys, whereas the shear piezoresistance coefficient arises from a distortion of the "ellipsoids" in the valleys. The distinction between the origins of piezoresistivity can be followed as a dependence on a surface concentration or temperature by our novel procedure to calculate the piezoresistance coefficients. Furthermore, for p-type bulk silicon, we have applied the perturbational approach to the band splitting in the valence bands due to the spin-orbit coupling, and then a more quantitative estimate of the piezoresistance coefficients can be expected.

  一般社団法人日本機械学会, 2008年09月16日, M&M材料力学カンファレンス, 2008, "OS0415 - 1"-"OS0415-2", 日本語


• シリコンナノワイヤーのピエゾ抵抗効果に関する第一原理計算

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山 寿之

  We have simulated the piezoresistance coefficients in single-crystal silicon nanowires (SiNWs) based on the first-principle calculations of model structures. Variations of band gaps and curvatures due to tensile stresses will exert an influence on carrier densities and effective masses, and frequently contribute to a drastic turn of the conductivity. In particular, in the <001> SiNW model, uniaxial tensile stress to [001] longitudinal direction causes a sharp drop in band energy of the highest valence band with a small hole effective mass, leading to a drastic decrease in the hole conductivity. It is found that p-type <001> SiNW will be one of the most suitable candidates for nano-scale piezoresistor due to a giant piezoresistivity.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年10月24日, M&M材料力学カンファレンス, 2007, 496 - 497, 日本語


• First-principle study on piezoresistance effect in silicon nanowires

  Koichi Nakamura, Yoshitada Isono, Toshiyuki Toriyama

  2007年, MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS, 268 - +, 英語

  [査読有り]


• 静電駆動式ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの力学的特性評価

  木内 万里夫, 磯野 吉正, 杉山 進, 森田 貴彦, 松井 真二

  2005年03月10日, 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2005(1) (1), 13 - 16, 日本語


• AFM tensile test of sub-micron thick DLC film for surface modification in MEMS

  Isono Yoshitada, Namazu Takahiro

  This research focuses on revealing mechanical properties of diamond-like carbon (DLC) films for surface modification in MEMS. New compact tensile tester operating in an atomic force microscope (AFM) was developed for characterization of Young's modulus, Poisson's ratio and fracture strength of DLC films. The DLC films having sub-micron thickness from 0.2μm to 0.5μm were deposited onto microscale single crystal silicon (SCS) specimens by PE-CVD method of the hot cathode PIG discharge type. Young's moduli of the DLC films in AFM tensile tests ranged from 99 GPa to 112 GPa. AFM tensile tests and nano-indentation tests revealed that Poisson's ratio of DLC films ranged from 0.27 to 0.40. Fracture stress of the films also exhibited from 0.5 GPa to 1.1 GPa, which depended on the film thickness and deposition condition. SEM observations of fracture surfaces suggested that the fracture initiation of DLC/SCS specimens was induced at the boundary between the film and SCS substrate.

  一般社団法人日本機械学会, 2003年09月10日, Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2003(2) (2), "OS06W0370 - 1"-"OS06W0370-6", 英語


• 国際会議報告

  磯野 吉正

  2003年02月01日, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 123(2) (2), 56 - 56, 日本語


• Chemo-mechanical actuator using self-oscillating gel for artificial cilia

  O Tabata, H Kojima, T Kasatani, Y Isono, R Yoshida

  2003年, MEMS-03: IEEE THE SIXTEENTH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 12 - 15, 英語

  [査読有り]


• AFMを用いたナノ加工・MEMS材料試験技術の開発

  生津 資大, 磯野 吉正

  2002年09月20日, 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2002(7) (7), 35 - 38, 日本語


• 光造形砥石の創製と性能

  田中 武司, 磯野 吉正

  砥粒加工学会, 2002年03月01日, 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers, 46(3) (3), 120 - 123, 日本語


• AFM 内引張り試験装置の開発による DLC 薄膜の力学特性評価

  磯野 吉正, 生津 資大, 寺山 暢之, 田中 武司

  This paper describes mechanical properties of Diamond-like Carbon (DLC) films for the protection of MEMS against their friction and wear. The compact tensile tester operated in atomic force microscope was developed in this research to evaluate Young's modulus, Poisson's ratio and fracture strength of DLC films. The DLC films with thickness of 0.2 and 0.3 μm were deposited on 20 μm-thick single crystal silicon specimens by Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (PE-CVD) method of the hot cathode Penning Ionization Gauge (PIG) discharge type. The AFM tensile test and nano-indentation test were revealed that Young's modulus and Poisson's ratio of the DLC films ranged from 99 GPa to 112 GPa, and from 0.36 to 0.46,respectively.

  一般社団法人日本機械学会, 2002年, 関西支部講演会講演論文集, 2002(77) (77), "1 - 29"-"1-30", 日本語


• UV樹脂砥石

  田中 武司, 磯野 吉正

  砥粒加工学会, 2000年12月01日, 砥粒加工学会誌 = Journal of the Japan Society of Grinding Engineers, 44(12) (12), 538 - 541, 日本語


• 光造形による研磨砥石の開発とその性能評価

  雲宝 広貴, 磯野 吉正, 田中 武司

  The method, which developed the grinding stone by hardening after the abrasive grain layer is laminated by the mixing in the ultraviolet curing resin, is described. And the characteristic of developed grinding stone was evaluated from the polishing experiment. The following results are obtained : (1) it is possible to the change strength and elasticity of the grinding stone and improve the performance by mixing more 2 types of resin. (2) The mechanical strength of is not proportional to the mixture ratio, when using more 2 types of resin. (3) The rapid prototyping (RP) grinding stone has the polishing performance, which is not inferior than that of the general grinding stone.

  一般社団法人日本機械学会, 2000年03月16日, 関西支部講演会講演論文集, 2000(75) (75), "2 - 35"-"2-36", 日本語


• 紫外線励起によるマシニングの研究 : 基本原理と基礎的現象の検証

  大吉 利洋, 磯野 吉正, 田中 武司

  In this study, The excited state by ultraviolet, the materials of excited conditions react with processing materials more strongly. Since it seems that we can use these reactions as the machining method, it is necessary to inspect the basic principal and phenomenon. The machining experiment shows that this phenomenon was useful, and it was actually confirmed that the effect is same as the basic experiment.

  一般社団法人日本機械学会, 2000年03月16日, 関西支部講演会講演論文集, 2000(75) (75), "2 - 39"-"2-40", 日本語


• 放電プラズマ焼結装置で作製した傾斜機能材料の特性評価と切削工具の開発

  河合 竜弥, 磯野 吉正, 田中 武司

  In this study, the functionally gradient material that combined heat and abrasion resistance of ceramic and both characteristic of thermal conductivity and mechanical strength of metal, and that supplements the ceramic fragility in the metal, was noticed as cutting tool of aluminum alloy which is difficult to cut material. The material is produced by the Spark Plasma Sintering System, and the application to the tool is evaluated.

  一般社団法人日本機械学会, 2000年03月16日, 関西支部講演会講演論文集, 2000(75) (75), "2 - 49"-"2-50", 日本語


• Experimental Study on High Pore Rate Formation and Grinding Performance of Porous Metal Bonded Diamond Wheel

  HOANH Troung Son, ISONO Yoshitada, TANAKA Takeshi

  2000年03月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 2000(1) (1), 300 - 300, 英語


• 分子動力学法による水素含有アモルファスカーボン薄膜の機械的特性評価

  河原 直樹, 磯野 吉正, 中 庸行, 田中 武司

  日本機械学会, 2000年, 熱流体系および固体系のミクロシミュレーションに関する合同シンポジウム・分子動力学シンポジウム講演論文集, 2000(5) (5), 13 - 14, 日本語


• DLC/a-SiC積層薄膜の付着強度評価クライテリオンの検討

  中 庸行, 磯野 吉正, 田中 武司, 寺山 暢之

  1999年09月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1999(2) (2), 534 - 534, 日本語


• Molecular Dynamics Simulations of Atomic Scale Indentation and Cutting Process with Atomic Force Microscope

  Isono Yoshitada, Tanaka Takeshi

  This paper describes the effect of the material used for a tool on atomic scale indentation and cutting mechanisms of metal workpieces, by means of molecular dynamics simulations. The interatomic force between the tool and workpiece is assumed to be a two-body interatomic potential using parameters based on the ab-initio molecular orbital calculation for a(Cr, Ni)-(C, Si)_6H_9 atom cluster. Molecular dynamics simulated the atomic scale indentation and cutting process of the chromium and nickel workpieces using the diamond, silicon and diamond-like carbon(DLC) tools. The diamond and DLC tools formed the indentation mark. Young's modulus of the chromium and nickel in indentation simulations was larger than that in experiments. This was qualitatively explained by the effect of the surface energy for the workpiece on the elastic modulus. The machinability of the chromium and nickel with the diamond tool was better than that of the silicon tool in atomic scale cutting simulations. The depth of the cut for the workpieces in nano scale cutting experiments with AFM, was similar to that in atomic scale cutting by molecular dynamics simulations.

  一般社団法人日本機械学会, 1999年04月15日, JSME international journal. Series A, Solid mechanics and material engineering, 42(2) (2), 158 - 166, 英語


• 易流動性液体の漏れ防止に関する研究(第2報) -バルブの角だれが漏れ量に及ぼす影響について-

  田中 武司, 磯野 吉正, 山崎 雅人

  1998年03月05日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1998(1) (1), 677 - 677, 日本語


• 超砥粒ホイールによる低温研削加工に関する研究(第3報) -軟鋼研削における冷風研削特性について-

  片岡 健一, 磯野 吉正, 田中 武司, 盛貞 悦一

  1998年03月05日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1998(1) (1), 281 - 281, 日本語


• DLC/TMS-SiC積層薄膜の付着強度評価

  山本 和人, 磯野 吉正, 田中 武司, 寺山 暢之

  1998年03月05日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1998(1) (1), 434 - 434, 日本語


• PZT系セラミックスのマイクロ研削における微小変形破壊機構

  脇坂 宣範, 磯野 吉正, 田中 武司

  1998年03月05日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1998(1) (1), 468 - 468, 日本語


• DLC/TMS-SiC 積層薄膜の付着強度評価

  磯野 吉正, 田中 武司, 山本 和人, 寺山 暢之

  日本材料学会, 1998年, 学術講演会講演論文集, 47, 187 - 188, 日本語


• ファインセラミックスの加工特異性に関する研究(第9報)ジルコニア/ニッケル複合材料の創製と研削特性

  田中 武司, 磯野 吉正, 益田 智史

  1997年10月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997(2) (2), 384 - 384, 日本語


• Three-Dimensional Molecular Dynamics Simulation of Atomic scale Precision Processing Using a Pin Tool

  Isono Yoshitada, Tanaka Takeshi

  This paper describes the effect of temperature and interatomic force between a workpiece and tool on the atomic-scale cutting mechanism, by means of molecular dynamics simulation. The interatomic force between the workpiece and tool is assumed to be derived from the Morse potential function. Molecular dynamics cutting simulations were carried out using a rigid pin tool, with changing of the temperature and the value of Morse potential parameters γ_0, D and α. The increase in the potential parameters D and α resulted in the positive effect of surface roughness, but the increase in the parameter γ_0 and temperature resulted in the negative effect of surface roughness. Chip formation and side flow resulted due to the collision between the workpiece and tool, which lead to a temperature increase of the workpiece. The surface of workpieces observed experimentally in micro-scale cutting was similar to that in atomic-scale cutting by molecular dynamics simulation.

  一般社団法人日本機械学会, 1997年07月15日, JSME international journal. Series A, Solid mechanics and material engineering, 40(3) (3), 211 - 218, 英語


• 光造形法によるナノグラインディングホイールの開発(第一報) -試作アルミナホイールによる2, 3の実験結果-

  進藤 寛英, 磯野 吉正, 田中 武司

  1997年03月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997(1) (1), 1107 - 1108, 日本語


• メタリファイドボンドダイヤモンドホイールの開発と研削性能に関する研究(第5報) -結合橋の強じん化と研削性能の関連性について-

  大泉 直規, 磯野 吉正, 田中 武司

  1997年03月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997(1) (1), 251 - 252, 日本語


• 第一原理計算に基づくcBNの物性評価(第一報) -原子間ポテンシャルの構築-

  岸本 宏一, 磯野 吉正, 田中 武司

  1996年09月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1996(2) (2), 89 - 90, 日本語


• 超砥粒ホイールによる低温研削加工に関する研究(第2報) -冷却方式と研削特性の関連性について-

  片岡 健一, 高橋 毅, 磯野 吉正, 田中 武司, 盛貞 悦一

  1996年09月01日, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1996(2) (2), 665 - 666, 日本語

• カーボンナノチューブの表面処理・分散技術と複合化事例

  技術情報協会

  分担執筆, 第10章第6節「多層カーボンナノチューブの機械・電気特性評価」, 技術情報協会, 2019年12月, 日本語, ISBN: 9784861047725


• 小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法

  肥後 矢吉, 谷川 紘, 鈴木 健一郎, 磯野 吉正, 荻 博次, 土屋 智由, 石山 千恵美

  共著, コロナ社, 2015年07月, 日本語

  学術書


• Characterization of Materials (2nd edition), Volume 1, Chapter; Characterizing Micro and Nanomaterials Using MEMS Technology (by Yoshitada Isono)

  Elton N. Kaufmann, Yoshitada Isono

  その他, John Wiley and Sons, Inc., U. S. A.,, 2012年11月, 英語

  学術書


• Electronic States and Piezoresistivity in Silicon Nanowires: Chapter 15 "Nanowires"

  Koichi Nakamura, Dzung Viet Dao, Yoshitada Isono, Toshiyuki Toriyama, Susumu Sugiyama

  共著, InTech, 2010年10月, 英語

  学術書


• 電気学会技術報告1060号「ナノシステム創製を支える最新ナノテクノロジー」, 第4章4.2節ナノ材料評価・ナノデバイス創製を支えるナノ実験力学の展開,

  磯野 吉正

  その他, (社)電気学会, 2006年05月, 日本語

  調査報告書


• 矢川元基・編「構造工学ハンドブック」, 第12章12.3節ナノ・マイクロ構造設計, 第12章12.4節ナノ・マイクロ解析法

  磯野 吉正, 樋口俊郎

  その他, 丸善株式会社, 2004年03月, 日本語

  学術書


• 樋口俊郎・編「マイクロマシン技術総覧」, 第1編2章マイクロ材料第1節シリコン

  磯野 吉正, 矢川元基

  その他, 産業技術サービスセンター, 2003年01月, 日本語

  学術書

• 単結晶シリコン薄膜定常クリープ特性の結晶方位依存性

  尹 聖午, 堀川 宇則, 澤田 和磨, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2021年11月, 日本語


• 電気的・光学的1分子計測に向けた金ナノ粒子二量体ナノギャップの作製・制御・評価

  住友 孝行, 常 沅芷, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2021年11月, 日本語


• ウエハレベルパッケージ技術による低侵襲医療用極小3軸MEMS触覚センサの作製

  今西 智也, 宮本 桂寿, 東 駿太郎, 大木 舜介, 上杉 晃生, 菅野 公二, 青野 宇紀, 磯野 吉正

  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2021年11月, 日本語


• Promotion of perpendicular growth of silicon nanowires by MACE-formed surface nanoholes

  Akio Uesugi, Syusuke Nishiyori, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021), 2021年10月, 英語


• Characterization of nanogap with gold nanoparticle dimer controlled by four-point bending for electrical and optical single molecule measurement

  Yuanzhi Chang, Takayuki Sumitomo, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021), 2021年10月, 英語


• Growth Direction of VLS Silicon Nanowires with Surface Nanoholes Formed Using MACE

  Akio Uesugi, Taiju Horita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2020年11月, 英語


• Electrical and Optical Characterization of Nanogap Electrodes with an Assembled Gold Nanoparticle Chain

  Takayuki Sumitomo, Akihiro Morita, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2020年11月, 英語


• マイクロ振動子のたわみ制御による振動型光センサの高感度化

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• 金ナノ構造光吸収体集積静電型マイクロ振動子デバイスによる近赤外光強度センシング

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• 高温パンチクリープ成形技術を用いた3軸力覚センサの開発および被覆樹脂の粘弾性特性を考慮したセンサ性能評価

  澤田 和磨, 丹村 響介, 大坂 憲司, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• 光センシングマイクロ共振デバイスの梁長さおよび振幅が計測分解能に与える影響

  近藤 直輝, 竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• 金ナノ粒子二量体を用いたナノギャップ電極の作製とその電気的・光学的評価

  住友 孝行, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• 近赤外吸収体を有する静電型マイクロ振動子デバイスを用いた水の分光測定

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• 金ナノ構造を用いた波長依存性を有するSOI型近赤外ボロメータ素子

  坪田 達也, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語


• MEMS-based strain engineering for epitaxial grown semiconductive nanowires

  Yoshitada Isono

  8th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology (ICONN2020),, 2020年02月, 英語

  [招待有り]


• Evaluation of Thermoelectric Properties of VLS-Grown Bridged Si Nanowire

  A. Uesugi, R. Kitagawa, R. Oguni, K. Sugano, Y. Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2019年11月, 英語


• Near-Infrared Light Absorbers Using Si-Deposited Gold Nanowire Grating Structures

  K. Takegami, N. Arai, A. Uesugi, K. Sugano, Y. Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2019年11月, 英語


• Effect of The Numbers of Beams and Corners on Resonant Frequency Response of Silicon Microresonator to Near-Infrared-Light Irradiation for Optical Sensing

  K. Takegami, N. Arai, A. Uesugi, K. Sugano, Y. Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2019年11月, 英語


• Effect of Gold Nanoparticle Diameter on Raman Intensity of DNA Oligomers toward Single Nucleobase Detection

  K. Murotani, K. Maruoka, A. Uesugi, K. Sugano, Y. Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2019年11月, 英語


• Microresonator-Based Photodetector of Near-Infrared Light Using Electrostatic Transducers

  K. Nakafuji, A. Uesugi, K. Sugano, Y. Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2019年11月, 英語


• シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語


• 静電型マイクロ振動子トランスデューサを用いたシリコン近赤外光強度センサ

  中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語


• 金ナノ粒子二量体表面増強ラマン分光によるDNA オリゴマーの1 塩基検出

  金谷 恭臣, 丸岡 克成, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語


• 金ナノグレーティング構造の光吸収ピーク波長制御による高感度レーザ波長計測マイクロ振動子デバイス

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語


• コアシェルSiC ナノワイヤの電気伝導性に及ぼすシェル表面電位

  井ノ山 滉大, 仲田 進哉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語


• 架橋成長Si ナノワイヤの熱電特性評価に関する研究

  北川 諒, 岸本 卓巳, 小國 凌, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語


• 結晶シリコン薄膜の高温パンチクリープ成形による極小3軸力覚センサの開発

  丹村 響介, 大坂 憲司, 豊田 崇夫, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第3回マルチスケール材料力学シンポジウム, 2019年05月, 日本語


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of DNA Bases Using Gold Nanoparticle Dimer Array

  Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), 2018年11月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Development of 3D Formed Tactile Sensor by High Temperature Punch Creep Forming Technique

  Kyosuke Nimura, Kenji Osaka, Takao Toyoda, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), 2018年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• VLS成長SiNW単体に対する熱電変換特性評価

  北川 諒, 井本 大暉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2018年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性

  新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2018年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 単結晶シリコン薄膜の高温パンチクリープ成形による極小3軸力覚センサの開発

  丹村 響介, 大坂 憲司, 豊田 崇夫, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本材料学会マルチスケール材料力学シンポジウム, 2018年05月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of Adenine Molecule Using Single Dimer of Gold Nanoparticles

  Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017), 2017年11月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Laser Wavelength Measurement Using Gold Nanoparticle Aggregate Integrated Microresonator

  Koji Sugano, Shuji Joya, Naoyuki Arai, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017), 2017年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 単一金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光によるDNAオリゴマー1分子検出

  丸岡 克成, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 高温クリープ立体成形技術による極小MEMS触覚センサの開発研究

  大坂 憲司, 中田 悟史, 山本 賢祐, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価

  新居 直之, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• Evaluation of mechano-electric properties for VLS-grown core/shell silicon carbide nanowires

  Shinya Nakata, Daiki Imoto, Francesca Rossi, Giancarlo Salviati, Alois Lugstein, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  14th International Conference on Fracture, 2017年06月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• VLS成長Core/Shell-SiCナノワイヤのピエゾ抵抗効果に及ぼすSiO2被覆の影響

  仲田 進哉, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本材料学会マルチスケール材料力学シンポジウム, 2017年05月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 単一金ナノ粒子二量体を用いたアデニンの表面増強ラマン分光検出

  丸岡 克成, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会, 2016年12月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Si薄膜被覆金ナノワイヤアレイ構造の光学特性評価

  新居 直之, 城谷 修司, 菅野 公二, 磯野 吉正

  フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会, 2016年12月, 日本語, ，城谷修司，菅野公二，磯野吉正, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Piezoresistance effect of VLS-synthesized core/shell-SiC nanowires

  Shinya Nakata, Daiki Imoto, Koji Sugano, Francesca Rossi, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Near Infrared Optical Absorption Property of Gold Nanoparticle Aggregates for Laser Wavelength Measurement

  Shuji Joya, Naoyuki Arai, Yuki Tanaka, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• High temperature creep forming technique of single crystal silicon thin film for 3D MEMS tactile sensors

  Kensuke Yamamoto, Satoshi Nakata, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Highly-Sensitive and Rapid Detection of DNA bases using Surface-Enhanced Raman Spectroscopy with Gold Nanoparticle Dimer Array

  Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Single-Molecule Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of 4,4'-bipyridine on Fabricated Substrates with Directionally Arrayed Gold Nanoparticle Dimers

  Koji Sugano, Kiyohito Aiba, Kohei Ikegami, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Optimization of Gold Nanorod Array Structure on Microresonator for Resonant-Based Laser Wavelength Measurement Using Photothermal Conversion

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical Characterization of VLS-Grown Core-Shell SiC Nanowires for Nanomechanical Sensors

  Shinya Nakata, Koji Sugano, Francesca Rossi, Giancarlo Salyiati, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Characterization Method of Relative Raman Enhancement for Surface Enhanced Raman Spectroscopy Using Gold Nanoparticle Dimer Array

  Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光

  池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ光波長計測マイクロ振動子デバイス

  菅野 公二, 田中 祐樹, 前田 悦男, 米谷 玲皇, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 逆解析手法による単結晶Si薄膜の高温クリープ特性解明と触覚センサ開発への応用

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 逆解析による単結晶Si薄膜の三次元高温クリープ成形加工技術の確立

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本機械学会 M&M2016材料力学カンファレンス, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤのMEMS援用ピエゾ抵抗特性評価

  仲田 進哉, 井本 大暉, Feancesca Rossi, Alois Lugstein, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 逆解析手法による単結晶シリコン薄膜の高温クリープ三次元成形加工技術の確立

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  マルチスケール材料力学シンポジウム, 2016年05月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 3C-SiCNWのMEMS援用Elastic Strain Engineering研究 －ピエゾ抵抗効果の実験解明

  仲田 進哉, 井本 大暉, 菅野 公二, 磯野 吉正

  マルチスケール材料力学シンポジウム, 2016年05月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Fabrication and Characterization of CNT Forest Integrated Micromechanical Resonator for Rarefied Gas Sensor

  Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Ryota Tsutsui, Hiroyuki Kishihara, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono

  The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016), 2016年04月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Crystal Orientation Dependence of Piezoresistivity for VLS-Grown Single Crystal Silicon Nanowires

  Shinya Nakata, Yuma Kitada, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016), 2016年04月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Gold Nanoparticle Synthesis Using High-Speed Pulsed Mixing Microfluidic Device

  Koji Sugano, Ayumi Maedomari, Yuki Tanaka, Yoshitada Isono

  28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2015), 2015年11月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• 金ナノ粒子二量体配列を用いた表面増強ラマン分光におけるラマン増強度評価法

  池上 晃平, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 金ナノ粒子二量体配列における表面増強ラマン分光1分子検出特性

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子直線状配列を用いた表面増強ラマン分光の特性評価

  池上 晃平, 竹下 俊光, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• VLS成長シリコンナノワイヤの歪み誘起電気伝導特性の結晶方位依存性

  仲田 進哉, 北田 勇馬, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Evaluation of Piezoresistivity for VLS-Grown Silicon NanowiresUnder Enormous Elastic Strain

  Sinya Nakata, Yuma Kitada, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2015 (ATEM'15), 2015年10月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 直線状金ナノ粒子配列の表面増強ラマン分光特性

  竹下 俊光, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  平成27年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2015年07月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy Analysis Using Micro/Nanofluidic Devices with Gold Nanoparticle-Embedded Nanochannels

  Koji Sugano, Keisuke Suekuni, Toshimitsu Takeshita, Yoshitada Isono

  27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2014), 2014年11月, 英語, Fukuoka, Japan, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 半導体ナノワイヤ物性評価のためのMEMS-Based Strain Engineering

  北田 勇真, 川瀬 真也, 菅野 公二, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, 磯野 吉正

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

  竹下 俊光, 末國 啓輔, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MEMS デバイスによる多層カーボンナノチューブの層間すべり変形機構の解明

  竹下 俊光, 木村 大気, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 表面増強ラマン分光法のための金粒子配列ナノチャンネルの作製

  末國 啓輔, 竹下 俊光, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 仙台, 国内会議

  ポスター発表


• MEMS デバイスによる多層カーボンナノチューブの層間すべり変形機構の解明

  山内 健司, 大森 英明, 磯野 吉正, 屋代 如月

  日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門主催第5回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 仙台, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Development of MWCNT Embedded Micromechanical Resonator Working as rarefied Gas Sensor

  松本 竜, 岸原 宏幸, 菅野 公二, 花崎 逸雄, 山下 一郎, 浦岡 行治, 磯野 吉正

  応用物理学会 関西支部第2回講演会, 2013年10月, 日本語, 奈良, 国内会議

  ポスター発表


• MWCNT-Embedded MEMS Resonator Fabricated by Bio-MEMS Compatible Process for Rarefied Gas Sensing

  Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Yukiharu Uraoka, Ichiro Yamashita, Yoshitada Isono

  2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013年09月, 英語, Kyoto, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Experimental Nano Mechanics for Silicon & Carbon Nanomaterials Using MEMS Technology

  Yoshitada Isono

  25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2012年11月, 英語

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Wear Durability of Au Coated MWCNT Contact Electrodes for Micro Switch

  Keisuke Suekuni, Naganori Khoda, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono, Hiroshi Kinoshita

  Proceedings of the 30th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2012 Annual Conference of Sensors and Micromachines, 2012年10月, 日本語, 社団法人 電気学会, 北九州市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical Characterization of Nano-thick Au Thin Films at Elevated Temperatures

  Shinnya Kawase, Hyunjin Oh, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  Proceedings of the 30th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems,, 2012年10月, 日本語, 社団法人 電気学会, 北九州市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 高分解能MEMS容量センサ搭載ナノ材料特性評価システムの開発と多層CNT破壊メカニズムの解明

  大森 英明, 貞方 光尊, 坪倉 一孝, 花崎 逸雄, 磯野 吉正

  第28回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 2011年09月, 日本語, 東京, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Evaluation of mechanical properties of sub 100 nm-thick Au thin films for nano transfer printing

  Hyun-Jin Oh, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011 (ATEM'11), 2011年09月, 英語, Kobe, 国際会議

  口頭発表（一般）


• CNT実装MEMS共振型ガスセンサの開発

  岸原 宏幸, 原 拓也, 鄭 彬, 浦岡 行治, 山下 一郎, 松塚 直樹, 花崎 逸雄, 磯野 吉正

  第28回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム, 2011年09月, 日本語, 東京, 国内会議

  ポスター発表


• Carbon Nanotubes-embedded MEMS Resonator Device for Hydrogen Gas Sensing System

  Takuya Hara, Hiroyuki Kishihara, Itsuo Hanasaki, Bin Zheng, Ichiro Yamashita, Yukiharu Uraoka, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono

  International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2011 (ATEM'11), 2011年09月, 英語, Kobe, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 共振周波数調節機能を備えたダイナミックモードAFMカンチレバーの開発

  橋本 佳彦, 花崎 逸雄, 磯野 吉正

  第27回 センサ・マイクロマシンと応用システム シンポジウム, 2010年10月, 日本語, 島根, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical characterization of sub-100nm-thick Au film by tensile testing device based on MEMS technology

  Hyun-Jin Oh, Itsuo Hanasaki, Yoshitada Isono

  第27回 センサ・マイクロマシンと応用システム シンポジウム, 2010年10月, 日本語, 島根, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Experimental Nanomechanics for FIB-CVD Carbon Nanowires Using MEMS Devices

  Yoshitada Isono

  The 5th International Symposium on Nanoscale Mechatronics & Manufacturing(ISNMM), 2010年08月, 英語, Seoul, 国際会議

  口頭発表（招待・特別）


• 多段階交互塗布による基板上へのフェリチン分子吸着密度制御と高密度化

  花崎 逸雄, 田中 利宏, 磯野 吉正, 鄭 彬, 浦岡 行治, 山下 一郎

  第57回応用物理学関係連合講演会, 2010年03月, 日本語, 神奈川県平塚市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MEMS機能デバイスによるナノ厚金薄膜の力学特性評価に関する研究

  呉 衒珍, 磯野 吉正

  日本機械学会関西支部第85期定時総会講演会, 2010年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 変断面両端固定梁を有する静電駆動MEMS共振器の簡易設計手法の構築

  磯野 吉正, 松塚 直樹, 原 拓也

  日本機械学会2009年度年次大会, 2009年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• タンパク質分子のリフトオフプロセスを用いたCNT形成技術

  花崎 逸雄, 呉 衒珍, 鄭 彬, 浦岡 行治, 山下 一郎, 磯野 吉正

  2009年度精密工学会秋季大会, 2009年09月, 日本語, 神戸, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Scanning Probe Parallel Nanolithography for NEMS Fabrication Using MEMS Cantileber Array

  ISONO Yoshitada

  Korea-Japan-China MEMS Standardization Workshop, 2009年06月, 英語, IEC Korian National Committee, Jeju, Korea, 国際会議

  口頭発表（一般）


• MEMS技術を用いた実験ナノメカニクスの展開

  磯野 吉正

  第129回日本材料学会破壊力学部門委員会講演会, 2009年05月, 日本語, 日本材料学会, 京都, 国内会議

  口頭発表（招待・特別）


• n型バルクシリコンにおけるピエゾ抵抗係数のキャリア濃度・温度依存シミュレーション

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山 寿之, 杉山 進

  第56回応用物理学関係連合講演会, 2009年03月, 日本語, つくば, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Process Condition od Scanning Probe Nanolithography Using Positive EB Resist

  ANGGRAINI Lydia, MATSUDUKA Naoki, ISONO Yoshitada

  The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2008年10月, 日本語, IEEJ, Okinawa, 国内会議

  口頭発表（一般）


• New technique of Scanning Probe Parallel Nanolithography Using Individually Driving Multi-Probe

  ISONO Yoshitada, WATANABE Naoki, SASAKI Tohru, NAGAMURA Toshihiko, OCHI Toshihiko

  2nd IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference, 2008年10月, 英語, IEEE, Kyoto, 国際会議

  口頭発表（一般）


• MEMS設計工学の体系化とその必要性

  磯野 吉正

  日本機械学会2007年度年次大会, 2008年10月, 日本語, JSME, 吹田市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• First-Principles Simulation on Orientation Dependence of Piezoresistance Properties in Silicon Nanowires

  NAKAMURA Koichi, ISONO Yoshitada, TORIYAMA Toshiyuki

  21th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2008年10月, 英語, The Japan Society of Applied Physics, Fukuoka, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Electronic States in Silicon Nanowires and Prospects of Their Piezoresistivity

  NAKAMURA Koichi, ISONO Yoshitada, TORIYAMA Toshiyuki, SUGIYAMA Susumu

  The 25th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2008年10月, 日本語, IEEJ, Okinawa, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 応力印加によるバルクシリコンのバンドひずみとピエゾ物性への効果

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山寿之

  日本機械学会材料力学カンファレンス, 2008年09月, 日本語, JSME, 草津, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MEMS技術によるカーボンナノワイヤの力学特性評価とピエゾ抵抗効果の解明

  木内 万里夫, 松井 真二, 磯野 吉正

  日本機械学会材料力学カンファレンス, 2008年09月, 日本語, JSME, 草津, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 単結晶シリコン材料のピエゾ抵抗物性シミュレーション

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山寿之

  日本機械学会2008年次大会, 2008年08月, 日本語, JSME, 横浜, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MHz帯域RF-MEMS共振器の設計開発

  松塚 直樹, 磯野 吉正

  日本機械学会2008年次大会, 2008年08月, 日本語, JSME, 横浜, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 第一原理計算による単結晶シリコンナノワイヤーのピエゾ抵抗係数予測

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山 寿之

  第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年03月, 日本語, 千葉, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 光リソグラフィ技術の限界と自己組織化によるナノパターニング技術

  磯野 吉正

  電子ジャーナル講演会[サブ45nm世代の超高精度微細加工技術],, 2007年11月, 日本語, (株)電子ジャーナル, 仙台市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• MEMSプローブによるナノパターニング技術

  磯野 吉正

  第4回オープンワークショップ「バイオとナノテクノロジーの融合研究」, 2007年11月, 日本語, 文部科学省リーディングプロジェクト(LP)「ナノテクノロジーを利用した新しい原理のデバイス開発」, 東京都江東区, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• First-Principle Study on Piezoresistance Effect in Silicon Nanowires

  NAKAMURA Koichi, ISONO Yoshitada, TORIYAMA Toshiyuki

  20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2007), 2007年11月, 英語, The Japan Society of Applied Physics, Kyoto, 国際会議

  口頭発表（一般）


• シリコンナノワイヤのピエゾ抵抗効果に関する第一原理計算

  中村 康一, 磯野 吉正, 鳥山 寿之

  M&M2007材料力学カンファレンス, 2007年10月, 日本語, JSME, 東京都目黒区, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Development of Scanning Probe Parallel Nanowriting System with Individually Driving Multi-Probe Cantilever Array

  ISONO Yoshitada, WATANABE Naoki, URUSHIHARA Naoki, KAKINAGA Takamitsu, NAGANUMA Toshihiko, SASAKI Toru

  The 24th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2007年10月, 日本語, IEEJ, Funabashi, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 非対称四点曲げ試験法によるマイクロSi構造体のせん断強度評価

  鈴木 竜生, 小河 真仁, 磯野 吉正

  日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月, 日本語, JSME, 吹田市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• MEMS技術に基づく実験ナノメカニクス

  磯野 吉正

  日本機械学会2007年度年次大会, 2007年09月, 日本語, JSME, 吹田市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Ti-Ni SMA Film-Actuated 2-D Multi-Probe Array for Scanning Probe Nano-lithography on a Wide Area

  OKAMURA Yuta, NAMAZU Takahiro, KAMOYAMA Daisuke, URUSHIHARA Naoki, SASAKI Toru, NAGAMURA Toshihiko, ISONO Yoshitada

  The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007年06月, 英語, IEEE, Lyon, France, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Experimental Micro/Nano Mechanics for MEMS

  ISONO Yoshitada

  Workshop on MEMS Standardization, 2007年06月, 英語, The International Electron Commission, Beijing, China, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Evaluation of Piesoresistive Effects for Carbon Nanowire Using MEMS Actuators

  KIUCHI Mario, ISONO Yoshitada, MATSUI Shinji, NAKAMATSU Kenichiro

  The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007年06月, 英語, IEEE, Lyon, France, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Development of Scanning Probe Parallel Nanowriting System with Electron Beam Resist

  MATSUZUKA Naoki, TANAKA Bungo, NAGAMURA Toshihiko, SASAKI Tohru, NAMAZU Takahiro, ISONO Yoshitada

  The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2007年06月, 英語, IEEE, Lyon, France, 国際会議

  口頭発表（一般）


• MEMS駆動マルチプローブアレイによるパラレルナノライティング技術の開発

  磯野 吉正

  日本材料学会マイクロマテリアル部門委員会, 2007年04月, 日本語, 日本材料学会マイクロマテリアル部門委員会, 草津市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Thermal Actuated Multi-Probes Cantilever Array for Scanning Probe Parallel Nano Writing System

  磯野 吉正

  Technical Digest of The 20th IEEE International Conference on MEMS 2007, 2007年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Novel Shear Strength Evaluation of MEMS Materials Using Asymmetrical Four-Point Bending Technique

  OGAWA Masato, ISONO Yoshitada

  The 20th IEEE International Conference on MEMS, 2007年01月, 英語, IEEE, Kobe, 国際会議

  口頭発表（一般）


• hermal Actuated Multi-Probes Cantilever Array for Scanning Probe Parallel Nano Writing System

  WATANABE Naoki, ISONO Yoshitada, KAKINAGA Takamitsu, NAGAMURA Toshihiko, SASAKI Tohru

  The 20th IEEE International Conference on MEMS, 2007年01月, 英語, IEEE, Kobe, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 非対称四点曲げ試験法に基づいたマイクロシリコン構造体のせん断強度評価

  小河 真仁, 磯野 吉正

  第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月, 日本語, 日本学術会議, 京都市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• マイクロシリコン構造体の完全両振り曲げ疲労試験の確立

  坂本 雄一, 磯野 吉正

  第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月, 日本語, 日本学術会議, 京都市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MEMS技術で作製した静電駆動型ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの機械・電気特性評価

  木内 万里夫, 磯野 吉正, 松井 真二, 中松 健一郎

  第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 2006年12月, 日本語, 日本学術会議, 京都市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• マイクロ・ナノマシン設計・開発のための実験力学とナノ微細加工技術

  磯野 吉正

  平成18年度マイクロ・ナノ融合加工技術研究会第3回例会, 2006年11月, 日本語, 京都府中小企業技術センター, 京都市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Mechanical and Electrical Characteristics of FIB Deposited Carbon Nanowire Using Electrostatic Actuated NAno Tensile Testing Device

  KIUCHI Mario, ISONO Yoshitada, MATSUI Shinji, NAKAMATSU Kenichiro

  The 23rd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2006年10月, 日本語, IEEJ, Takamatsu, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Establishment of Probe Nano Writing Technique Using EB Resist And Application to Nano Device

  ONODA Masahiro, TANAKA Bungo, MATSUZUKA Naoki, ISONO Yoshitada

  The 23rd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2006年10月, 日本語, IEEJ, Takamatsu, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Development of Individually Driving Multi-probes Array for Parallel Nano Writing System

  WATANABE Naoki, ISONO Yoshitada, KAKINAGA Takamitsu, NAGAMURA Toshihiko, SASAKI Tohru

  The 23rd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, 2006年10月, 日本語, IEEJ, Takamatsu, 国内会議

  口頭発表（一般）


• New Experimental Techniques of Nanofabrication and Nanomechanics based on MEMS

  ISONO Yoshitada

  The Third International Conference on Multiscale Materials Modeling, 2006年09月, 英語, Fraunhofer Institute and University of Freiburg, Freiburg, Germany, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• New Approach to Experimental Nanomechanics Using MEMS Technology

  ISONO Yoshitada

  International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS, 2006年09月, 英語, The Japan Society of Applied Physics, Yokohama, Japan, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Silicon Anisotropic Wet Etching simulation Using Molecular Dynamics

  URUSHIHARA Naoki, KAKINAGA Takamitsu, TABATA Osamu, ISONO Yoshitada

  The Conference on Computational Engineering and Science, 2006年06月, 日本語, JSCES, 吹田市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Development of Electrostatic Actuated Nano Tensile Testing Device for Mechanical and Electrical Characteristics of FIB Deposited Carbon Nanowire

  KIUCHI Mario, MATSUI Shinji, ISONO Yoshitada

  MRS Spring Meeting, 2006年04月, 英語, Materials Research Society, San Francisco, USA, 国際会議

  口頭発表（一般）


• MEMS技術を利用した実験力学の新展開

  磯野 吉正

  第148回X線材料強度部門委員会研究討論会資料, 2006年02月, 日本語, 日本材料学会X線材料強度部門委員会, 京都市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• ナノデバイス創製を支えるナノ加工とナノ実験力学の新展開

  磯野 吉正

  日立ナノテクフォーラム, 2005年12月, 日本語, 日立, 豊中市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• ナノデバイス創製を支えるナノ実験力学の展開

  磯野 吉正

  ナノテクシンポジウム~NEMS創出を目指して~, 2005年07月, 日本語, 社団法人電気学会センサ・マイクロマシンE部門, 草津市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Scanning Probe Parallel Nanolithography Using Multi-Probes Cantilever Array for Silicon Nanodevices

  磯野 吉正

  Proc. of The 13th International Conference on Solid-State Sensors,Actuators and Microsystems (Transducers’05), 2005年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• New Fatigue Damage Evaluation of MEMS Materials under Tension-Compression Cyclic Loading

  磯野 吉正

  Proc. of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005, 2005年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Mechanical Characteristics of FIB Deposited Carbon Nanowire by Electrostatic Actuated Nano Tensile Testing Devices (EANAT)

  磯野 吉正

  Proc. of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005, 2005年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical and Electrical Properties Evaluation of Carbon Nanowire Using Electrostatic Actuated Nano Tensile Testing Devices (EANAT)

  磯野 吉正

  Proc. of The 5th IEEE Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO), 2005年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Effect of Gas Flow Ratio in PE-CVD on Elastic Properties of Sub-Micron Thick Silicon Nitride Films for MEMS

  Proc. of The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’05), 2005年


• MEMS構造設計のためのマイクロ・ナノ材料評価技術

  磯野 吉正

  第9回関西大学先端科学技術シンポジウム, 2005年01月, 日本語, 関西大学, 吹田市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Micro/Nano Materials Testing for Reliable Design of MEMS/NEMS

  ISONO Yoshitada

  The 2004 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science, 2004年11月, 英語, IEEE, Nagoya, Japan, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Mechanical Characterization of Micro/Nano Materials for Design of MEMS

  ISONO Yoshitada

  The 1st International Symposium for Nanoscale Mechatronics & Manufacturing, 2004年02月, 英語, Center for Nanoscale Mechatronics & Manufacturing, Ministry of Science & Technology in Korea, Seoul, Korea, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Tensile And Creep Characteristics of UV-LIGA Nickel Structures for Design of Micro Connector

  磯野 吉正

  Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2004, 2004年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical Characterization of Micro/Nano Materials for Design of MEMS

  磯野 吉正

  Proc. of The 1st International Symposium for Nanoscale Mechatronics & Manufacturing, 2004年, 英語, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Improved Potential Function for Molecular Dynamics Simulation of Si Wet Etching

  磯野 吉正

  Proc. of Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2004), 2004年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• High-Cycle Fatigue Damage Evaluation for Micro-Nanoscale Single Crystal Silicon under Bending and Tensile Stressing

  磯野 吉正

  Proc. of The 17th IEEE International Conference on MEMS 2004, 2004年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Development of Full-Reversed Bending Fatigue Tester Based on AFM Technique for Cyclic Damage Evaluation of MEMS

  磯野 吉正

  Final Program and Abstract on Asian Pacific Conference for Fracture and Strength ’04, 2004年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Scanning Probe Nanolithography Using Self-Assembled Monolayer for Fabrication of Single Electron Transistors

  磯野 吉正

  Proc. of The 12th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 2003年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• High-Cycle Fatigue Test of Nanoscale Si and SiO2 Wires Based on AFM Technique

  磯野 吉正

  Proc. of The 16th IEEE International Conference on MEMS 2003, 2003年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Elevated Temperature Tensile/Creep Test of UV-LIGA Nickel Thin Film for Design of High-Density Micro Connector

  磯野 吉正

  Proc. of The 12th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 2003年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Chemo-Mechanical Actuator Using Self-Oscillating Gel for Artificial Cilia

  磯野 吉正

  Proc. of The 16th IEEE International Conference on MEMS 2003, 2003年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• AFM Tensile Test of Sub-Micron Thick DLC Film for Surface Modification in MEMS

  磯野 吉正

  Proc. of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003, 2003年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Simulation of Anisotropic Chemical Etching of Single Crystalline Silicon using Cellular-Automata

  磯野 吉正

  Workshop on Physical Chemistry of Wet Etching of Silicon (PCWES2002), 2002年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Quasi-static/Cyclic Loading Tests of Nanometric SiO2 Wires Using AFM technique for NEMS Designs

  磯野 吉正

  Proc. of The 2002 2nd IEEE Conference on Nanotechnology Nano2002, 2002年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical Characterization of Sub-micrometer Thick DLC Films by AFM Tensile Testing for Surface Modification in MEMS

  磯野 吉正

  Proc. of The 15th IEEE International Conference on MEMS 2002, 2002年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• MEMSのためのマイクロ・ナノスケール材料強度評価

  磯野 吉正

  2001年度年次大会先端技術フォーラム, 2001年09月, 日本語, JSME, 福井市, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Size Effect on Mechanical Properties of Nano-scale Single Crystal Silicon at Elevated Temperatures

  磯野 吉正

  Proc. of The International Symposia on Material Science for the 21 Century, 2001年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Plastic Behavior of Nano-Scale Silicon Structure at Intermediate Temperatures

  磯野 吉正

  Proc. of The 10th International Conference on Fracture, 2001年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Fabrication of a Micro Needle for a Trace Blood Test

  磯野 吉正

  Proc. of The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 2001年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Evaluation of Mechanical Properties of Si(001) and SiO2 Nanobeams Using an Atomic Force Microscope

  磯野 吉正

  Abstract of Tokyo-2001 Conference on Scanning Probe Microscopy, 2001年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• AFM Bending Testing of Nanometric Single Crystal Silicon Wire at Intermediate Temperatures for MEMS

  磯野 吉正

  Proc. of The 14th IEEE International Conference on MEMS 2001, 2001年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Nano-Scale Bending Test for Si Beams for MEMS

  磯野 吉正

  Proc. of The 13th IEEE International Conference on MEMS 2000, 2000年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Effect of Microstructure on Mechanical and Thermal Properties of Diamond-Like Carbon Thin Film

  磯野 吉正

  Proc. of The Eighth International Conference on the Mechanical Behavior of Materials, 1999年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Rapid Prototyping –Its New Possibility of Manufacturing of Grinding Wheel－

  磯野 吉正

  Proc. ASPE 1998 Annual Meeting, 1998年, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Rapid Prototyping ?Its New Possibility of Manufacturing of Grinding Wheel－

  磯野 吉正

  Proc. ASPE 1998 Annual Meeting, 1998年, 英語, 国際会議

  [招待有り]

  ポスター発表


• Atomic Scale Cutting Process －3D-MD Analyses and SPM observation－

  磯野 吉正

  Proc. ASPE Annual Meeting, 1998年, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 光励起ナノギャップ電極を用いたDNA オリゴマーの光トラップおよび1 分子検出

  森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 日本語

• 日本材料学会


• 電気学会


• IEEE


• 日本機械学会

• 表面ポテンシャル変調を考慮した半導体ナノ細線の弾性歪み誘起電気伝導特性の解明

  磯野 吉正, 菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 神戸大学, 2021年04月01日 - 2024年03月31日


• 表面増強ラマン分光を用いた次世代DNAシーケンシング基盤技術

  菅野 公二, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2018年04月01日 - 2021年03月31日

  本申請課題では，従来のナノポアなど電気的検出法による次世代DNAシーケンシング技術より高い信頼性を有する新規な技術として，分子識別能力に優れた表面増強ラマン分光（SERS：Surface Enhanced Raman Spectroscopy）によるDNAシーケンシングを提案し，その基盤技術の確立を目的としている。この研究により，メチル化など異常修飾を含めた塩基配列を識別可能なDNAシーケンシング技術が期待される。平成30年度では以下の項目を明らかにすることを目的としてSERSおよび電気的手法によるDNAオリゴマー検出実験を行った。 (1)DNA断片における1塩基検出感度・1塩基空間分解能の実現と諸特性・現象の理解 単一金ナノ粒子二量体を用いてDNAオリゴマーのSERS計測を行った。単一の金ナノ粒子二量体のナノギャップ部分は単一のDNAオリゴマーのみ侵入可能な空間であり，本実験でDNAオリゴマー内容物のラマンピークが観測されることで単一DNAオリゴマーの検出が確認できる。CCCCACCCのDNAオリゴマー内にある種類の塩基（アデニン）が1つのみ含まれる配列にてSERS計測を行った結果，アデニンの明確なラマンピークが検出された。これにより，DNAオリゴマー内の1分子塩基感度の検出・同定が可能であることを実証した。 (2)巨大電磁場増強場におけるDNA断片挙動の理解とマニピュレーション技術の確立 トップダウン加工でナノギャップ電極を形成し，ナノギャップ（巨大電磁場増強場）におけるDNA断片の挙動を電気的計測により調べた。レーザ照射による電磁場増強によって大きな電場勾配が発生するためDNAオリゴマーに誘電泳動力が働くと考えられる。これまでにレーザ照射することでナノギャップ間に電流シグナルが得られた。この結果によりレーザ照射により分子がナノギャップに引き寄せられていることが考えられる。

  競争的資金


• 半導体ナノ細線の弾性歪み誘起電気伝導特性に対する表面電位の関与解明

  磯野 吉正, 菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2018年04月01日 - 2021年03月31日, 研究代表者

  表面電位がSiCナノワイヤ(NW)のピエゾ抵抗効果に及ぼす影響を明らかにするため、SiCNWをチャネルとするFET型曲げ試験デバイスを作製し、曲げ歪み作用下でゲート電圧を変化させながら、SiCNWのゲージ率を評価した。無歪み状態でのFET特性は、誘電体に正の固定電荷を持つSiO2シェルを用いた場合はn型電子輸送特性を示し、負の固定電荷を持つAl2O3シェルの場合はp型特性を示した。また、歪み作用時のSiCNWの抵抗変化率においても、SiO2被覆NWはn型半導体特有の負のゲージ率を示し、Al2O3被覆NWは正のゲージ率を示した。さらに、ゲート電圧の増減により、ゲージ率は大きく変化した。

  競争的資金


• 生体内分解性を有するマイクロ検力センサー創製に向けた材料設計原理の確立

  向井 敏司, 磯野 吉正, 福本 巧, 池尾 直子, 上杉 晃生

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(A), 基盤研究(A), 神戸大学, 2017年04月01日 - 2021年03月31日

  生体内分解性インプラントは経時に伴い体内で分解されるため、抜去手術を必要としないデバイスとして注目されている。本研究ではインプラントの分解に伴う力学的強度をリアルタイムでモニタリングできるシステムの構築を目標としている。平成30年度には、第一原理計算に基づく分解性マグネシウム合金の最適組成設計およびヘテロ構造の形成を通じた強靱化に関する研究を継続して実施した。また、蒸着による検力センサーの実装試行および分解性を評価するための研究を推進した。 分解性マグネシウム合金の最適組成設計については、カルシウムならびに生体為害性が低い元素を第三元素として添加した場合の強度および変形能に及ぼす効果を第一原理計算により予測した。ここでは、溶質元素および原子数； Ca: 1, 第三元素X (Li, K, Sr, Ba, Zn, Mn, Mo, Zr, Cu, Ag, Si, Nd, Gd): 1を設定した。また、粒界モデルには{11-21}や{11-24}など複数種の対応粒界を選定し、第一原理計算により粒界エネルギーが高い粒界構造を決定した。次に、置換元素の偏析エネルギーを計算し、安定な原子配置を決定した。その後、各合金の粒界凝集エネルギーを算出し、破壊し難い合金元素種を決定した。計算により選定した合金を鋳造により試作した後に、強ひずみ加工を施すことにより、強靱化した細線材料を作製した。 センサーの作製については、電子ビーム(EB)蒸着およびスパッタリングの二通りの手法により実施した。ここでは、検力センサーのパターンを形成する方法およびセンサー膜中の不純物が分解速度に及ぼす影響を評価した。擬似体液にハンクス液を用いて試験体を浸漬し、経時に伴う体積減少を確認した。また、検力センサーを実装した試験体に曲げ応力を負荷し、センサーの出力について測定することにより、検力性能を検証した。

  競争的資金


• 界面電子状態密度制御によるSiナノワイヤの熱電変換指数巨大化への挑戦

  磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽), 挑戦的研究(萌芽), 神戸大学, 2018年06月29日 - 2020年03月31日, 研究代表者

  研究の第一年度は、主としてALD装置によるSiNWへのAl2O3被覆絶縁層の形成技術の確立、およびMEMS技術を用いたSiNW群の熱電変換特性評価デバイスの開発研究に取り組んだ。前者においては、SiNWへの被覆には成功したものの、最適条件を抽出するに至っていない。今年度は、薄膜形成中の基板温度制御を高精度に実施できるように、装置を改良する予定である。一方、後者においては、解析研究と実験研究を実施した。先ず解析研究では、SiNW群を用いた熱電変換デバイスに関する熱－電気等価回路モデルを作成し、解析によって熱電変換出力のSiNW密度依存性を解明した。これにより、デバイス開発に必要なSiNW群の密度情報を得ることができた。実験研究においては、触媒用金ナノ粒子のトレンチ側壁への選択的配置の実現、マイクロトレンチ間でのVLS成長SiNW群の架橋、およびTEOSを原料としたSiO2絶縁膜の被覆形成に成功し、SiNW群を用いた熱電変換特性評価デバイスを試作開発することができた。本年度は、このデバイスを用いて、架橋SiNW群のI-V特性評価、ゼーベック電圧の計測を実施した。I-V評価では、金ナノ粒子－Si境界でのショットキー障壁に起因した非線形性が確認された。また、ゼーベック電圧の計測では、温度増加に伴う同電圧増加が確認できた。ただし、ゼーベック電圧は約～35 μVと解析で予想される値より非常に小さくなった。今後、より大きなゼーベック電圧出力を得るために、SiNW群にマイクロヒーターからの熱を効率よく伝えられるように、デバイスに断熱構造を適用する必要があると考えられる。また、今後はデバイス構造およびプロセスフローの再検討を行うとともに、SiNW群に大きい温度差を付与できるヒーター構造を実現していく予定である。

  競争的資金


• MEMS・高温クリープ成形融合技術によるSi薄膜立体成形と医療用触覚センサの開発

  磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究, 挑戦的萌芽研究, 神戸大学, 2016年04月01日 - 2018年03月31日, 研究代表者

  本研究では、単結晶Si薄膜の高温パンチクリープ成形技術を確立し、同手法を用いて医療用用極小触覚センサを新開発した。先ず、高温パンチクリープ成形シミュレーションに必須となる、Si薄膜に対するクリープ特性を逆解析的に定量評価した。得られたクリープ特性を用いたセンサ成形シミュレーションの結果と実験結果とは10%以内の誤差で一致し、逆解析で求めたクリープ特性が妥当であることが示された。センサ力検出領域が直径0.32mmの微小触覚センサを、有限要素解析（FEA）によって設計した。最後に、パンチクリープ成形技術による触覚センサの製作に成功し、同センサの力検出感度はFEAによる設計値とほぼ一致した。

  競争的資金


• ＭＥＭＳ援用弾性歪み工学による半導体ナノ細線の応力誘起電子伝導特性評価

  磯野 吉正, 菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2015年04月01日 - 2018年03月31日, 研究代表者

  3C-SiCNWは、過酷環境下で使用されるMEMS用ピエゾ抵抗素子としての利用が期待されている。本研究では「ナノ細線集積MEMS歪み制御デバイス」を新開発し、同デバイスを利用してSiO2で包まれた3C-SiCNW（C/S-SiCNWという)の機械的特性およびピエゾ抵抗を明らかにした。SiO2シェルを含まない3C-SiCNWとC/S-SiCNWの引張強さは、平均でそれぞれ22.4、7.3GPaを示した。また、3C-SiCNWのゲージ係数は0.022εで-17.6であった。このように、3C-SiCNWはn型半導体の振る舞いを示し、ピエゾ抵抗素子材料として有用であると示唆された。

  競争的資金


• バイオアシストMEMSプロセスの新開発によるマイクロ熱電変換デバイスの創成

  磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究, 挑戦的萌芽研究, 神戸大学, 2013年04月01日 - 2015年03月31日, 研究代表者

  本研究では、優れた熱電変換特性が期待されるSiNWを利用した熱電変換デバイスの新開発を目指して、SiNW結晶成長技術を確立するとともに、SiNW単体で熱電変換特性評価ができる計測デバイスを設計した。SiNW成長では、金ナノ粒子内包フェリチンタンパク分子を触媒にした成長実験に成功したが、再現性の確保が困難であった。このため、金ナノ粒子の二次元配列技術を新たに確立し、高密度SiNW成長を実現した。一方、熱電変換特性計測デバイスの構造設計では有限要素解析を実施し、合理的なデバイス形状を決定した。とくに、計測中のデバイス温度上昇に伴う熱膨張を梁の弾性変形によって吸収する構造にすることができた。

  競争的資金


• ナノ結晶成長法とＭＥＭＳの融合による単結晶量子細線の機械－電気連成特性評価

  磯野 吉正, 花崎 逸雄

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2012年04月01日 - 2015年03月31日, 研究代表者

  本研究では、次世代の高感度力学センサの素子として期待される、Silicon Nanowire（SiNW）の機械-電気連成特性評価を実施した。長さ10um、直径80nmのSiNW単体に対して、単軸歪みを付与しながら電気特性を調べたところ、歪み3%において、<111>方向SiNWの電気伝導率が5倍@3%，<112>方向のそれは1.53倍@3%に達した。また、SiNWのゲージ率は、<111>方向SiNWが-170.7@0.2%を示し、また、<112>方向SiNWは-128.9@0.1%となった。この値はバルクSiより大きな値であり、次世代力学センサ素子として、SiNWは有効であることが示唆された。

  競争的資金


• RF-MEMSスイッチ接点電極材料へのカーボンナノチューブ薄膜の適用

  木之下 博, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 2010年 - 2012年

  MEMS技術を応用した超小型高周波信号デバイスであるRF-MEMSスイッチの接点電極は,マイクロ荷重でも十分低い接触抵抗を必要としている.本研究では,カーボンナノチューブ(CNT)薄膜を用いることで,マイクロ荷重で低接触抵抗を達成することを目的としている.実験の結果,CNT薄膜単独では接触抵抗が高いが金薄膜を蒸着すること,CNTを基板に対して水平に配向させることで接触抵抗を下げられることが明らかとなった

  競争的資金


• 二国間交流「ナノ物性評価MEMSデバイスによる半導体ナノワイヤの応力誘起電子伝導の解明」

  磯野 吉正

  二国間交流事業（オーストリアとの共同研究）, 2012年, 研究代表者

  競争的資金


• 二国間交流「ナノ物性評価MEMSデバイスによる半導体ナノワイヤの応力誘起電子伝導の解明」

  磯野 吉正

  二国間交流事業（オーストリアとの共同研究）, 2011年, 研究代表者

  競争的資金


• MEMSにおける形状計測法に関する標準化

  磯野 吉正

  国際標準共同研究開発事業, 2011年, 研究代表者

  競争的資金


• MEMS機能デバイスを利用したセンサ用ナノ量子細線のマルチフィジックス特性評価

  磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2008年 - 2010年, 研究代表者

  本研究では、ナノデバイス開発に必須となるナノ材料単体でのナノメカニクス特性を高精度に評価するため、ナノ材料評価専用MEMSデバイスとSEM内ナノプローブマニピュレータを新開発し、代表的なナノ材料であるカーボンナノチューブ(CNT)単体の力学特性の解明を試みた。MEMSデバイスには、世界初となる変位拡大機構を有する静電容量センサを搭載し、変位分解能0.93nmを実現した。本デバイスは、ナノプローブマニピュレータに搭載した上でFE-SEM内に設置され、CNT固定後に引張試験が実施可能となる。平均直径51nm,長さ17μmの多層CNTのナノ引張試験で得られた応力-ひずみ関係から、CNTは先ず外層が破断して、引き続き内層が破断することが明らかとなった。また、ヤング率は約600GPaを示し、これまでに報告とほぼ同程度の値を示した。

  競争的資金


• ナノ・マイクロマシニング技術を援用したピエゾ抵抗ナノ細線の機械・電気特性評価

  磯野 吉正, 杉山 進, 李 年慶

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 立命館大学, 2004年 - 2006年

  本研究では、MEMS技術を用いて高精度で高信頼性を有するナノ材料物性評価技術を確立することを目指すこととした。具体的には、MEMS技術によって作製される静電駆動型マイクロアクチュエータによって、ナノ材料単体に対して高精度に単軸引張荷重を負荷することができる、静電駆動型ナノ引張試験デバイス(Electrostatic Actuated Nano Tensiletesting device: EANAT)を開発するとともに、ナノ材料の機械的性質および単軸応力下での電気抵抗変化を解明することを目的とする。本研究では、供試材料として、集中イオンビーム顕微鏡を用いた化学蒸着法(FIB-CVD法)で形成されるカーボンナノワイヤ(CNW)を採用した。これは、近年シリコン系材料だけに止まらず、カーボン系材料のマイクロ・ナノデバイスへの応用が期待されていることを背景にしている。 EANATを用いてFIB-CVDにより作製した、直径90nmから150nmのCNWの準静的単軸引張試験を実施した結果、ヤング率はばらつきがあるものの、その平均値は59.9GPaを示した。また、破断応力の平均は約4.3GPaであった。さらに、FE-SEM観察によって、CNWの破壊直前に示す非線形変形挙動は、局所的くびれに起因することを明らかにした。 本研究では、CNWの機i械特性評価だけでなく、電気特性評価も併せて実施可能な改良型EANATを開発し、CNWの単軸応力下における電気抵抗変化を評価した。単軸応力下でのCNWの電気抵抗変化挙動は、ひずみの増加に伴い段階的に変化するメカニズムであることが明らかとなった。すなわち、ひずみの初期段階では導体であるガリウムによる金属線的な抵抗変化挙動を示した後、CNW中のガリウムナノ細線が断線してしまう。その後、CNW全体の電気抵抗は水素化アモルファスカーボンが支配的となり、更なるひずみ増加に伴って、抵抗変化率は減少する。最後に、高ひずみ状態になり、ナノワイヤにくびれが生じると電気抵抗が急激に上昇し、再度、抵抗変化率が増加する。 以上のことから、ナノマシン材料としてCNWを適用できると考えられる。


• マイクロマシニングにより作製したマイクロエンジン構造体の高温疲労試験技術の確立

  李 年慶, 磯野 吉正, 鳥山 寿之

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 立命館大学, 2004年 - 2005年

  第一年度で試作した完全両振りマイクロ曲げ疲労試験装置を用いて、マイクロ構造体の設計の際に必要となる、シリコンマイクロ構造体の疲労寿命を求めた。具体的には、一定荷重の下で、単結晶シリコン製マイクロ試験片の繰り返し疲労試験を実施し、S-N曲線を実験的に求めた。本研究で新開発した完全両振り曲げ疲労試験装置は、一軸PZTアクチュエータ上に設置したマイクロ試験片を、光てこ検出機構上に設置したツインカンチレバーによって挟み込んだ状態で、繰り返し往復運動させることで曲げ応力を同マイクロ試験片に付与する機構となっている。マイクロ試験片に生じる曲げ応力は、原子間力顕微鏡技術に基づいた光てこ検出機構によって、作動電圧値として出力される。本研究においては、ハード設計、システム設計、およびシステム制御プログラムを一貫して新開発することで、高精度な荷重制御の下でマイクロ試験片の繰り返し疲労試験を実施できるようにしている。 第二年度においては、ICP-RIEを用いたドライエッチング法で作製した、厚さ6m、幅30m、長さ100mの片持ちはり型シリコンマイクロ試験片の繰り返し曲げ疲労試験を実施した。ここで、マイクロ試験片の長手方向は単結晶シリコンの<110>方向に、また、繰り返し荷重を受ける試験片表面は(100)面としている。繰り返し疲労試験の結果、同一応力下においては、試験片寸法が小さくなるほど疲労寿命が長くなる傾向が見られた。これは準静的曲げ試験結果と定性的に一致するものであった。一方、片振り繰り返し疲労寿命と完全両振り繰り返し疲労寿命との差違は、試験データ数が少なかったため、明確に見られなかった。今後、試験データ数を増やして、繰り返し負荷モードの違いが疲労寿命に及ぼす影響を、実験的に明らかにする必要があるといえる。


• イメージベースト重合メッシュ法による不均質体のノンローカル応力解析とその検証

  高野 直樹, 座古 勝, 倉敷 哲生, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 2002年 - 2004年

  独自の重合メッシュ法(mesh superposition method)を用い、実際の不均質材料の3次元ミクロ構造モデリングを高分解能X線CTを用いるイメージベース手法により行う新たな「イメージベースト重合メッシュ法」を提案した。この手法は、これまでのマルチスケール法で取り扱うことが不可能であった継手界面や、局部的に集中して現れる塑性域、損傷域の考慮、ひずみ勾配を考慮した問題などのノンローカル問題に適用可能である。 具体的に、数マイクロメートルの高分解能で微視形態をとらえ、大規模3次元マルチスケール解析を行う。ミクロモデリングを行うために、モルフォロジー分析法についての研究も行った。マクロモデルでは均質化材料モデルを用いるが、任意の複雑なミクロ構造に対応するため均質化法を適用する。すなわち、均質化法と重合メッシュ法の併用解法といえる。重合メッシュ法においてミクロメッシュとマクロメッシュの相関を表す剛性項のために大規模問題となる点については、RCM法によるリナンバリングが有効であることを見いだした。これにより、本研究においても通常のパソコンで約10万要素の3次元解析が可能となった。適用例として多孔質セラミックスをとりあげ、モルフォロジー分析、ミクロ・マクロモデリング、マクロき裂先端におけるミクロ応力解析を実施した。また、精度検証として、イメージベースモデリング手法の妥当性について計測結果と比較して誤差1%程度という良好な結果を得たほか、2次元重合メッシュ法において界面でのミクロ応力解析の精度検証を行った。これらの精度検証の結果は、今後の提案手法の実用化に向けて貴重なデータとなる。また、得られた3次元ミクロ応力分布の可視化および定量的評価のために、応力ヒストグラムなどが容易に処理できるソフトV-SEMを開発した。


• 単電子デバイス用ナノスケールシリコン量子細線の機械的特性評価技術の開発

  磯野 吉正, 小西 聡

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 立命館大学, 2001年 - 2003年

  本研究では,量子細線用Siナノワイヤに対して,AFM内準静的曲げ試験技術およびオンチップ引張り試験技術を開発することで,これまで困難とされてきたナノスケール電子デバイス材料のヤング率測定および破壊強度評価を実施し,量子デバイス用ナノ材料の機械的性質を定量的に評価することを試みた.具体的には,電解支援酸化加工法により作製した200nm〜800nm幅の自立型シリコンナノワイヤに対して,ダイヤモンドtip付きステンレス製カンチレバーを用いてAFM内で準静的曲げ試験を実施した.ここでは,常温曲げ試験だけでなく,高温度下での同試験も併せて成功している.一方,オンチップ引張り試験においては,ナノ試験片,櫛歯型静電アクチュエータおよび変位計測カンチレバー機構が一体となった引張り試験デバイスを設計・開発した.得られた結果を以下に示す. (1)ナノスケール単結晶Siは常温では脆性的に破壊したが,373K以上の中温域では塑性変形を生じた.また,ナノスケール単結晶Siの塑性変形範囲には試験片寸法効果が存在することが明らかとなった. (2)295K〜573Kにおける(111)面上<110>方向の単結晶Siのヤング率は170GPa〜159GPaに変化して温度依存性を示したが,試験片寸法依存性は見られなかった.これに対して,ナノスケール単結晶Siの破壊強度には,顕著な試験片寸法依存性が存在することが明らかとなった. (3)AFMによるすべり線観察の結果,すべり線の数は試験片寸法の低下および温度上昇に伴って増加し,ナノスケール単結晶Siには塑性変形挙動の寸法・温度依存性が存在することが示された.これは,熱活性エネルギよりも微小寸法材料内に発生する高い弾性ひずみエネルギが,転位発生に大きく寄与するためと考えられる. (4)ナノスケール引張り試験デバイスの設計,および同デバイスによる引張り応力-変位計測法を構築した.また,作製した静電アクチュエーター体型引張り試験デバイスを使用してアクチュエータの動作試験を行い,引張り試験デバイスとして十分機能することを示した


• 3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する基礎研究

  田畑 修, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 特定領域研究, 特定領域研究, 立命館大学, 2001年 - 2002年

  外部からの制御信号がなくても,心臓のように一定リズムで自発的に動作する高分子ゲル製アクチュエータを実現し,生体との親和性の高いケモメカニカルシステムを構築することが本研究の最終目標である.第1ステップとして,繊毛運動をするケモメカニカルアクチュエータの実現可能性を検討している.材料にはルテニウム錯体[Ru(bpy)_3]を共重合させたN-イソプロピルアクリルアミド(N-IPAAm)自励振動ゲルを用いた.自励振動ゲル内ではBZ反応が発生し,一定条件下において自発的なリズムで膨潤収縮を繰り返す特性を示す. シンクロトロンから放射されるX線を利用したゲルのマイクロ成型加工技術を用いて自励振動ゲルの表面に繊毛状突起のマイクロ構造を形成した人工繊毛を実現した.人工繊毛は底部直径100μm,高さ300μmの円錐台形状構造が250μmピッチでアレイ状に配置された構造である.ゲル中の反応波の伝播に伴う繊毛状突起先端部の挙動を,動画解析処理を用いて測定すると共に,有限要素法(FEM)を用いたシミュレーション結果により解析した.BZ反応によるゲルの膨潤・収縮のFEM解析は,繊毛状突起モデルに初期条件として熱膨張係数と温度場およびヤング率の測定結果を与えて行った.測定により突起先端の楕円軌跡動作が明らかになり,FEM解析により突起先端の楕円軌跡動作にはゲル基部の膨潤・収縮が大きく関与していることが明らかとなった.


• 走査型プローブ顕微鏡内引張り試験による強磁性パーマロイ薄膜の物性評価技術の確立

  磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 立命館大学, 2001年 - 2002年

  本研究では,走査型プローブ顕微鏡(SPM)内引張り試験機を開発し,同装置で引張り試験を行うことで,これまで困難とされてきたマイクロスケール電子デバイス構成材料のヤング率測定を実施し,電子デバイス材料における機械的性質を定量的に評価することを試みた.具体的には,代表的なマイクロデバイス材料である単結晶シリコン,Niメッキ薄膜試験片に対して引張り試験を実施し,同材料の弾塑性領域での応力-ひずみ関係を明らかにしている.ここでは,SPMに設置されているAFM(Atomic force Microscope)機能を用いることにより,これまで引張り法における欠点であったひずみ測定を高精度に行い,ヤング率の定量的評価に成功している.また,マイクロスケールNi試験片に対しては,常温下での引張り試験だけでなく,高温引張り・クリープ試験も併せて実施し,マイクロスケールNi薄膜材料の材料構成関係則を構築している.一方,磁気ヘッドの構成材料であるパーマロイ薄膜に対しては,SPMに設置されているMFM(Magnetic force Microscope)機能を用いて薄膜表面の磁区構造を観察した. 得られた結果を以下に示す (1)常温から300℃までの温度範囲で引張り試験が可能な,走査型プローブ顕微鏡内マイクロ引張り試験機を開発することに成功した. (2)SPMひずみ直接計測法を確立した.同方法により,マイクロシリコン試験片のヤング率は,マクロスケールのそれとほぼ一致することがわかった. (3)Niメッキ薄膜の高温引張り・クリープ試験を実施した結果,マイクロスケール寸法下での機械的性質の温度依存性はマクロスケールのそれより大きい.とくに,高温下でのマイクロスケールNi構造体は,マクロスケールのそれよりもクリープ変形の影響を受けやすい. (4)パーマロイ薄膜の磁壁をMFMにより観察した結果,膜厚が薄くなるにつれ磁壁幅が広くなることが明らかになった.また,膜厚の減少に伴ってブロッホ磁壁からCross-tie磁壁へ移行していくことがわかった.


• 走査型プローブ顕微鏡内引張り試験装置の開発によるDLC/パーマロイ薄膜の物性評価

  田中 武司, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 立命館大学, 1999年 - 2000年

  本研究では,走査型プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope:SPM)内引張り試験装置を新開発するとともに,単結晶シリコン(Si)薄膜,ダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜,パーマロイ薄膜から成る微小寸法試験片に対するマイクロ引張り試験を実施し,同薄膜材料の機械的特性評価を行った.具体的には,SPMを引張り試験における伸び測定装置として用いることにより,マイクロ引張り試験法における欠点であった歪み測定を高精度に実施し,ヤング率を直接測定する手法を確立した.本研究で開発した引張り試験機は,微小送り用PZTアクチュエータ,PZTハウジングケース,小型ロードセルおよび差動変位計から構成されている.とくに,既存のSPM装置寸法の制約上,アクチュエータ自体を試験片軸上に設置することが極めて困難であったため,新たにヒンジ構造を有するハウジングケースを新開発することにより,この種の問題を解決することに成功した. 試験片軸方向が[110]方向を有する単結晶Si薄膜試験片に対して,SPM引張り試験を実施した結果,ヤング率160GPaを得た.さらに,SPMの伸びデータをスプライン補間することにより得られたヤング率は,170GPaであった.バルクSiの[110]方向のヤング率が169GPaであることから,SPM引張り試験で高精度にひずみ測定が実施されたと言える.また,Si薄膜試験片の引張り強度は900MPa〜1.2GPaを示し,バルクSiの約2〜3倍であった.これは,試験片寸法の減少に伴って,試験片に微小欠陥が存在する確率が減少することにより,破壊強度の増加が引き起こされたと考えられる.一方,DLC薄膜:パーマロイ薄膜試験片に対する引張り試験も併せて試みたが,成膜条件の不具合から詳細なデータは得られなかった.同薄膜の機械的特性については,今後の課題として継続研究する予定である.


• ジルコニア/メタル傾斜機能材の加工による相変態と強靱化機構の解明

  磯野 吉正, 田中 武司, 飴山 恵, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 立命館大学, 1995年 - 1996年

  未来材料として傾斜機能材が注目されているが、実際の製品にする際の加工データは少ない。ジルコニア/ニッケルの組成比の異なる傾斜機能材を新しく作製し、その研削特性を調べた。特に、研削加工による強靱化と表面性状が傾斜機能材の強度特性にいかなる影響をおよぼすかを明らかにした。 ZrO_2/Niの複合材料では、ZrO_2の含有量が増えるにつれ、曲げ強度が増す。Niの粒子はZrO_2のそれより非常に大きいので、破壊の際、Niにクラックが入る。入ったクラックが数多くの微小なZrO_2によってその伝播が止められ、強くなったといえる。Niの含有量が増えると、m相量が増える。焼結の冷却過程において、Niの収縮が大きく、ZrO_2が圧縮せられ、マルテンサイト変態したといえる。 ダイヤモンドホイールの作用砥粒径を大きくすると、加工面のm相量が増し、仕上げ面粗さが大きくなる。また、ZrO_2の含有量が多い方がm相増加率は小さい。さらに、ZrO_2が多く含まれる試料では、作用砥粒径が大きくなるにつれて、m相量は増し、強度は増加する。一方、ホイール周速度が小さくなるほど、仕上げ面粗さは増す。ホイール周速度が増すほど、m相量、曲げ強さは増す。周速度が増すと衝撃的な力がかかり、マルテンサイト変態が多くなったといえる。逆にNiの含有量が50%を超えると、周速度が増すと、m相量は減るが、曲げ強さは増す。 SD140/170で研削を行なった後、表面をポリィシングで除去し、残留応力を測定した。ZrO_2部ではすべて圧縮残留応力となっている。Niの含有量が増すと、m相量、ZrO_2の圧縮残留応力が増加する。しかし、Ni部では、Niが少ないとき、圧縮残留応力となり、Niが100%では完全に引張りの残留応力になる。これらは書加工表面でマルテンサイト変態が起こるためである。つまり、ZrO_2部の相変態による体積膨張がNi部を圧縮し、Niの残留応力が圧縮になったといえる。