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神野 伊策
大学院工学研究科 機械工学専攻
教授

研究者基本情報

■ 学位
  • 博士（工学）, 大阪大学
■ 研究キーワード
  • Micro-fabrication
  • Ferroelectric thin films
  • Piezoelectric materials
  • MEMS
  • Thin film materials
  • 微細加工
  • 圧電材料
  • MEMS
  • 薄膜材料
■ 研究分野
  • 情報通信 / 機械力学、メカトロニクス
  • 情報通信 / ロボティクス、知能機械システム
  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性
  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム
  • ナノテク・材料 / ナノ材料科学

研究活動情報

■ 受賞
  • 2019年10月 経済産業省, 国際標準化貢献者表彰（産業技術環境局長表彰）
    神野伊策

  • 2019年03月 日本機械学会 情報知能精密機器部門, 日本機械学会 情報知能精密機器部門 功績賞, 機械工学
    神野 伊策

  • 2019年 International Electrotechinical Commission (IEC), 1906 Award
    神野伊策

  • 2018年 電気学会センサ・マイクロマシン部門, 優秀ポスター発表賞, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」発表題目：機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法
    肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝

  • 2017年 日本機械学会, 日本機械学会フェロー, 日本機械学会フェロー
    神野 伊策

  • 2006年 日本AEM学会, 日本AEM学会 論文賞, 圧電アクチュエータを用いた進行波型バルブレスマイクロポンプの開発
    神野 伊策
    論文賞

  • 2003年10月 Microsystem Technologies, Microsystem Technologies: Best Poster Award, Low-Voltage actuation of RF-MEMS switch using Piezoelectric PZT thin films
    神野 伊策
    Best Poster Award

■ 論文
■ MISC
  • 酵母の個体差の解析を目的とした空圧バルブ付きマイクロ流体デバイスの開発
    藤原稜平, KAHAR Prihardi, 荻野千秋, 神野伊策, 肥田博隆
    2023年, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集(CD-ROM), 48th

  • 酵母の個別解析のためのバルブ付きマイクロ流体デバイスの開発
    矢郷望, KAHAR Prihardi, 荻野千秋, 神野伊策, 肥田博隆
    2022年, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集(CD-ROM), 46th

  • Pb(Zr,Ti)O₃薄膜マイクロカンチレバーを用いた圧電特性評価—Measurement of piezoelectric properties of Pb(Zr,Ti)O₃ thin-film microcantilevers—第12回 集積化MEMSシンポジウム
    治京 元気, 大西 康太, 神田 健介, 梅垣 俊仁, 神野 伊策
    [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan, 2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語

  • フレキシブルPZT圧電薄膜を用いたエナジーハーベスタのウェアラブル応用
    原田燎, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策
    2020年, 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM), 2020

  • Si基板上エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜の結晶構造と圧電特性の評価
    TAN G., KIM Eun-Ji, KWEON Sang-Hyo, 小金澤智之, 神野伊策
    2020年, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 67th

  • 有機圧電エナジーハーベスターにおける振動発電特性の膜厚依存性
    小林晃子, 堀家匠平, 小柴康子, 福島達也, 神野伊策, 石田謙司
    2019年02月25日, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 66th, ROMBUNNO.9a‐PA2‐29, 日本語
    研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）

  • フッ素系高分子圧電体を用いたユニモルフカンチレバー型振動発電デバイスの特性評価
    小柴康子, 小林晃子, 堀家匠平, 堀家匠平, 福島達也, 神野伊策, 石田謙司
    2019年, フッ素化学討論会講演要旨集, 42nd

  • Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の正圧電特性の温度依存性に関する研究
    金光勇弥, TAN G., 梅垣俊仁, 神野伊策
    2018年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 79th

  • 電圧印加における非鉛(K,Na)NbO3薄膜の結晶構造変化その場観察
    TAN G., 西岡慎太郎, 小金澤智之, 梅垣俊仁, 神野伊策
    2018年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 79th

  • 機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法—Analytical method for developmental process of growing root systems under mechanical stress
    肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝
    [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan, 2018年, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 4p, 日本語

  • Pb(Zr,Ti)O3薄膜の電圧印加結晶構造変化の組成依存性
    譚ゴオン, 丸山和樹, 金光勇弥, 西岡慎太郎, 逢坂広己, 小金澤智之, 梅垣俊仁, 神野伊策
    2018年, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 65th

  • シューズ埋め込み型圧電振動発電素子の作製・評価
    西崇仁, 伊藤喬, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策
    2017年, 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM), 2017

  • Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究
    金光勇弥, TAN Goon, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策
    2017年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 78th

  • Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の逆圧電効果による結晶構造変化のその場観察
    TAN Goon, 丸山和樹, 金光勇弥, 西岡慎太郎, 小金澤智之, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策
    2017年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 78th

  • 30pm1-E-4 圧電薄膜アクチュエータを用いたインセクトスケール圧電ロボットの作製と評価
    岩崎 拓実, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    This paper describes the fabrication and characterization on insect-scale piezoelectric thin-film robots. Recently, many insect-scale robots are being developed for medical and engineering field. However, they need a power source and are expensive due to complex structures. In this study, we fabricated an insect-scale robot driven at low voltage and characterized them. We deposited PZT thin films on cantilever-shaped stainless steel (SUS304) substrates, and assembled them into a three-leg insect-scale robot. From experimental results, a robot with no load moved at 2.25 mm/s by applying 13 V_ unipolar square-wave voltage at 190 Hz. In contrast, a robot with 72.8 mg mass moved at 3.03 mm/s by applying 20 V_ voltage at 156 Hz. We successfully realized an insect-scale piezoelectric thin-film robot driven at low voltage.
    一般社団法人日本機械学会, 2015年10月21日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015(7) (7), "30pm1 - E-4-1"-"30pm1-E-4-2", 日本語

  • 2A2-R08 圧電薄膜の転写技術を用いたソフトアクチュエータの開発
    肥田 博隆, 櫻井 陽, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 神野 伊策
    We developed novel soft actuators using piezoelectric thin films. To realize low-cost fabrication method, we also developed a new transfer technique of piezoelectric thin films, which was deposited on temporary stainless steel substrate, to PDMS substrate by using wet etching process. By characterizing crystal structure and driving performance as actuators, we experimentally clarified that transferred Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films have piezoelectric properties. This method might allow us to develop novel MEMS (micro-electro-mechanical systems) devices such as artificial muscle at low-cost fabrication in future.
    一般社団法人日本機械学会, 2015年05月17日, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2015, "2A2 - R08(1)"-"2A2-R08(2)", 日本語

  • スパッタ法を用いたLi4Ti5O12薄膜の作製とその評価
    岡本一真, 黒川文弥, 肥田博隆, 神野伊策, 水畑穣
    2015年, セラミックス基礎科学討論会講演要旨集, 53rd

  • 22am2-E3 金属基板上PZT薄膜を用いた振動発電素子の信頼性評価に関する研究
    辻浦 裕一, 黒川 文弥, 諏訪 英作, 肥田 博隆, 神野 伊策
    This paper describes the reliability of vibration energy harvesters of metal-based Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films. Metal foil cantilevers have attracted attention to improve the lifetime of vibration energy harvesters because of their strong fracture strength. However, the long-term reliability of vibration energy harvesters has not been investigated intensively. In this study, we fabricated the PZT thin-film vibration energy harvesters based on metal foil cantilevers (length: 10 mm, width: 2.5 mm, thickness: 30 μm) and measured their output power for one thousand minutes. From the experimental results, we confirmed that the vibration energy harvester showed quite low degradation of approximately 0.31% by every decade on a logarithmic time scale at the acceleration of 1 m/s^2. On the other hand, we could not demonstrate the precise relationship between the output power and excitation acceleration because of the variation in measured data.
    一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "22am2 - E3-1"-"22am2-E3-2", 日本語

  • 22am2-E1 圧電薄膜を用いた自励振動型気流発電素子の作製および評価
    諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    We fabricated self-excited vibration energy harvesters of Pb(Zr, Ti)O_3 (PZT) thin films using air flow. To generate a large self-excited vibration, we use 30-μm-thickness stainless steel (SS304) foils as base substrates of PZT thin films. The PZT thin films were deposited directly by rf-magnetron sputtering. To compensate the initial bending of PZT/SS304 substrates due to the thermal stress, we deposited the counter PZT thin films on the backside of SS304 substrates. When the angle of attack was 30°, the energy harvester generated the self-excited vibration above the wind speed of 8 m/s, and the output power reached 19 μW at the wind speed of 12 m/s.
    一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "22am2 - E1-1"-"22am2-E1-2", 日本語

  • 20pm1-E3 金属基板上圧電薄膜アクチュエータを用いたミリメータスケールロボットの作製
    森田 勇樹, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    We fabricated the millimeter-scale robot by metal-based PZT thin-film actuator. PZT thin films were directly deposited on 50-μm-thick Ti substrates by rf-magnetron sputtering. Piezoelectric actuators have simple structure and drive by low voltage. Therefore, in recent year, the robot using piezoelectric materials have been studied. However, piezoelectric actuators cannot generate a large displacement. In this study, we fabricated the millimeter-scale robot(7.5×2.5 cm^2) actuated using resonance since the largest displacement can be generated at the resonance. The movement of the robot depends on the angle between front and rear legs θ and the frequency f of the applied voltage. Under the condition of θ = 123° and f = 10.6 kHz, the robot moved forward at a speed of 6.74 cm/s. On the other hand, under the condition of θ = 123° and f = 5.4 kHz, the robot moved backward at a speed of 1.21 cm/s.
    一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "20pm1 - E3-1"-"20pm1-E3-2", 日本語

  • 20pm1-F3 PZT圧電薄膜および圧電MEMSデバイスの信頼性評価
    神野 伊策
    Piezoelectric thin films have attracted attention for MEMS applications. In addition to the deposition of the high-quality piezoelectric thin films, establishment of the measurement technique of the piezoelectric properties, including the evaluation of the reliability, is strongly demanded. In this presentation, we will discuss the characteristics of the proper and inverse piezoelectricity of the thin films, and related properties of the reliability.
    一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "20pm1 - F3-1"-"20pm1-F3-2", 日本語

  • 21am2-A8 ウエットエッチングによる圧電薄膜のPDMS基板上への転写技術
    肥田 博隆, 八神 瞬, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 神野 伊策
    This paper reports a simple and high-productive fabrication method of flexible piezoelectric substrate. To realize low-cost fabrication method, we developed a novel transfer technique of piezoelectric thin films onto PDMS substrate based on metal wet etching process. We experimentally clarified that transferred Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films by using our developed method have piezoelectric property. This method might allow us to develop novel MEMS (micro-electro-mechanical systems) devices such as wearable sensors and flexible energy harvesters at low-cost fabrication.
    一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "21am2 - A8-1"-"21am2-A8-2", 日本語

  • 20pm1-E2 正・逆圧電効果によるPZT薄膜の圧電定数e_<31,f>の評価
    河邊 真之, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    We evaluated the transverse piezoelectric coefficient e_<31,f> of Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films from direct and inverse piezoelectric effects using cantilever methods. The PZT/Si unimorph cantilevers (length: 17.8 mm, width: 2.0 mm, thickness: 628 μm) were fabricated by depositing the PZT thin films and the stripe-shaped Pt top electrodes on Pt/Ti/Si substrates by rf-magnetron sputtering. From the e_<31,f> measurement, we confirmed that e_<31,f> largely depended on frequency in both direct and inverse effects. In cases where evaluated from direct piezoelectric effect, e_<31,f> was independent of position and size of electrode and input displacement, and calculated to be -6 C/m^2 above 20 Hz. On the other hand, e_<31,f> evaluated from inverse piezoelectric effect increased with applied voltage, and calculated to be as high as -12 C/m^2 below 500 Hz.
    一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "20pm1 - E2-1"-"20pm1-E2-2", 日本語

  • スパッタ法を用いたLi4Ti5O12薄膜の作製とその評価
    岡本一真, 黒川文弥, 肥田博隆, 神野伊策, 水畑穣
    2014年, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 61st

  • ポリ尿素薄膜を用いた焦電・圧電特性および振動発電評価
    森本勝大, 辻浦裕一, 小柴康子, 三崎雅裕, 神野伊策, 石田謙司
    2014年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 75th

  • 6AM2-A-8 スパッタ法で作製したPZT薄膜積層アクチュエータ(6AM2-A マイクロナノプロセス技術I(センサシンポジウムとの合同セッション))
    岸本 真哉, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    We fabricated multilayer ceramic actuator (MLCA) composed of piezoelectric layers with SrRuO_3 (SRO) internal electrodes by single sputtering deposition. We deposited approximately 500-nm-thick Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) layers on SiO_2/Si substrates through a movable shadow mask. The separated internal SRO electrodes are prepared by sliding the shadow mask and multilayered PZT thin films are deposited on a Si substrate with external electrodes on both sides of the PZT films. The PZT layers of MLCA have perovskite structure. The MLCA with five PZT layers have high-dielectric properties; a relative electric coefficient of approximately 1100 regardless of the number of PZT layers. The piezoelectric displacement of Si cantilever with MLCA increased with the number of PZT layers.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年11月04日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013(5) (5), 107 - 108, 日本語

  • 5PM1-C-6 植物寄生性センチュウの行動分析用マイクロ流路デバイス : 流路規格および流路内物質濃度分布の検証(5PM1-C 細胞工学とマイクロ流体デバイス)
    肥田 博隆, 西山 英孝, 澤 進一郎, 神野 伊策, 東山 哲也, 新田 英之
    We present a novel method for chemotaxis assay of plant-parasitic nematode, Meloidogyne incognita by using a PDMS (polydimethylsiloxane) microchannel device. For allowing the nematodes to swim in a simple microchannel, we also developed a protocol by loading an agarose gel into microchannel with power-free pumping method. A 5-μm-wide microchannel array, which is narrower than the body width of the nematodes, can efficiently confine the nematodes in analyzed area. We numerically evaluated the chemical concentration distribution in developed microchannel and successfully related the time-dependent chemical condition to the behavior of nematodes.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年11月04日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013(5) (5), 35 - 36, 日本語

  • J212011 コンビナトリアル成膜法によるPMN-PT薄膜の組成依存性評価([J212-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))
    黒川 文弥, 辻浦 裕一, 冨岡 宏平, 肥田 博隆, 神野 伊策
    In this study, we deposited Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)03-PbTi03 (PMN-PT) thin films on PbTiO_3/Pt/Ti/Si substrates by combinatorial sputtering to optimize the composition ratio of PMN-PT thin films. Compositional gradient PMN-PT thin films were deposited by multi target co-sputtering, namely combinatorial sputtering, and pyrocholre-free PMN-PT thin films with rondom orientation were prepared on PbTiO_3/Pt/Ti/Si substrates. PT compositional ratio is ranging from 0.25 to 0.57, which coverd MPB composition of bulk PMN-PT ceramics (PT = 0.33). We confirmed that relative dielectric constants increase with decreasing PT ratio in PMN-PT films. On the other hand, the PMN-PT thin films showed the maximum piezoelectric coefficients|e_<31,f>| = 7〜8 C/m^2 around PMN-0.45PT, which is shifted from MPB composition of PMN-PT bulk ceramics.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年09月08日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2013, "J212011 - 1"-"J212011-4", 日本語

  • J161013 ステンレス基板上圧電薄膜を用いたMEMSエナジーハーベスター([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))
    辻浦 裕一, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    We developed piezoelectric thin-film MEMS energy harvesters using stainless steel (SUS430) cantilevers to improve fracture toughness as well as to lower the resonant frequency. The large fracture toughness of SUS430 cantilevers overcomes the breakdown of the cantilevers and ensures the long lifetime of the energy harvesters. To simplify the fabrication process, the piezoelectric Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin film was directly deposited on the microfabricated SUS430 cantilevers with a 30-μm-thick beam and a tip mass by rf-magnetron sputtering. The X-ray diffraction (XRD) measurement revealed that the PZT thin film has perovskite structure with random orientations. The relative dielectric constant ε_r and the transverse piezoelectric coefficient е_<31,f> were respectively evaluated to be 325 and -4.0 C/m^2, which indicates the figure of merit (FOM) of 0.049. From the evaluation of power generation performance for the PZT thin-film energy harvester (beam length: 5.5 mm, width: 5.0 mm, mass length: 2.0 mm), its maximum output power was 6.8 μW (power density: 1.7 μW/mm^3) under conditions of 367 Hz and 10 m/s^2.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年09月08日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2013, "J161013 - 1"-"J161013-5", 日本語

  • E-2-2 エピタキシャルPZT薄膜を用いた高効率圧電型振動発電素子に関する研究(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    諏訪 英作, 辻浦 祐一, 神野 伊策
    We fabricated piezoelectric energy harvesters composed of c-axis oriented Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films transferred onto stainless steel substrates.In order to improve resonance frequency,we designed a cantilever with a tip mass.PZT thin firms were epitaxially grown on MgO substrates using rf-magnetoron sputtering and transferred onto stainless steel substrate by eximer laser liftoff.Transferred PZT thin firms had a low dielectric constant (ε_r=340) and high piezoelectric coefficient(e_<31.1>=-4.76 C/m^2).The energy harvester had a resonance frequency of 143.2 Hz.At the optimal load resistance of 90 kΩ and resonance frequency of 143.2 Hz, theenergy harvester generated output power of 2.02μW at an acceleration of 1m/s^2 and 49μW at acceleration of 7.5 m/s^2.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年03月20日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2013, 46 - 49, 日本語

  • E-2-1 金属基板上PZT薄膜を利用したジャイロセンサーの開発に関する研究(マイクロナノメカトロニクス(2),口頭発表)
    富士原 考裕, 神野 伊策
    We developed piezoelectric MEMS gyrosensors composed of PZT thin films. The PZT thin films were directly deposited on the microfabricated metal cantilevers by RF sputtering method.To evaluate basic performance of the gyrosensor,we measured resonance frequency of horizontal and vertical directions.We clearly observed horizontal and vertical resonances at 48.46kHz and 28.77 kHz respectively.Then we calculated the sensitivity analytically.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年03月20日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2013, 43 - 45, 日本語

  • E-1-4 非鉛圧電薄膜(K, Na)NbO_3の微細加工技術(マイクロナノメカトロニクス(1),口頭発表)
    黒川 文弥, 横川 隆司, 小寺 秀俊, 佐藤 政史, 柴田 憲治, 神野 伊策
    In this study,we developed microfabrication process of lead-free sodium potassium niobate [(K,Na)NbO_3,KNN]thin films by dry etching.We deposited KNN thin films on Si substrate and evaluated its etching characteristics.We found that Ar/C_4F_8 plasma dry etching was effective for high etching rate 63 nm/min of KNN as well as excellent selectivity of KNN and Cr metal mask 5.7.We conducted fabrication of Pt/KNN/Pt unimorph microcantilevers through KNN etching process.We could fabricate micro-cantilevers without initial deflection and they show high piezoelectric coefficients d_31=110 pm/V.These results suggest that Ar/C_4F_8 plasma dry etching enable to apply for various lead-free piezoelectric MEMS fabrication processes.
    一般社団法人日本機械学会, 2013年03月20日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2013, 40 - 42, 日本語

  • Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    Elsevier Inc., 2012年11月20日, Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-Materials and MEMS: Second Edition, 1 - 644, 英語
    その他

  • OS4-1-1 金属基板を用いたPZT圧電薄膜エナジーハーベスト(OS4 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開)
    辻浦 裕一, 安達 和彦, 神野 伊策
    We fabricated piezoelectric MEMS energy harvesters of PZT thin films on the microfabricated stainless steel cantilevers. The 2.5-μm-thick PZT thin films were directly deposited by RF-magnetron sputtering. Direct deposition of PZT thin films can reduces the complexity of the fabrication process of the piezoelectric MEMS energy harvesters. Furthermore, because of strong fracture toughness of stainless steel, the thickness of the cantilevers could be as thin as 30 μm. We confirmed strong diffraction peaks corresponding to pervskite PZT without a pyrochlore phase by XRD, which indicates that the polycrystalline PZT films with pervskite structures were grown on stainless steel cantilevers. We evaluated the power generation performance of the unimorph cantilever (7.5 mm-long, 5.0 mm-wide) with the tip mass of 2.5×10^<-5> kg. The averaged output power reached 6.0 μW at 10 m/s^2 and a low resonant frequency of 367 Hz.
    一般社団法人日本機械学会, 2012年10月21日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2012(4) (4), 91 - 92, 日本語

  • P-OS4-2 Fabrication and characterization of lead-free piezoelectric thin films
    Ratanapreechachai P., 神野 伊策
    We fabricated composition gradient sodium potassium niobate [(K,Na)NbO_3, KNN] thin films on (111)Pt/Ti/SiO_2/Si by multi-target RF magnetron sputtering to optimize KNN film composition by combinatorial method. We successfully obtained c-axis oriented KNN thin films with perovskite structure on 6-inch Si wafers. The KNN film composition was measured by energy dispersive x-ray spectroscopy (EDX) and we confirmed composition gradient of K/(K+Na) ratio of the KNN thin film on Si wafer along with the line between KNbO_3 and NaNbO_3 targets. This result indicates that the combinatorial sputtering is useful for precise optimization of the deposition condition and film composition of the lead-free KNN thin films.
    一般社団法人日本機械学会, 2012年10月21日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2012(4) (4), 273 - 274, 英語

  • OS7-3-6 RFマグネトロンスパッタリング法によるPMN-PT薄膜の圧電特性(OS7 最先端材料が拓くマイクロ・ナノ工学の新展開(3))
    冨岡 宏平, 横川 隆司, 小寺 秀俊, 神野 伊策
    We evaluated compositional dependence of piezoelectric and dielectric properties of Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)_<1-x>Ti_x(O_3(PMN-PT) films by using combinatorial sputtering method. Compositional gradient PMN-PT films were deposited on Pt/Ti/Si substrates by using multi-target sputtering. Piezoelectric and dielectric properties of PMN-PT films were evaluated as a function of composition x in Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)_<1-x>Ti_xO_3. Relative dielectric constant and remnant polarization (P_r) increased with decreasing PT ratio.
    一般社団法人日本機械学会, 2012年10月21日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2012(4) (4), 63 - 64, 日本語

  • Integrated Microfluidic Device for Molecular Transport by Kinesin-Microtubule System
    Tsubasa Ikeuchi, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Hidetoshi Kotera
    2011年12月27日, International Workshop on Micro/Nano engineering, 英語
    [査読有り]

  • Fabrication of Multi-scale Channels Applicable to Bio-assays
    Gaku Isobe, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Hidetoshi Kotera
    2011年12月27日, International Workshop on Micro/Nano engineering, 英語
    [査読有り]

  • Multilayer Thin-Film Ceramics Fabricated by RF Magnetron Sputtering
    Yuji Imamiya, Isaku Kanno, Ryuji Yokokawa, Hidetoshi Kotera
    2011年12月27日, International Workshop on Micro/Nano engineering, 英語
    [査読有り]

  • 3-7 圧電薄膜を用いた振動エナジーハーベスターの特性評価(OS3 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開)
    神野 伊策, 小寺 秀俊, 柴田 憲治, 三島 友義
    We fabricated piezoelectric vibration energy harvesters composed of PZT and lead-free KNN thin films on Si cantilevers and characterized the output voltage and power of those piezoelectric films. Both of the PZT and KNN films were deposited on Pt-coated Si substrates by rf-magnetron sputtering. The harvesters had a simple unimorph cantilever structure with the almost same dimensions, and the characteristics of power generation were examined. When we applied the acceleration of 10m/s^2 on the PZT and KNN energy harvesters, they generated the output power of 1.11 and 1.01μW at the resonant frequency under 10m/s^2, indicating lead-free KNN films are comparable to PZT films for the performance for power generation.
    一般社団法人日本機械学会, 2011年09月25日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2011(3) (3), 35 - 36, 日本語

  • MP-50 Ti基板上に成膜したPZT薄膜駆動の圧電MEMSスキャナーミラーに関する研究(ポスターセッション)
    松下 周平, 神野 伊策, 横川 隆司, 小寺 秀俊
    We have developed Ti-based piezoelectric MEMS scanner mirrors driven by PZT thin films. The 2μm-thick PZT thin films were directly deposited on 50μm-thick Ti substrates by RF-magnetron sputtering. The Ti substrates were preliminary microfabricated into the shape of the horizontal scanner by wet etching, therefore we could fabricate piezoelectric microactuators without photolithographic process. We could confirm strong diffraction peaks corresponding to perovskite PZT without a pyrochlore phase by XRD, which indicates that the polycrystalline PZT films with perovskite structures were grown on Ti substrates. We achieved a mechanical tilt angle of 10.0° at resonant frequency of 23.7kHz by driving voltage of 10V_. These horizontal scanning properties would be applicable for the laser displays.
    一般社団法人日本機械学会, 2011年09月25日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2011(3) (3), 167 - 168, 日本語

  • MP-14 KNN非鉛圧電薄膜の微細加工(ポスターセッション)
    黒川 文弥, 神野 伊策, 横川 隆司, 小寺 秀俊, 堀切 文正, 柴田 憲治, 三島 友義
    We conducted inductively coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE) for sodium-potassium niobate (KNN) thin films by Ar/ C_4F_8 mixture gas in order to develop lead-free piezoelectric MEMS devices. We prepared Cr metal masks on KNN thin films deposited on Si substrate. The etching rate of the KNN films was about 63nm/min, which is about third times faster than Ar dry etching. The ferroelectric properties of KNN thin films were not changed by etching process. This result suggests that the lead-free piezoelectric MEMS devices can be fabricated by dry etching of KNN thin films without damage to the KNN films.
    一般社団法人日本機械学会, 2011年09月25日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2011(3) (3), 95 - 96, 日本語

  • J161041 (K,Na)NbO_3圧電薄膜の微細加工技術([J16104]マイクロナノメカト口ニクス(4))
    堀切 文正, 柴田 憲治, 末永 和史, 渡辺 和俊, 野本 明, 三島 友義, 神野 伊策
    It was investigated that the etching characteristics of lead-free (K,Na)Nb03 (KNN) thin films by the ICP-RIE (Inductive Coupled Plasma ・Reactive Ion Etching) with Ar-C4F8 mixture for the reactive gas. The Ar-C4F8 mixing ratio fixed 10:1, and the chamber pressure was 0.5Pa during the etching. The KNN etching depth has linear relationship as the function of the etching time. The etching rate increased with increasing the antenna power and the bias power. The antenna and the bias dependence of the etching rate show good linearity. These linear relationships indicate the good controllability of the etching. The KNN/Pt selectivity increased with increasing antenna power and decreasing bias power. Thus, the high KNN etching rate was obtained at high antenna power and high bias power condition. The high KNN/Pt selectivity was obtained at high antenna power and low bias power condition. The maximum KNN etching rate and KNN/Pt selectivity were 371.6nm/min. and 85.8, respectively. These results are comparable to that of the conventional piezoelectric PZT films.
    一般社団法人日本機械学会, 2011年09月11日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2011, "J161041 - 1"-"J161041-3", 日本語

  • Parallel Microtuble Array with Defined Polarity by Nanotracks and Selective Microtuble Immobilization
    R. Yokokawa, M. Kitamura, M. Yokokawa, I. Kanno, H. Kotera
    2011年04月25日, 2011 MRS Spring Meeting and Exhibit, pp. AA5.1, San Francisco, USA,, 英語
    [査読有り]

  • Experimental and Numerical Analysis of Polar Oriented Microtubule Array in Nanotracks
    R. Yokokawa, M. Kitamura, M. Yokokawa, I. Kanno, H. Kotera
    2011年04月15日, 8th Annual Conference on Foundations of Nanoscience (FNANO11), pp. 44-45, Snowbird, USA, 英語
    [査読有り]

  • D-2-1 ナノインプリントリソグラフィとUVリソグラフィの融合によるバイオアッセイ用サブマイクロ灌流デバイスの作製(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
    礒辺 岳, 横川 隆司, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Recently, micro/nano fabrication techniques are applied to bio-assay for detailed biochemical analysis. For example, studies about single molecule enzymology by femtoliter PDMS chambers and real-time imaging of single molecule fluorescence in quartz nano wells are reported. But, these conventional devices for nano-bio assays have difficulties in perfusing solutions in nano structures, so we developed a simple fabrication process of sub-microchannel and microchannel by integrating nanoimprint lithography and UV lithography. The fabricated device consists of sub-microchannel array and two microchannels. These microchannels are used as inlet or outlet of sub-microchannel to deliver solutions. We achieved water injection and solution exchange in 2-μm channels. Water injection pressure was 100 kPa for 1-μm channels and 120 kPa for 2-μm channnels.
    一般社団法人日本機械学会, 2011年03月18日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2011, 28 - 29, 日本語

  • D-1-4 金属基板上に成膜したPZT薄膜による圧電MEMSスキャナーミラーの研究(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
    松下 周平, 神野 伊策, 横川 隆司, 小寺 秀俊
    In this study, we have developed metal-based MEMS scanner mirrors driven by PZT piezoelectric thin films not only to simplify fabrication process but also to improve fracture toughness of the micro-actuators. The 2 μm-thick PZT thin films were directly deposited on preliminarily microfabricated metal-based substrates of titanium or stainless steel by RF-magnetron sputtering. We could achieve a large mechanical angle tilt of 6.21° at high resonant frequency of 35.02 kHz by low application voltage of 10V_. Use of microfabricated metal-based substrates for the PZT deposition enables simpler process and stronger toughness of scanner mirrors compared with the conventional Si-based ones.
    一般社団法人日本機械学会, 2011年03月18日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2011, 20 - 25, 日本語

  • Hiroki Kotake, Ryuji Yokokawa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 24th Vol.2, 1373 - 1376, 英語

  • M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata
    2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 24th Vol.2, 1265 - 1268, 英語

  • Yuji Imamiya, Ryuji Yokokawa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2011年, 2011 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON APPLICATIONS OF FERROELECTRICS (ISAF/PFM) AND 2011 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PIEZORESPONSE FORCE MICROSCOPY AND NANOSCALE PHENOMENA IN POLAR MATERIALS, 英語

  • Development of Miniaturized Piezoelectric Energy Harvesters
    Junya Ogawa, Norihiro Yamauchi, Koji Goto, Tomoaki Matsushima, Koichi Aizawa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2011年, IDW'11: PROCEEDINGS OF THE 18TH INTERNATIONAL DISPLAY WORKSHOPS, VOLS 1-3, 2, 1227 - 1230, 英語

  • Isaku Kanno, Kenji Akama, Ryuji Yokokawa, Hidetoshi Kotera
    2011年, 2011 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON APPLICATIONS OF FERROELECTRICS (ISAF/PFM) AND 2011 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PIEZORESPONSE FORCE MICROSCOPY AND NANOSCALE PHENOMENA IN POLAR MATERIALS, 英語
    [査読有り]

  • R. Yokokawa, Y. Sakai, A. Okonogi, I. Kanno, H. Kotera
    2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1365 - 1368, 英語

  • Yuko Kitazawa, Ryuji Yokokawa, Kyohei Terao, Atsuhito Okonogi, Dzung Viet Dao, Susumu Sugiyama, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 956 - 959, 英語
    [査読有り]

  • Ryuji Yokokawa, Ryuji Yokokawa, Yusuke Sakai, Atsuhito Okonogi, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2010年12月01日, 14th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences 2010, MicroTAS 2010, 1, 372 - 374

  • MNM-5B-1 Ti基板上に成膜したPZT薄膜による振動発電特性(セッション 5B マイクロエネルギー)
    佐川 光史, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We fabricated piezoelectric energy harvesters of PZT thin films on Ti cantilevers. The PZT films were directly deposited on Pt-coated Ti substrates using rf-magnetron sputtering. Although the harvester had a simple cantilever structure without seismic mass, the resonant frequency was as low as 272 Hz because of its thin Ti thickness of 50 μm. Output power had a peak at optimal load resistance of 19 kΩ. When we applied the acceleration of 50 m/s^2 on the harvester, it could generate electric power of 15.7 μW at the resonant frequency without serious damage to PZT/Ti harvesters.
    一般社団法人日本機械学会, 2010年10月12日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010(2) (2), 207 - 208, 日本語

  • MNM-3B-3 高密度圧電MEMS可変ミラーの開発(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
    佐藤 政司, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper reports on a piezoelectric micro-electro-mechanical systems (MEMS) deformable mirrors with high-density actuator array for low-voltage and high-resolution retinal imaging with adaptive optics. The deformable mirror was composed of unimorh structure of piezoelectric zirconate titanate (PZT) thin film deposited on Pt-coated silicon on insulator (SOI) substrate and a diaphragm of 10 mm in diameter formed by backside-etching the Si handle wafer. 61 hexagonal electrodes were laid out on the PZT thin film for the high-density actuator array. In order to reduce the dead space for the lead lines between the electrodes and connecting pads, a polyimide layer with through holes on the electrodes was patterned as an electrical insulator. To confirm the application feasibility of the fabricated DMs, the displacement profile of the actuators were measured by a laser Doppler vibrometer. Independent applications of voltages on individual actuators were confirmed.
    一般社団法人日本機械学会, 2010年10月12日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010(2) (2), 161 - 162, 日本語

  • MNM-1A-2 鏡面・非鏡面X線反射率測定によるタンパク吸着膜構造の統計学的評価(セッション 1A マイクロ・ナノスケールバイオ計測と医用応用)
    合田 圭佑, 横川 隆司, 桑島 修一郎, 神野 伊策, 岩田 博夫, 小寺 秀俊
    The purpose of this study is to investigate conformations of antibodies immobilized on three kinds of solid surfaces modified with APTES, AEAPTES or GA and their antigen-binding affinities. In the recent developments in biosensors, although the geometric structure of antibodies determines their sensitivity, few studies have focused on their conformations and its effect on their antigen-binding capacity due to a lack of applicable analysis techniques. In this work, specular and off-specular X-ray reflectivity measurement were employed, which enables us to analyze vertical and lateral multilayer structure. The results showed that the antigen-binding affinity on GA was highest among antibodies immobilized on three modified surfaces, although their conformations were almost the same as 'flat-on' analyzed by specular X-ray reflectivity. In contrast, lateral layer structure analysis by off-specular reflection revealed that protein layer on GA before antigen-binding had a relatively-long lateral correlation length and a low fractal dimension which would cause the reduction of steric hindrance for antigens' access to binding sites of antibodies.
    一般社団法人日本機械学会, 2010年10月12日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010(2) (2), 17 - 18, 日本語

  • 和家佐 有宇, 横川 隆司, 神野 伊策, 小寺 秀俊, 柴田 憲治
    We propose a new micro-fabrication process of piezoelectric MEMS actuators composed of lead-free KNbO_3-NaNbO_3 (KNN) thin films. The micro-cantilevers were fabricated on silicon on insulator(SOI) substrates, and successively the KNN thin films were directly deposited on them by rf-sputtering. Thus, piezoelectric unimorph micro-cantilevers of lead-free KNN films could be prepared without microfabrication of the KNN films. The dielectric properties of KNN thin films on micro-cantilevers were as good as those on the substrate. When we applied voltage of 20V, we could obtain relatively large tip displacement of up to 5.8μm and the average piezoelectric constant d_<31> was calculated to be -47.4pm/V. This fabrication process is useful for various applications of MEMS devices with new functional materials such as lead-free piezoelectric KNN films.
    一般社団法人日本機械学会, 2010年09月04日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010(8) (8), 193 - 194, 日本語

  • 電気浸透流を用いた開放型流路内での異種細胞配置と細胞間相互作用の観察
    北澤 裕子, 寺尾 京平, 横川 隆司, 小此木 孝仁, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2010年06月18日, 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan, 2010(7) (7), 27 - 32, 日本語

  • モータタンパク質の選択的付加による微小管輸送方向制御
    小竹 宏紀, 横川 隆司, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2010年06月18日, 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan, 2010(7) (7), 57 - 61, 日本語

  • B-4 圧電マイクロミラーアレーによる光通信デバイスの作製(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
    和家佐 有宇, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We studied a new fabrication process for a micro mirror array device with piezoelectric unimorph actuators and simulated its actuation. In this fabrication process, piezoelectric thin film (PZT ; Pb(Zr,Ti)O_3) is deposited on SOI substrate by sputtering after actuator parts are released by BHF wet etching. Therefore, patterning or etching piezoelectric layer is not necessary, which means that proposed fabrication process can apply to various piezoelectric devices. Furthermore, we confirmed the actuation of proposed micro mirrors by FEM simulation.
    一般社団法人日本機械学会, 2010年03月16日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2010(0) (0), 73 - 74, 日本語

  • T. Matsushima, N. Yamauchi, T. Shirai, T. Yoshihara, Y. Hayasaki, T. Ueda, I. Kanno, K. Wasa, H. Kotera
    2010年, 2010 IEEE INTERNATIONAL FREQUENCY CONTROL SYMPOSIUM (FCS), 2010, 248 - 251, 英語

  • Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2010年, 2010 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON THE APPLICATIONS OF FERROELECTRICS (ISAF), 英語

  • K. Wasa, K. Kawano, H. Adachi, T. Matsushima, K. Nishida, T. Yamamoto, I. Kanno, H. Kotera
    2010年, Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium, 2010 Vol.1, 80 - 85, 英語

  • Development of Hybrid Bio-Device with Self-Organized Huvec Vessels and Artificial Micro-Channels,
    D. Hiramaru, H. Senzai, A. Okonogi, K. Terao, T. Miura, T. Suzuki, I. Kanno, H. Kotera
    2010年, The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, pp. 154A-B, Perth, Australia, 8th July,, 英語
    [査読有り]

  • Surface Modification of Polystyrene by Peo/Ppo Block Copolymer Pluronic to Prevent Blood Adhesion,
    Y. Noda, T. Suzuki, A. Okonogi, I. Kanno, H. Kotera
    2010年, The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, pp. 128, Perth, Australia, 7th July,, 英語
    [査読有り]

  • I. Kanno, K. Morimoto, R. Yokokawa, K. Wasa, H. Kotera, N. Yamauchi, J. Ogawa, T. Matsushima, K. Aizawa
    2010年, MEMS 2010: 23RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 152 - 155, 英語

  • M5-3 サーフェスマイクロマシン技術を用いたPZT薄膜アクチュエータの作製に関する研究(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
    和家佐 有宇, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Micro-cantilevers with piezoelectric lead zirconate titanate (PZT) thin film have been widely investigated for various MEMS applications. However, most of them are fabricated by bulk micromachine techniques in silicon on insulator substrate. On the other hand, if micro-cantilevers could be fabricated by surface micromachine techniques, it is advantageous to arrange them in the high density array. In this study, we suggested a new simple process for fabricating PZT unimorph cantilevers by surface micromachining process. Through this process, we fabricated micro actuators with PZT thin films deposited using rf magnetron sputtering. Dielectric loss of PZT thin films are 0.02-0.06, and piezoelectric constant d_<31> calculated from measured displacement of cantilevers was -72.6 pm/V The proposed piezoelectric actuator fabrication process can be applied to various MEMS devices.
    一般社団法人日本機械学会, 2009年10月15日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2009(1) (1), 87 - 88, 日本語

  • 神野 伊策, 津田 奨悟, 小寺 秀俊
    Piezoelectric MEMS deformable mirrors have been developed for high resolution retina imaging using adaptive optics. For the low voltage drive, piezoelectric PZT thin films-were used to actuate the mirror surface. In this study, we fabricated hexagonal 61-element actuator array to enhance the performance of image correction. In order to reduce the dead space for the lead lines between the actuators, the polyimide insulating layer was coated on the surface of the PZT actuators and lead lines were prepared with the connection to each element. The displacement of each actuator was measured by using a lasor Doppler vibrometer and we confirmed a relatively large displacement of more than 1μm by applying a voltage of lOVpp. Furthermore, we measured the relationship input voltage and displacement and fabricated DMs actuated linearly when applied -20〜20Vpp.
    一般社団法人日本機械学会, 2009年09月12日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009(8) (8), 237 - 238, 日本語

  • 平丸 大介, 千歳 裕之, 小此木 孝仁, 寺尾 京平, 三浦 岳, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We propose a novel concept that self-organized vasculature integrates artificial orifices on a microfluidic device using inducible protein VEGF (Vascular Endothelial Growth Factor) for fluid induction into vasculature. Micro gel beads containing VEGF immobilized on orifices, it is able to induce angiogenesis to orifices on embedded channels. Endothelial cells (HUVEC) characteristically organize vasculature by themselves in collagen gel and grow along the VEGF concentration gradient. HUVEC were cultured on the device for a day in collagen gel and vasculature was forming on orifices by self-organized. And angiogenetic effect was evaluated quantitatively.
    一般社団法人日本機械学会, 2009年09月12日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009(8) (8), 245 - 246, 日本語

  • MCH-01 DEVELOPMENT OF A NOVEL METHOD FOR STRETCHING DNA FIBERS ON MICROBRIDGES FABRICATED BY SINGLE-MASK INCLINED UV LITHOGRAPHY(Micro/Nanomechatronics I,Technical Program of Oral Presentations)
    HIRAMARU Daisuke, SUZUKI Takaaki, FUKE Ariko, SUZUKI Hiroyuki, KANNO Isaku, KOTERA Hidetoshi
    In this paper, we proposed the novel method for manipulating DNA fibers on microbridges fabricated by the single mask UV lithography process. Chromosomes were stretched and immobilized on microbridges by the centrifugal force, and the chromosomes could be individually accessible platforms for DNA fiber applications. It was confirmed the validity of the proposed method by applying suspended chromosomes to the FISH analysis.
    一般社団法人日本機械学会, 2009年06月17日, Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE, 2009, 325 - 326, 英語

  • P-MCH-04 Piezoelectric micropumping system using PZT thin films(Micro/Nanomechatronics,Technical Program of Poster Session)
    Kanno Isaku, Ogawa Junya, Kotera Hidetoshi
    In this paper, we propose innovative valveless pumping devices for microfluidic systems. The liquid in the microchannel was transported by generating a traveling wave on the channel wall, which was composed of a piezoelectric Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin film actuator array. The PZT thin films were deposited on the silicon-on-insulator (SOI) substrates where microchannels, 200 and 500μm wide, were fabricated. The maximum displacements of the 200 and 500μm wide filled channels at 10 V_ were about 61 and 219 nm, respectively. By generating a traveling wave on the channel wall, clear liquid flow could be induced with a mean flow velocity of about 118 and 172μm/s for the 200 and 500μm wide channels, respectively.
    一般社団法人日本機械学会, 2009年06月17日, Proceedings of ... JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE, 2009, 387 - 388, 英語

  • Streching method for DNA fibers using multi ringed microbridges
    Takaaki Suzuki, Daisuke Hiramaru, Ariko Fuke, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2009年01月01日, Proceedings of Conference, MicroTAS 2009 - The 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1073 - 1075

  • Takaaki Suzuki, Yoshinori Hagio, Daisuke Hiramaru, Kyohei Terao, Atsuhito Okonogi, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2009年01月01日, Proceedings of Conference, MicroTAS 2009 - The 13th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 52 - 54

  • K. Wasa, N. Yamauchi, T. Shirai, T. Ueda, T. Matsushima, K. Nishida, T. Yamamoto, I. Kanno, H. Kotera
    2009年, ISAF: 2009 18TH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON THE APPLICATIONS OF FERROELECTRICS, 189 - +, 英語

  • Single-Mask Multidirectional Photolithography with Multiple Resist Coat for Multi-Layered Microfluidic Networks,
    T. Suzuki, Y. Hirabayashi, K. Terao, I. Kanno, M. Washizu, H. Kotera
    2009年, 2009 International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology [MMB2009], pp. 52-53, Quebec, CANADA, Apr, 01-03,, 英語
    [査読有り]

  • 多成分PZT系薄膜の作製と圧電特性
    神野 伊策
    日本工業出版, 2009年, 超音波テクノ, Vol.21.(No.5.) (No.5.), pp39 - 43, 日本語
    [招待有り]
    記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）

  • 神田 健介, 野田 雄一郎, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    A novel concept of a liquid transport technique utilizing frequency modulation and local resonance oscillation is proposed and it is applied to a micromixer. Meta-structure distributing local masses for generating local resonant oscillation is developed. Vibration of the meta-structure with sweeping frequency produces changes in the positions with large oscillation amplitude. This complex structural oscillation makes eddy-like disturbance of flow in a microchamber, and it produces high mixing efficiency. Using this technique produced a mixing index of 0.92 with the volumetric flowrate of 1 μL/min, while it was 0.49 for a conventional technique employing a vibration at a fixed frequency.
    一般社団法人日本機械学会, 2008年08月02日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2008(8) (8), 35 - 36, 日本語

  • 千歳 裕之, 平丸 大介, 三浦 岳, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Recently, studies of positional relationships of cells are seemed to be very important for cell biology. We proposed a novel concept that self-organized vasculatum integrates artificial orifices on a device by VEGF (Vascular Endothelial Growth Factor), and a method of uniformly plating HUVEC (Human Umbilical Vein Endothelial Cells) for efficient vasculature integration. Sucking and clamping of Alginate Calcium gel beads containing VEGF, it is able to induce angiogenesis to orifices on embedded channels. Endothelial cells characteristically organize vasculature by themselves in collagen gel and grow along the VEGF concentration gradient. HUVEC were cultured on device for about 7 days in the collagen gel and artificial vasculature mere immobilized on orifices by self-organized. And viscosity control of the suspension mixed with HUVEC, collagen gel and medium at low temperature made HUVEC uniformly-plated.
    一般社団法人日本機械学会, 2008年08月02日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2008(8) (8), 37 - 38, 日本語

  • 質量分布型マイクロミキサー
    神田健介, 野田雄一郎, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    2008年08月02日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008(Vol.8) (Vol.8), 35 - 36, 日本語

  • 2106 圧電薄膜を用いた流路壁面振動による送液デバイスの開発(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
    小川 純矢, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    In this paper, we propose innovative liquid pumping devices for μTAS. In this system, microchannels were fabricated in silicon substrates of silicon on insulator(SOI). The vibrating wall was composed of piezoelectric PZT thin films deposited on the Si device layer of the microchannel. The active microchannel can transport liquid by traveling wave induced on the surface of the piezoelectric vibrating channel by applying sinusoidal voltages to each patterned top electrodes with different phase. The active microchannel of 200μm wide was fabricated by the deep reactive ion etching(DRIE) process. The displacement profiles of the vibrating wall and frequency response were measured by a laser Doppler vibrometer. Maximum displacement was about 50nm at the applied voltage of 1kHz and 20Vpp. Mean flow velocity of about 16μm/s at primary resonance point of 573kHz and 32μm/s at secondary resonance point of 859kHz were achieved at 20Vpp. Because of the simple structure without valves and diffuser, it is suitable for the integration into μTAS devices.
    一般社団法人日本機械学会, 2008年03月17日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008(0) (0), 225 - 227, 日本語

  • 2107 圧電薄膜を用いた高解像度形状可変MEMSミラーに関する研究(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
    津田 奨悟, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Piezoelectric MEMS deformable mirror resolution is studied for an adaptive optics device. In previous study, we have developed the piezoelectric MEMS deformable mirrors which have 19 actuator away. To improve the resolution of the deformable mirror, we designed the best electrode size to deflect 5μm when applied 10Vpp. Then, we compared 61CH electrodes with 91CH electrodes in terms of Zernike generation. Zernike polynomials are used to evaluate the mirror surface, and the control system is based on the influence functions for generating Zernike modes. As a result of simulation, we proposed 61CH hexagonal electrodes. The displacement profiles measurements by a laser Doppler vibrometer showed that the each actuator generated displacement of 1.0μm〜1.3μm at 10V. Furthermore we calculated residual RMS of Zernike modes(〜27th) of fabricated deformable mirror.
    一般社団法人日本機械学会, 2008年03月17日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008(0) (0), 228 - 231, 日本語

  • 2110 MEMSデバイス上における血管増殖因子を用いた血管構造形成の誘導(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
    千歳 裕之, 平丸 大介, 三浦 岳, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Recently, studies of positional relationships of cells are seemed to be very important for cell biology. We proposed a novel concept that self-organized vasculature integrates artificial orifices on a device by VEGF (Vascular Endothelial Growth Factor). Sucking and clamping of Alginate Calcium gel beads containing VEGF, it is able to induce angjogenesis to orifices on embedded channels. Endothelial cells have a characteristic property that they organize vasculature by themselves in collagen gel and grow along the VEGF concentration gradient. HUVEC (Human Umbilical Vein Endothelial Cells) were cultured on device for about 7 days in the collagen gel and artificial vasculature were immobilized on orifices by self-organized.
    一般社団法人日本機械学会, 2008年03月17日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008(0) (0), 236 - 237, 日本語

  • Kensuke Kanda, Yuichiro Noda, Takaaki Suzuki, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2008年01月01日, 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences - The Proceedings of MicroTAS 2008 Conference, 1387 - 1389, 英語

  • Takaaki Suzuki, Yasutoshi Hirabayashi, Isaku Kanno, Masao Washizu, Masao Washizu, Hidetoshi Kotera, Hidetoshi Kotera
    2008年01月01日, 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences - The Proceedings of MicroTAS 2008 Conference, 363 - 365, 英語

  • K. Wasa, I. Kanno, H. Kotera, N. Yamauchi, T. Matsushima
    2008年, 2008 IEEE ULTRASONICS SYMPOSIUM, VOLS 1-4 AND APPENDIX, 2008 Vol.1, 213 - +, 英語

  • Isaku Kanno, Shogo Tsuda, Hidetoshi Kotera
    2008年, 2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS, 132 - 133, 英語

  • 補償光学用高解像度圧電MEMSミラーに関する研究
    津田 奨悟, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2008年, 日本機械学会年次大会講演論文集 ,2008/8/2,8,17-18, 日本語

  • 圧電薄膜を用いた流路壁面振動送液デバイスの特性評価
    小川 純矢, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2008年, 日本機械学会年次大会講演論文集 ,2008/8/2,8,19-20, 日本語

  • MEMSデバイスを利用した血管構造への流体導入に関する研究
    千歳 裕之, 平丸 大介, 三浦 岳, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2008年, 日本機械学会年次大会講演論文集 ,2008/8/2,8,37-38, 日本語

  • Development of Rapid Fiber-Fish Process with Micro-Bridges Fabricated by Inclined Uv Lithography,
    D. Hiramaru, T. Suzuki, A. Fuke, I. Kanno, H. Kotera
    2008年, International Symposium on Microchemistry and Microsystems 2008 [ISMM2008], pp. 30, Kyoto, JAPAN, Dec,7,, 英語
    [査読有り]

  • 圧電薄膜によるMEMSデバイス応用
    神野 伊策
    2008年, 化学工業, Vol.59.(No.8.) (No.8.), pp608 - 613, 日本語
    [招待有り]
    記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）

  • PZT圧電薄膜とそのMEMS応用
    神野 伊策
    2007年12月07日, 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2007(35) (35), 23 - 27, 日本語

  • 平林 恭稔, 新宅 博文, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper describes a method for cell sorting using ultrasonic radiation pressure. In previous research literature, we proposed resin-based device that was superior to silicon-based device in the points of optical transparency and simple process. In this paper, we studied some phenomena different from the silicon device. The sound wave reflectivity of SU-8 is smaller than that of silicon. So first, we verified the influence of the wall using PDMS microchannel which had small reflectivity of sound wave. Then we verified the influence of whole device resonance frequency.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年09月07日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2007(7) (7), 327 - 328, 日本語

  • 平丸 大介, 三浦 岳, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Recently, studies of positional relationships of cells are seemed to be very important for cell biology. We proposed a novel concept that self-organized vasculature integrate artificial orifices on a device. Using SIMPLE (Single Mask inclined Photo-Lithography Exposure) process, it is easy to fabricate embedded channels with orifices. Endothelial cells have a characteristic property that they organize vasculature by their selves in collagen gel. HUVEC (Human Umbilical Vein Endothelial Cells) are cultured on device for about 10 days in matrigel and artificial vasculature were immobilized on orifices by self-organized.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年09月07日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2007(7) (7), 319 - 320, 日本語

  • 津田 奨悟, 國澤 孝瑛, 桑島 修一郎, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Piezoelectric deformable mirror for adaptive optics is studied as an adaptive optics device. We have studied the piezoelectric mirror which have 19 upper electrodes. To improve the accuracy of the deformable mirror, we designed two upper electrode types, hexagonal electrodes 37ch and coaxial electrodes 35ch. To compare two electrode types, we calculated deflection of the designed mirrors by using Finite Element Method analysis simulation software, MSC. Marc. Zernike polynomials are used to evaluate the mirror surface, and the control system is based on the influence functions for generating Zernike modes. To compared with three electrodes types, 37ch, 35ch and 19ch, the residual RMS of hexagonal electrodes 37ch was the smallest, less than 0.005μm.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年09月07日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2007(7) (7), 295 - 296, 日本語

  • 小川純矢, 鈴木孝明, 神田健介, 神野伊策, 小寺秀俊
    In this paper, we propose an innovative fluid transport system for μTAS. In this system, microchannels fabricated on silicon chips have active wall of a piezoelectric thin film directly deposited by sputtering on the outside of the microchannels. The active microchannel can transport the fluid by traveling wave induced on the surface of the piezoelectric moving wall by applying sinusoidal voltages to each patterned top electrode with different phase. Since the active microchannel was fabricated by micromachining process and has simple structure without valves and diffuser, it can be applied to μTAS without occupied area. The fluid transport system can be driven by low electric voltage, and integrated with intricate network design.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年09月07日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2007(Vol.7) (Vol.7), 291 - 292, 日本語

  • 神田健介, 石川覚, 小川純矢, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    To evaluate the influence of miniaturization on resonance characteristics of extertnally driven micropumps, the modal analyses for systems consisted of an actuator and microchannel including water was carried out. Scale factor defined in this paper quantified the influence of miniaturizing. When a cantilever-typed actuator was miniaturized, it became clear that the oscillation at a high resonant frequency negatively influence on the pump performance (especially when the scale factor is larger than 100 m-1). The influence of additional mass effect of water was negligible for the scale range in this study. When thin-film actuator was used, negative effect observed in cantilever actuator was not emerged. However, additional mass effect of water produced up to a 67% decrease in resonant frequency. We pointed out the necessity to take the additional mass effect of water into consideration when pump is designed.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年09月07日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2007(Vol.7) (Vol.7), 317 - 318, 日本語

  • 志牟田耕平, 鈴木孝明, 鈴木孝明, 小此木孝仁, 神野伊策, 小寺秀俊, 小寺秀俊
    For analysis of cell-cell interactions, we have proposed a microchip fabricated by SIngle-Mask inclined UV Photo Lithography for Embedded network (SIMPLE process). The microchip is made of thick negative photoresist SU-8. In this study, we carried out the toxicity and proliferative tests of SU-8 to pancreatic islet β cell, MIN6. Then, the validity of the proposed device was confirmed by a suction test for MIN6 cells using the fabricated device.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年09月07日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2007(Vol.7) (Vol.7), 325 - 326, 日本語

  • 1101 誘電エラストマーポンプ一体型微小分析システム(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    神田 健介, 河野 恵子, 桑島 修一郎, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Loverich et al. have reported a micropump by dielectric elastomer actuation (DEA). The micropump has been fabricated everything from polymer, and achieved highly efficient and low-cost. A microfluidic chip incorporating the DEA micropumps is designed and fabricated in this paper. Assuming an analytical system that should transport sequentially and independently three liquids, the micro fluidic chip was designed. The microfluidic chip consists of three DEA micropumps and check valves. Fabricated microfluidic system performed independent motion of DEA and fluid control. It is possible to transport fluids without mixing. Actual analysis using the chip is future works.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年03月19日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2007(0) (0), 4 - 6, 日本語

  • 1102 SINGLE-MASK傾斜UVリソグラフィにより作製した細胞機能計測用チップ上での細胞培養(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    志牟田 耕平, 鈴木 孝明, 小此木 孝仁, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Recently, many single-cell analysis systems have been proposed for electroporation and patch clamp. We have proposed a microchip fabricated by the SIngle-Mask inclined UV PhotoLithography for Embedded network (SIMPLE process). The microchip fabricated by SIMPLE process is made of thick negative photoresist SU-8. In this study, we carried out the toxicity and proliferative tests of SU-8 to living cells. Then, we tried to improve cell adhesiveness of substrates by coating poly-L-lysine.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年03月19日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2007(0) (0), 7 - 8, 日本語

  • 1103 樹脂構造体による超音波放射圧を用いた細胞分離デバイスの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    平林 恭稔, 新宅 博文, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper describes a resin-based device to separate living cells using ultrasonic standing wave (USW). Heretofore silicon is used for USW device structure because it has high reflection property and vertical wall can be fabricated by wet etching. But the resin-based device is needed for the permeation property and simple fabrication process. First, we fabricated the SU-8 resist microchannel by photolithographic method in order to obtain the vertical side walls. Then we carried out cell sorting test using the 1μm beads. As a result, we observed the micro beads moving to acoustic nodes and different phenomenon for the silicon structure device.
    一般社団法人日本機械学会, 2007年03月19日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2007(0) (0), 9 - 12, 日本語

  • 塩田 淳, 津守 不二夫, 小寺 秀俊, KANNO Isaku
    Drag reduction of laminar flow in microchannel is very important for μ-TAS (Micro Total Analysis Systems). Ceramic substrates which consist of alumina particles have rough surface and it is used as a mold to fabricate PDMS rectangular channel with textured wall. Roughness of the wall is depended on diameter of alumina particles. Velocity profile of laminar flow in a textured channel is measured by micro PIV. The measurements reveal that reduction in textured channel can be achieved relative to the classical smooth channel Stokes flow.
    一般社団法人 日本機械学会, 2007年, 年次大会講演論文集, 2007(0) (0), 321 - 322, 日本語

  • Takaaki Suzuki, Hideo Yamamoto, Masataka Ohoka, Atsuhito Okonogi, Hiroyuki Kabata, Isaku Kanno, Masao Washizu, Hidetoshi Kotera
    2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 687 - 690, 英語

  • K. Sakiyama, I. Kanno, T. Suzuki, T. Murayama, D. Hiramaru, H. Kotera
    2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 667 - 670, 英語

  • K. Kanda, S. Ishikawa, J. Ogawa, T. Suzuki, I. Kanno, H. Kotera
    2007年, MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2007, DIGEST OF PAPERS, 342 - +, 英語

  • Takuya Mino, Shuichiro Kuwajima, Takaaki Suzuki, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera, Kiyotaka Wasa
    2007年, 2007 SIXTEENTH IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON THE APPLICATIONS OF FERROELECTRICS, VOLS 1 AND 2, 627 - 630, 英語

  • Takaaki Suzuki, Daisuke Hiramaru, Ariko Fuke, Isaku Kanno, Hiroyuki Kabata, Hidetoshi Kotera
    2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2163 - 2166, 英語

  • A piezoelectric active microchannel for fluid transport in microTAS
    SUZUKI Takaaki
    2007年, The 11th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2007), 1498 - 1500, 英語
    [査読有り]

  • A Low-Damage Cell Trapping Array Fabricated by Single-Mask Multidirectional Photolithography with Equivalent Circuit Analysis
    SUZUKI T.
    2007年, Proc. microTAS2007, 1765 - 1767, 英語
    [査読有り]

  • 強誘電体薄膜のMEMS応用
    神野 伊策
    2007年, セラミックス, Vol.42.(No.3.) (No.3.), pp181 - 187, 日本語
    [査読有り]
    記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

  • 806 マイクロチャネルを用いた機能性高分子ゲルの微粒化(2)(OS8-2 医療援用工学における流動ダイナミクス,OS8 医療援用工学における流動ダイナミクス,オーガナイズドセッション)
    桑原 健雄, 新宅 博文, 川野 聡恭, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Gel beads containing cells for immunoisolation should be small, monodisperse and spherical enough to ensure the reproducivility of diffusion of nutrients and hormone and to improve biocompatibility. In this paper, we present a new method to generate cell encapsulated micro gel beads for cell transplants. Using water-in-oil (W/O) emulsification and droplet coalescence in a microchannel, presented method generated smaller (less than 300μm in diameter) and more monodisperse gel beads compared to conventional methods. We report the relationships between flow rate and some essential dimensions for cell transplants such as gel beads diameter and circularity.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年10月28日, 流体工学部門講演会講演論文集, 2006, "806 - 1"-"806-4", 日本語

  • 804 Single-MASK傾斜UVリソグラフィを用いたエレクトロポレーションチップの開発(2)(OS8-1 医療援用工学における流動ダイナミクス,OS8 医療援用工学における流動ダイナミクス,オーガナイズドセッション)
    鈴木 孝明, 山本 英郎, 大岡 正孝, 神野 伊策, 鷲津 正夫, 小寺 秀俊
    A novel single-mask fabrication method for high-density arrayed micro-orifices and embedded microchannels is proposed for single cell analysis. The process is based on inclined UV lithography to expose a single layered photoresist (SU-8) coated on a patterned mask. Long embedded microchannels with a length/width ratio as high as 1000 can be fabricated by the proposed process. We prepared SU-8 structure with arrayed micro-orifices and embedded microchannels, and carried out an electroporation test with mouse erythroleukemia (MEL) cells to confirm the validity of the proposed system. Nuclear transport factor importinss was fed to the cellular interior by applying the low pulsed voltage.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年10月28日, 流体工学部門講演会講演論文集, 2006(0) (0), "804 - 1"-"804-4", 日本語

  • 820 細胞分離における生体細胞の破壊とその評価方法(2)(OS8-5 医療援用工学における流動ダイナミクス,OS8 医療援用工学における流動ダイナミクス,オーガナイズドセッション)
    新宅 博文, 川野 聡恭, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    In this paper, we propose a fracture model of islets in a shear flow to evaluate the mechanical damage of islets. The fracture model was developed using the relationship between surface area increase and strain energy induced into the islet through the fracture. The islet diameter reduction during the purification process was predicted using the fracture model and numerical calculation using computational fluid dynamics. Comparing experimental and numerical results in terms of the islet size reduction, it is confirmed that the fluid dynamical stress during the islet purification damages islets.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年10月28日, 流体工学部門講演会講演論文集, 2006(0) (0), "820 - 1"-"820-4", 日本語

  • 新宅 博文, 興津 輝, 松本 慎一, 川野 聡恭, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    In this paper, we investigated the effect of the fluid dynamical stress on islets during islet purification process. Firstly, we developed a fracture model of islets in a shear flow by the fracture test using a cylindrical viscometer. Secondary, we conducted the numerical calculation to estimate the fluid dynamical stress and strain energy during islet purification process. Finally we predicted the islet size reduction during islet purification using the fracture model and the numerical results. Comparing experimental data and numerical result in terms of the islet size reduction, it is confirmed that the fluid dynamical stress during the islet purification damages islets.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2006(5) (5), 289 - 290, 日本語

  • 山本 英郎, 鈴木 孝明, 大岡 正孝, 小此木 孝仁, 加畑 博幸, 神野 伊策, 鷲津 正夫, 小寺 秀俊
    A novel single-mask fabrication method for high-density arrayed micro-orifices and microchannels is proposed and applied for electroporation. The process is based on inclined UV lithography to expose a single layered photoresist (SU-8) coated on a patterned mask. To fabricate the proposed feature precisely, we investigated the inclined angle on exposure process and developing distance of microchannels as a function of time. Using the process, we prepared SU-8 structure with arrayed micro-orifices and microchannels, and carried out electroporation test with MEL cells to confirm the validity of the proposed system. Nuclear transport factor CFP-importinβ was fed to the cellular interior by applying the low pulsed voltage.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2006(7) (7), 293 - 294, 日本語

  • 桑原 健雄, 新宅 博文, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    In this paper, a new method to generate cell encapsulated micro Ca-alginate gel beads for cell transplants is presented. Alginate gel beads for immunoisolation should be small, monodisperse and spherical enough to ensure the reproducivility of diffusion of nutrients and hormone and to improve biocompatibility. By using water-in-oil (W/O) emulsification and droplet coalescence in micro fluidic channel, smaller (less than 300μm) and more monodisperse gel beads were obtained compared to conventional methods. We report the relationship of flow rate and some essential dimensions for cell transplants such as gel beads diameter and circularity.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2006(7) (7), 315 - 316, 日本語

  • 田澤 慶朗, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We have developed piezoelectric RF-MEMS switch using PZT thin films for low-voltage actuation. PZT thin films with composition of Zr/Ti=53/47 were grown on the (111) Pt/Ti/Si substrates by RF-sputtering. The cantilever type actuators composed of PZT thin films and Cr elastic layers were successively fabricated as unimorph structure, but large initial bending arises because of residual stress in the PZT and Cr layers. We optimized the design of the actuators to satisfy flat structure as well as large deflection, and we adopted X type connectors in the middle of the beam. According to FEM simulation (MARC2005) results, the deflection of the optimized actuators composed X type connectors was as high as 3.2μm at a relatively small voltage of 5V. Their resonant frequency was 14.6kHz and larger than cantilever type actuator's one. However, the deflection of the actuators was as high as 400nm at 5V, and the actuators geometry cause the degradation of the deflection characteristic.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2006(7) (7), 321 - 322, 日本語

  • 平丸大介, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    A precise control of various fields is required on local field. The thermal field, that is one of the most general fields, is commonly used, but it is difficult to precise control of the thermal field in local field, because of very small thermal capacity of the micro device. Then, we propose the device for larger thermal gradient and fast response, which has great heat liberation and small heat transfer coefficient. Using MEMS process, this device has TaN heat wear on 6μm SiO_2 membrane. In the experiment, our device achieved the fast response unless 0.2s and thermal gradient over 20℃ between the interval of 250μm.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2006(Vol.7) (Vol.7), 297 - 298, 日本語

  • 國澤孝瑛, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    We fabricated a deformable MEMS mirror for adaptive optics. A PZT (Pb (Zr, Ti) O_3) thin film was grown on a (111) Pt/Ti/SOI substrate by RF-sputtering. The Si substrate was etched out up to the buried oxide layer to fabricate a circular membrane. We optimized the design of the upper electrodes using numerical analysis. The size of diaphragm is 15mm in diameter and 22μm thick. Mirror surface whose active area is 8mm in diameter was prepared on the exposed buried oxide layer. We calculated influence function for generating Zernike modes, and observed the deformation of the mirror using a laser Doppler vibrometer. The measurements revealed that the Zernike modes to 7^ terms were generated within the residual of 10〜20%.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2006(Vol.7) (Vol.7), 319 - 320, 日本語

  • 平林恭稔, 新宅博文, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    This paper describes a method to separate living cells using ultrasonic standing wave by density difference. Particles in ultrasonic standing wave field are subjected to acoustic force toward the direction corresponding to particles density and compressibility. We fabricated the SU-8 resist microchannel by novel photolithographic method in order to obtain the vertical side walls. We carried out cell sorting test system using the micro beads with diameter of 1μm. As a result, we observed the micro beads moving to acoustic nodes and antinodes by acoustic force in the flowing low or high density medium.
    一般社団法人日本機械学会, 2006年09月15日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2006(Vol.7) (Vol.7), 305 - 306, 日本語

  • マイクロチャネルにおけるせん断流が生体組織に与える影響
    新宅 博文, 興津 輝, 川野 聡恭, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 可児 孝平, 堀中 順一, 瀧川 敏算, 松本 慎一, 小寺 秀俊
    2006年05月15日, 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan, 2006(1) (1), 11 - 14, 日本語

  • 圧電ＰＺＴ薄膜を用いた波面補償用形状可変ＭＥＭＳミラーの開発
    國澤孝瑛, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    2006年05月15日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-06(1-27) (1-27), 105 - 108, 日本語

  • Single-MASK傾斜リソグラフィを用いた単一細胞機能計測アレイの開発
    山本英郎, 鈴木孝明, 大岡正孝, 小此木孝仁, 加畑博幸, 神野伊策, 鷲津正夫, 小寺秀俊
    2006年, 化学とマイクロ・ナノシステム研究会講演要旨集, 13th

  • Hirofumi Shintaku, Yasutoshi Hirabayashi, Teru Okitsu, Satoyuki Kawano, Takaaki Suzuki, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2006年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2006 Conference: 10th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 681 - 683, 英語

  • Takaaki Suzuki, Hidetoshi Hata, Hirofumi Shintaku, Isaku Kanno, Satoyuki Kawano, Hidetoshi Kotera
    2006年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2006 Conference: 10th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 131 - 133, 英語

  • Takaaki Suzuki, Hideo Yamamoto, Masataka Ohoka, Atsuhito Okonogi, Hiroyuki Kabata, Isaku Kanno, Masao Washizu, Hidetoshi Kotera
    2006年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2006 Conference: 10th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1498 - 1500, 英語

  • Rapid fabrication process for high aspect-ratio embedded microchannels with orifices using a single SU-8 layer on a mask
    T Suzuki, T Tokuda, H Yamamoto, M Ohoka, Kanno, I, M Washizu, A Kotera
    2006年, MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006, 346 - 349, 英語

  • T. Suzuki, Y. Teramura, K. Inokuma, I. Kanno, H. Iwata, H. Kotera
    2006年, 2006 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROTECHNOLOGIES IN MEDICINE AND BIOLOGY, 116 - +, 英語

  • マイクロゲルビーズ生成法の開発
    桑原 健雄, 新宅 博文, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2006年, 日本機械学会年次大会講演論文集 ,2006/9/15,7,315-316, 日本語

  • マイクロチャネルを用いた機能性高分子ゲルの微粒化(2)
    桑原 健雄, 新宅 博文, 川野 聡恭, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2006年, 流体工学部門講演会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,2006/10/28,,806-1-806-4, 日本語

  • Piezoelectric Deformable Mems Mirror for Adaptive Optics Composed of Pzt Thin Films on Soi,
    I. Kanno, T. Kunisawa, T. Suzuki, K. Wasa, H. Kotera
    2006年, The 17th International symposium on integrated ferroelectrics (ISIF2006), pp. 7A-469-C, Hawaii, USA, Apr,23,, 英語
    [査読有り]

  • Piezoelectric Microactuators Composed of Pzt Thin Films on Si Substrates,
    I. Kanno, Y. Tazawa, T. Kunisawa, T. Suzuki, H. Kotera
    2006年, 2006 ASME/JSME Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006), pp. S15_02, Santa Clara, USA, Jun,21-23,, 英語
    [査読有り]

  • Piezoelectric Rf-Mems Switches Using Pzt Thin Films,
    I. Kanno, Y. Tazawa, T. Suzuki, H. Kotera
    2006年, 2006 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai, pp. D-2, Kyoto, Japan, Apr,26,, 英語
    [査読有り]

  • Multi-Functional Cell Mapping Device,
    H. Kotera, N. Fujiwara, H. Yamamoto, T. Suzuki, M. Hassan, I. Kanno
    2006年, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2006 (APCOT2006), pp. 95-BMFS-A0399, Singapore, Jun,25-28,, 英語
    [査読有り]

  • Tissue Encapsulation with Thin Hydrogel Membrame Using Micro-Emulsification System,
    H. Shintaku, T. Kuwabara, T. Suzuki, I. Kanno, H. Kotera, S. Kawano
    2006年, 2006 ASME/JSME Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2006), pp. S11_04, Santa Clara, USA, Jun,21-23,, 英語
    [査読有り]

  • 新宅 博文, 川野 聡恭, 桑原 健雄, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    A novel cell encapsulation method in microchannel was studied. We used W/O emulsion in the rectangle microchannel fabricated by soft MEMS process. The cell encapsulation process and internal flow of the droplet were visualized. The velocity of the droplet and the cell were measured by the use of the digital image processing. Simple model for prediction of the all velocity was proposed. The theoretical result agreed well with the experimental data.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年09月18日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2005(2) (2), 17 - 18, 日本語

  • 可知 直芳, 小寺 秀俊, 神野 伊策, 秦 秀敏, 伊藤 慎一, 富田 直秀
    Micro-folding culture system is proposed where cells are cultivated on micropatterned substrates. The substrates have a number of pits with diameter of 100, 150 and 200μm, and has low cell-adhesiveness surface. Mesenchymal stem cells (MSCs) were seeded onto the patterned substrates at a density of 1.1×10^5 cells/cm^2. Aggregates of the MSCs were formed in the pits within 48 hours. Diameter of the aggregates and movement of aggregates had positive and negative correlation with diameter of pits respectively. There is a possibility that some function of aggregate can be controlled by the micro-folding culture.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年09月18日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2005(6) (6), 123 - 124, 日本語

  • 國澤 孝瑛, 井上 貴史, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We fabricated a deformable MEMS (Micro Electro Mechanical System) mirror for adaptive optics. PZT (Pb(Zr,Ti)O_3) thin films were grown on the (111) Pt/Ti/SOI substrate by RF-sputtering. Then Al was evaporated on PZT and patterned as eight separated upper electrodes. The size of mirror is 8mm in diameter and 12μm thick. The deflection of the mirror was 110nm at 10V, and it's proportional to applied voltage. To increase the deflection of the mirror, we optimized the electrodes structure by FE-Analysis. The optimize mirror with new electrodes achieved 13.6μm deflection at 10V.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年09月18日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2005(7) (7), 117 - 118, 日本語

  • 田澤 慶朗, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We have developed piezoelectric RF-MEMS switches using PZT thin films for low-voltage actuation. PZT thin films with composition of Zr/Ti=53/47 were grown on the (111) Pt/Ti/Si substrates by RF-sputtering. The cantilever and double supported beam type actuators, composed of PZT thin films and Cr/Al elastic layers, were successively fabricated as unimorph structure. The deflection of the actuators was measured using a Laser Doppler Vibrometer and we observed the largest displacement of cantilever type actuator was 1μm and one of the double supported beam type actuator was 100nm at a relatively small voltage of 5V. Initial bending of the double supported beam type actuator caused by residual stress in the PZT and Cr/Al layers had smaller than one of cantilever type actuator, however the displacement magnitude of the double supported beam type actuator enough for switching couldn't obtain. We optimized the design of the actuator by FEM analysis. Fig.2 Fabrication process of PZT micro-actuator
    一般社団法人日本機械学会, 2005年09月18日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2005(7) (7), 121 - 122, 日本語

  • 藤原哲嗣, 山本英郎, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    We study on the measurement of mechanical properties of a living cardiac myocyte. Micro mechanical sensors were made of PDMS using MEMS technique. The device consists of micro posts which work as vertical cantilevers measuring local contractile forces of a single myocyte. The generated force is calculated from the displacement of the top of the post. We also propose the device with through holes on the micro channel to apply negative pressure to the cell. And this device has additional capability to measure the cell responses to the physical and chemical effects simultaneously with molecular localization in the cell. This approach has the potential to measure the physiological properties of a single myocyte to develop a bio-simulator model.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年09月18日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2005(Vol.7) (Vol.7), 127 - 128, 日本語

  • 259 PZT/SUS ユニモルフマイクロアクチュエータの開発と進行波型マイクロポンプへの応用
    鈴木 孝明, 長尾 昴, 秦 秀敏, 新宅 博文, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    The traveling wave micropump with a thin flow layer is suitable for particle separation and quantification without valves, heat and strong electric field. We have proposed a traveling wave micropump driven by the traveling wave, and demonstrated high efficiency. In this paper, we fabricated a traveling wave micropump composed of flexible microchannel wall made of Polydimethylsiloxane (PDMS) with piezoelectric thin-film unimorph actuators. The piezoelectric thin films were deposited directly on cantilever-shaped stainless steel (SUS) substrates using rfagnetron sputtering technique. The active motion of the particles in the fluid was confirmed by the actuation of the microchannel wall by the piezoelectric actuators.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年08月22日, Dynamics & Design Conference, 2005(0) (0), "259 - 1"-"259-4", 日本語

  • ＰＺＴ薄膜／ＳＵＳユニモルフアクチュエータの開発およびマイクロポンプへの応用
    長尾昂, 秦秀敏, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    2005年06月22日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-05(21-44) (21-44), 63 - 66, 日本語

  • 単一心筋細胞の収縮力を測定する力学センサの開発
    藤原 哲嗣, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2005年06月22日, 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan, 2005(1) (1), 9 - 12, 日本語

  • μＴＡＳ用アトマイザの高機能化と数値設計
    新宅博文, 川野聡恭, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    2005年06月22日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-05(21-44) (21-44), 67 - 70, 日本語

  • 1104 Si基板上に成膜したPZT薄膜を用いたアクチュエータ(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    遠藤 広宣, 田澤 慶朗, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We have developed micro-piezoelectric actuators using PZT thin films. PZT thin films with composition of Zr/Ti=53/47 were grown on the (111)Pt/Ti/Si substrates by rf-sputtering. Micro-cantilevers, composed of PZT thin films and Cr elastic layers, were successively fabricated as unimorph actuators with a length of 500um and width of 90μm. The tip deflection of the cantilevers was measured using a Laser Doppler Vibrometer and we observed piezoelectric vibration level as high as 0.62μm at a relatively small voltage of 5.0V. However, the micro-cantilevers had large initial bending because of residual stress in the PZT and Cr layers.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005(0) (0), 40 - 41, 日本語

  • 1115 指向性可変ミリ波アンテナの開発(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    村山 卓也, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper presents a directivity reconfigurable antenna for millimeter-wave communication. Reconfiguration is carried out by changing the dielectric constant of ferroelectric film. The ferroelectric film is composed of lanthanum modified lead titanate (PLT) and deposited on micro strip line by RF sputtering. The dielectric constant of PLT has temperature dependence, so by using heater elements we can change the dielectric constant of PLT film. Heater elements are laid out beside micro strip line. By switching heater element the dielectric constant is periodically changed, and the characteristic of antenna will be reconfigured. As a first step, we analyzed two kind of antenna device by using FDTD (Finite Difference Time Domain) method, and fabricated them. And we developed a new numerical analysis program using CIP (Cubic Interpolated Peudo-Particle Scheme) method.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005(0) (0), 82 - 83, 日本語

  • 1117 MEMS技術を用いた単一細胞の電気生理特性の計測に関する基礎研究(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
    徳田 貴司, 藤原 哲嗣, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Patient-tailored treatments become possible by simulating behavior of organs, which is affected by the change of the environment such as dispensing of drugs. For example, it is necessary to detail the electrical and mechanical properties of a single living cell to build simulation model of heart. This paper proposes a novel planar patch-clamp device integrating electrode, micro-channel and micro-hole.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005(0) (0), 86 - 87, 日本語

  • 2506 単一心筋細胞の収縮特性を測定するデバイスの開発(要旨講演,生体治療・医療,バイオ操作・検査)
    藤原 哲嗣, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper is a study on the measurement of mechanical properties of a living cardiac myocyte. We propose micro mechanical sensors made of PDMS using soft lithography technique. The device consists of micro columns arrays and work as vertical cantilevers measuring local forces of a myocyte. The generated force derives from the displacement of the top of column. This approach has the potential to measure 2-dimensional mechanical properties of a single myocyte to develop a viscoelastic constitutive equation for a bio-simulator model.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005(0) (0), 345 - 346, 日本語

  • マグネトロンスパッタ法による（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｓｎ，Ｔｉ）Ｏ３薄膜の作製及び組成比による特性評価
    田端大樹, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊, 和佐清孝
    The electrical properties and phase transition behavior of (Pb,La)(Zr,Sn,Ti)O_3 (PLZST) thin films prepared on (100)Pt/(100)MgO substrates by RF-magnetron spattering and investigated by X-ray diffraction, relative dielectric constant and P-E hysteresis loops. From X-ray diffraction all PLZST thin films are polycrystalline. With an increase in composition Ti, electrically field-induced AFE-FE switching field(E_) is depressed. But Polarization of ferroelectric state are almost equal. These indicate PLZST components is better around boundary between AFE_T and F_R for micro actuator.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005, 88 - 89, 日本語

  • マイクロアトマイザの開発とその数値設計
    新宅博文, 川野聡恭, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    Cylindrical droplet formation in a W/O (water in oil) system of microchannel was analyzed experimentally and theoretically. The microchannel shape was modified to generate smaller droplet based on theoretical model. Numerical and experimental investigations were carried out with the novel microchannel. It is found that generated droplet was almost the spherical shape, since the diameter was smaller enough than the depth of microchannel. The results indicated that 3-dimensional and more precise theoretical model should be applied to realize the smaller droplet generation.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005, 90 - 92, 日本語

  • 進行波によるバルブレスマイクロポンプの作製及びその応用
    秦秀敏, 鈴木孝明, 神野伊策, 小寺秀俊
    Micropumps are one of the most important microfluidic components in Micro Total Analysis System (μTAS). We have developed a valveless micropump driven by traveling wave, and obtained high energy efficiency. In this paper, the valveless micropump was fabricated by the microfabricatin technique to verify the validity of the pumping principle. The micropump was composed of flexible walls of a microchannel with piezoelectric bimorph cantilevers. Traveling wave was induced on the surface of the microchannel by applying sinusoidal voltages to each piezoelectric cantilever with the different phase, and the peristaltic motion of the channel wall transports the fluid. The fluid flow of the proposed micropump was measured using Micro particle Image Verocimetry (MicroPIV). The traveling wave micropump driven by the piezoelectric actuators is a simple structure without valves and a low cost disposable device.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月21日, 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2005, 64 - 65, 日本語

  • 914 PZTエピタキシャル膜のガラス基板上への転写と誘電特性評価(GS-4,16 薄膜(1),研究発表講演)
    寺田 研一郎, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊, 和佐 清孝
    We have successfully transferred epitaxial single crystal PZT thin films from MgO substrates onto glass substrates by using micro fabrication process. The internal compressive stress of about 200MPa in the epitaxial PZT thin films was released after the transference. The relative dielectric constant of the PZT thin films increased from 239.4 to 332.9 after the transference with a small decrease of polarization. The crystallinity and crystal orientation of the PZT thin films on the glass substrates were the same to those of epitaxial virgin PZT thin films on the MgO substrates. The transfer process is useful for a fabrication of PZT thin film MEMS devices on any substrates.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月18日, 関西支部講演会講演論文集, 2005(80) (80), "9 - 27"-"9-28", 日本語

  • 923 誘電率変化を用いた指向性可変ミリ波アンテナの創製(GS-16 センシング,研究発表講演)
    村山 卓也, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper presents a directivity reconfigurable antenna for millimeter-wave communication. Reconfiguration is carried out by changing the dielectric constant of ferroelectric film. The ferroelectric film is composed of lanthanum modified lead titanate (PLT) and deposited on micro strip line by RF sputtering. The dielectric constant of PLT has temperature dependence, so by using heater elements we can change the dielectric constant of PLT film. Heater elements are laid out beside micro strip line. By switching heater element the dielectric constant is periodically changed, and the characteristic of antenna will be reconfigured. As a first step, we analyzed two kind of antenna device by using FDTD(Finite Difference Time Domain) method, and fabricated them. And we developed a new numerical analysis program using CIP(Cubic Interpolated Peudo-Particle Scheme) method.
    一般社団法人日本機械学会, 2005年03月18日, 関西支部講演会講演論文集, 2005(80) (80), "9 - 45"-"9-46", 日本語

  • J. Loverich, I. Kanno, H. Kotera
    2005年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2005 Conference: 9th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1, 433 - 435, 英語

  • Hirofumi Shintaku, Satoyuki Kawano, Takaaki Suzuki, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera
    2005年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2005 Conference: 9th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1, 1075 - 1077, 英語

  • Takaaki Suzuki, Hidetoshi Hata, Hirofumi Shintaku, Isaku Kanno, Satoyuki Kawano, Hidetoshi Kotera
    2005年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2005 Conference: 9th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1, 1108 - 1110, 英語

  • Takaaki Suzuki, Takashi Tokuda, Noritsugu Fujiwara, Hideo Yamamoto, Isaku Kanno, Masao Washizu, Hidetoshi Kotera
    2005年01月01日, Micro Total Analysis Systems - Proceedings of MicroTAS 2005 Conference: 9th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 1, 1183 - 1185, 英語

  • H Kotera, Kanno, I, T Inoue, T Suzuki
    2005年, IEEE/LEOS Optical MEMs 2005: International Conference on Optical MEMs and Their Applications, 31 - 32, 英語

  • Development of piezoelectric RF-MEMS switch driven by low operating voltage
    Isaku Kanno, Takaaki Suzuki, Hironobu Endo, Hidetoshi Kotera
    2005年, Advances in Electronic Packaging 2005, Pts A-C, PART C, 2033 - 2036, 英語

  • Kanno, I, H Endo, T Suzuki, H Kotera
    2005年, 2005 PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS, 2005, 797 - 798, 英語

  • MicroTAS用マイクロアトマイザの特性解析
    新宅 博文, 川野 聡恭, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2005年, 関西支部講演会講演論文集,一般社団法人日本機械学会,2005/3/18,80,11-35-11-36, 日本語

  • A Novel High Energy Density Dielectric Elastomer Actuator for Micro Anaysis Systems,
    J. J. Loverich, I. Kanno, H. Kotera
    2005年, Micro Total Analysis Systems 2005, pp. 160-162, 英語
    [査読有り]

  • Preparation of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films with Graded Composition Profiles by Rf-Sputtering,
    K. Nakano, T. Suzuki, I. Kanno, H. Kotera, K. Wasa
    2005年, Transactions of the Materials Research Society of Japan (MRS-J), pp. 19-22,, 英語
    [査読有り]

  • Improvement on Pump Performance of Traveling Wave Micropump for Fluid Transportation in Microchannel,
    T. Suzuki, I. Kanno, H. Hata, H. Shintaku, S. Kawano, H. Kotera
    2005年, The First International Conference on Complex Medical Engineering-CME2005, pp. 103-106,Kagawa International Conference Hall, Takamatsu, Japan, May,15-18,, 英語
    [査読有り]

  • 進行波を用いた薄膜バルブレスマイクロポンプの開発(J22-3 センサ・アクチュエータシステムとその知能化(3),J22 センサ・アクチュエータシステムとその知能化-実環境で活躍するメカトロニクスを目指して)
    鈴木 孝明, 藥師寺 俊輔, 神野 伊策, 川野 聡恭, 小寺 秀俊
    Micropumps play a significant role in fluid transportation system of μ-TAS. We propose a peristaltic micropump system composed of a microchannel made of silicon rubber. Bottom surface of the microchannel is deformed by the electrostatic attraction between upper and lower electrodes made of copper thin films. Since the pump has simple structure using the electrostatic thin film actuators without valves, the fabrication process is also as simple as just stacking organic films or layer on PMMA substrate. The micropump is suitable for low-cost disposable applications. We could observe clear deflection of the channel wall which is proportional to the a square of the applied voltage. In addition, we confirmed active motion of microbeads in the fluid by the peristaltic actuation of electrostatic force.
    一般社団法人日本機械学会, 2004年09月04日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2004(7) (7), 357 - 358, 日本語

  • 神野 伊策, 鈴木 孝明, 小寺 秀俊
    Piezoelectric thin films have attracted considerable attention in micro-electromechanical systems. In this study, PZT thin films were deposited directly on Pt-coated SUS substrates using RF magnetron sputtering technique. SUS plate has high mechanical strength and stability, which are suitable properties as a substrate for the deposition of a piezoelectric film rather than a conventional substrate such as Si. The x-ray diffraction measurements revealed that the PZT thin films show polycrystalline structure with a perovskite strucure. Piezoelectric vibration of PZT/SUS unimorph cantilevers was clearly observed and the piezoelectric constant e_<31> of the films was calculated to be -1.6 C/m^2.
    一般社団法人日本機械学会, 2004年09月04日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2004(7) (7), 355 - 356, 日本語

  • 遠藤 広宣, 鈴木 孝明, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    We aim for the realization of a low-voltage RF-MEMS switch. The switches, we fabricated, consist of unimorph micro-cantilevers using piezoelectric PZT thin films. The PZT thin films are deposited on Si substrate by RF sputtering. The cantilevers can be deflected by applying voltage between upper and lower electrodes, and can cause short-circuit transmission line and ground (off-state). Dimension of the cantilever is 500μm in length, 70μm in width, and 3.1μm in thickness. We were able to obtain the deflection of 0.8μm at the voltage of 10V. We established the fabrication process of RF-MEMS switch using PZT thin films on Si substrate.
    一般社団法人日本機械学会, 2004年09月04日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2004(7) (7), 359 - 360, 日本語

  • 村山 卓也, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    This paper presents a directivity reconfigurable antenna for millimeter-wave communication. Reconfiguration is carried out by changing the dielectric constant of ferroelectric film. The ferroelectric film is composed of lanthanum modified lead titanate (PLT) and deposited on micro strip line by RF sputtering. The dielectric constant of PLT has temperature dependence, so by using heater elements we can change the dielectric constant of PLT film. Heater elements are laid out beside micro strip line. By switching heater element the dielectric constant is periodically changed, and the characteristic of antenna will be reconfigured. As a first step, we analyzed two kind of antenna device by using FDTD(Finite Difference Time Domain) method, and fabricated them.
    一般社団法人日本機械学会, 2004年09月04日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2004(7) (7), 361 - 362, 日本語

  • 新宅 博文, 川野 聡恭, 山地 祐輔, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Picoliter-sized water droplets are generated for liquid metering system of μTAS using liquid-liquid interface. The dynamics of interfacial wave between two immiscible liquids has an important roll in this system, e.g., controlling droplets size. In this paper, the fluid dynamical study based on the interfacial instability theory is carried out. Comparing experimental and theoretical results, the validity of theoretical approach is discussed in detail.
    一般社団法人日本機械学会, 2004年09月04日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2004(2) (2), 69 - 70, 日本語

  • 徳田貴司, 藤原哲嗣, 神野伊策, 小寺秀俊
    Patient-tailored treatments become possible by simulating behavior of organs, which is affected by the change of the environment such as dispensing of drugs. For example, it is necessary to detail the electrical and mechanical properties of a single living cell to build simulation model of heart. In this paper, we fabricated two kinds of device for cardiac myocyte, the one is for patch-clamp recording and the other is to measure 2-dimensional mechanical forces.
    一般社団法人日本機械学会, 2004年09月04日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2004(Vol.5) (Vol.5), 341 - 342, 日本語

  • PLD法によるSrTiO_3(100)基板上への(K, Na)NbO_3薄膜のエピタキシャル成長
    齊藤 武尚, 和田 隆博, 足立 秀明, 神野 伊策
    KNbO_3, (K_<0.5>Na_<0.5>)NbO_3 and NaNbO_3 thin films were deposited on (100) SrTiO_3(STO) substrate by Pulsed Laser Deposition (PLD). The obtained (K,Na)NbO_3 films were epitaxially grown on (100)SrTiO_3 with an orientation relationship as (K,Na)NbO_3(001)_∥STO(001) and (K,Na)NbO_3[100]_∥STO[100]. The smoothness of the film surface is improved with the increase of the Na content.
    日本結晶成長学会, 2004年08月25日, 日本結晶成長学会誌 = Journal of the Japanese Association for Crystal Growth, 31(3) (3), 234 - 234, 日本語

  • Isaku Kanno, Yu Yokoyama, Hidetoshi Kotera, Kiyotaka Wasa
    2004年02月01日, Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics, 69, 641031 - 641037

  • 進行波を用いた薄膜バルブレスマイクロポンプの開発
    鈴木 孝明, 藥師寺 俊輔, 神野 伊策, 川野 聡恭, 小寺 秀俊
    2004年, 日本機械学会年次大会講演論文集 ,2004/9/4,7,357-358, 日本語

  • 極低レイノルズ数流れにおける脈動を用いた混合法
    新宅 博文, 川野 聡恭, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    2004年, 日本機械学会年次大会講演論文集 ,2004/9/4,2,67-68, 日本語

  • A Novel Micro Device for Measuring the Electromechanical Properties of a Single Myocyte,
    M. Hassan, N. Fujiwara, I. Kanno, H. Kotera, M. Washizu
    2004年, Micro Total Analysis Systems 2004, pp. 439-441, 英語
    [査読有り]

  • Characterization of Transverse Piezoelectric Properties of Pzt Thin Films for Micro-Actuator Applications,
    I. Kanno, T. Suzuki, H. Kotera, K. Wasa
    2004年, The 5th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics (Invite), pp. 191, 英語
    [査読有り]

  • Preparation and Characterization of Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films Deposited on Sus Substrates by RF Magnetron Sputtering,
    T. Suzuki, I. Kanno, K. Wasa, H. Kotera
    2004年, The 5th Korea-Japan Conference on Ferroelectricity, pp. 85, The Hoam Convention Center, Seoul National University, Seoul, Korea, Aug,18-21, 英語
    [査読有り]

  • High-Efficient Micropump with Geometry Optimization of Microchannel Using Computational Fluid Dynamics,
    T. Suzuki, S. Kawano, I. Kanno, H. Shintaku, S. Yakushiji, H. Kotera
    2004年, 8th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences(microTAS2004), pp. 234-236, Malmo Exhibition and Convention Center, Malmo, Sweden,Sep,26-30, 英語
    [査読有り]

  • 神野 伊策
    公益社団法人精密工学会, 2004年, 精密工学会誌, 70(9) (9), 1146 - 1149, 日本語
    [招待有り]
    記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

  • 新宅 博文, 川野 聡恭, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    Miniaturized biochemical analysis systems, so-called a μTAS, have gained considerable interest for research and development in new-bio-engineering. However, there is a difficulty in mixing fluids in the micro device because of extremely low Reynolds number. So, to develop an effective micromixer which can fully perform at low Reynolds number flow is important to realize integrated μTAS. In our previous experiment based on flow visualization technique, it was found that the diffusion phenomena of two species must play an important role in mixing process in such a creeping flow. The effect of diffusion should be investigated in detail to evaluate the performance of passive mixer. In this paper, we make a numerical study on the suitable flow condition for μTAS and the diffusion characteristics of passive mixer by means of curvilinear coordinate transformation technique.
    一般社団法人日本機械学会, 2003年08月05日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2003(5) (5), 325 - 326, 日本語

  • 遠藤 宏宣, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    The paper presents the possibility of a low-voltage micro-switch for RF application. The switches, we fabricated, consist of micro-cantilevers using piezoelectric PZT thin films with the length of 300μm and the width of 50μm. The cantilevers are actuated as unimorph actuators that can be deflected by applying voltage between upper and lower electrodes. We could obtain large deflection of 4.3μm even at the low voltage of 6.0V, which is well compatible with conventional IC drivers. This result indicates that the RF-MEMS switch using piezoelectric PZT thin films is much advantageous to the low voltage switching devices compared with conventionally proposed electrostatic ones.
    一般社団法人日本機械学会, 2003年08月05日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2003(7) (7), 221 - 222, 日本語

  • 寺田 研一郎, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    In this paper we propose hybrid piezoelectric materials composed of thin film PZT on organic layer. It is well-known that the PZT film shows excellent piezoelectric properties and is easy for microfabrication as MEMS devices. However deposition of PZT films need high process temperature as high as 500℃ which makes it difficult to integrate them on flexible organic materials. In this study we prepared PZT films on epitaxial MgO substrates in advance, and then they were glued onto adhesive polyimide layer. Finally the MgO substrates were etched away and the PZT films combined with the polyimide layer could be obtained as the hybrid materials. We have fabricated microactuators for micropumps using this film. The PZT films on the polyimide layer were integrated on Si substrates with microchannel and pressure cavities, and piezoelectric actuation was evaluated using laser Doppler displacement meter. We have observed clear piezoelectric displacement as high as 250nm at 10V, indicating the hybrid piezoelectric materials is useful for the MEMS applications.
    一般社団法人日本機械学会, 2003年08月05日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2003(7) (7), 225 - 226, 日本語

  • 福田純久, 崎山一幸, 神野伊策, 小寺秀俊
    This paper presents a frequency and directivity reconfigurable antenna for millimeter-wave communication. Reconfiguration is achieved by actuating conductor matrix element with micro actuator. The conductor matrix elements are arranged in the upper conductor layer and the lower conductor layer. If a distance between the upper and the lower conductor elements is short enough, the separated conductor elements act as continuous antenna line. By actuating the conductor elements, the electrically connected antenna line is easily disconnected. Consequently, the shape of antenna is reconfigured fitting to wavelength and receiving/radiating wave direction. As a first step, we have fabricated a millimeter antenna device and measured its characteristic. We have confirmed the characteristic radiation of the millimeter wave antenna, indicating this structure is effective to control the path of millimeter current.
    一般社団法人日本機械学会, 2003年08月05日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2003(Vol.7) (Vol.7), 213 - 214, 日本語

  • 221 進行波を用いた圧電バルブレスマイクロポンプの研究
    薬師寺 俊輔, 神野 伊策, 川野 聡恭, 小寺 秀俊
    一般社団法人日本機械学会, 2003年01月20日, バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2003(15) (15), 229 - 230, 日本語

  • 222 界面不安定性を用いたマイクロミキサーの開発
    新宅 博文, 川野 聡恭, 神野 伊策, 小寺 秀俊
    一般社団法人日本機械学会, 2003年01月20日, バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2003(15) (15), 231 - 232, 日本語

  • Characterization of Transverse Piezoelectric Properties of Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films
    I. Kanno, H. Kotera, K. Wasa
    2003年, 4th Asian Meeting on Ferroelectrics (AFM-4), pp. 51, 英語
    [査読有り]

  • Characterization of Piezoelectric Micropump Driven by Traveling Waves Isaku Kanno, Satoyuki Kawano, Shunsuke Yakushiji, Hidetoshi Kotera,
    I. Kanno, S. Kawano, S. Yakushiji, H. Kotera
    2003年, Micro Total Analysis Systems 2003, pp. 997-1000, 英語
    [査読有り]

  • Kelvin-Helmholtz Instability Theory in Development of Microfluidic Mixing System,
    S. Kawano, H. Shintaku, I. Kanno, H. Kotera
    2003年, Micro System Technologies, pp. 571-573, 英語
    [査読有り]

  • Frequency and Directivity Reconfigurable Antenna for Millimeter-Wave
    S. Kawano, H. Shintaku, I. Kanno, H. Kotera
    2003年, Micro System Technologies, pp. 526-528,, 英語
    [査読有り]

  • Crack Initiation at Free Edge of Interface between Piezoelectric Thin Films on a Substrate
    F. Shang, T. Kitamura, H. Hirakata, I. Kanno, H. Kotera, K. Terada
    2003年, The 5th Euromech Solid Mechanics Conference, pp., 英語
    [査読有り]

  • ZnO薄膜を用いたマイクロカンチレバー型アクチュエータ
    小寺 秀俊, 守山 善也, 神野 伊策, 高山 良一, 島 進
    1998年10月23日, シンポジウム電磁力関連のダイナミックス講演論文集, 10, 483 - 486, 日本語

  • 神野 伊策
    日本表面科学会, 1998年, 表面科学, 19(7) (7), 463 - 468, 日本語
    [査読有り]
    記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）

■ 書籍等出版物
  • Nanostructures in Ferroelectric Films for Energy Applications - Domains, Grains, Interfaces and Engineering Methods -
    Jun Oyang, Isaku Kanno
    その他, Elsevier, 2019年, 英語, Chap_8: "Fundamentals of piezoelectric thin films for microelectromechanical systems"
    学術書

  • Nanoscale Ferroelectric-Multiferroic Materials for Energy Harvesting Applications
    Hideo Kimura, Toshihito Umegaki, Isaku Kanno
    その他, Elsevier, 2019年, 英語, Chap9 "Structural optimization of piezoelectric thin-film vibration energy harvesters based on electric equivalent circuit model"
    学術書

  • 高分子圧電材料と無機圧電セラミックスの基礎から応用
    田實佳郎, 神野 伊策
    その他, シーエムシー出版, 2014年, 日本語, 第4章 圧電セラミックスの薄膜化と圧電特性測定技術
    学術書

  • MEMS Fundamental Technology and Applications
    V. Choudhary, K. Iniewski, Kanno Isaku
    その他, CRC Press, 2013年, 英語
    学術書

  • Energy Harvesting with Functional Materials and Microsystems
    M. Bhaskaran, S. Sriram, K. Iniewski, Isaku Kanno
    その他, CRC Press, 2013年, 英語, Chap 8"Piezoelectric Thin Films and Their Application to Vibration Energy Harvesters"
    学術書

  • 環境発電ハンドブック
    鈴木雄二, 神野伊策
    その他, NTS, 2012年, 日本語
    学術書

  • Integrated Microsystems
    Iniewski K, Kanno Isaku
    その他, CRC press, 2012年, 英語
    学術書

■ 講演・口頭発表等
  • Piezoelectric MEMS as a Micro-Power Source
    Isaku Kanno
    IEEE IFCS ISAF 2020, 2020年07月
    [招待有り]
    口頭発表（基調）

  • Piezoelectric PZT Thin-Film Transformer with a Ring-Dot Structure
    Sanghyo Kweon, Kazuki Tani, Isaku Kanno
    第37回強誘電体会議, 2020年05月
    口頭発表（一般）

  • 両端支持ユニモルフ梁を用いた薄膜の正圧電係数の評価方法
    梅垣俊仁, 治京元気, 神野伊策
    第37回強誘電体会議, 2020年05月
    口頭発表（一般）

  • Si 基板上エピタキシャル(K, Na)NbO3薄膜の結晶構造および圧電特性の組成依存性
    蔡 慶政, 藤田 卓也, 譚 賡, 神野 伊策
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
    口頭発表（一般）

  • Si基板上エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜の結晶構造と圧電特性の評価
    譚 ゴオン, Kim Eun-Ji, Kweon Sang-Hyo, 小金澤 智之, 神野 伊策
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
    口頭発表（一般）

  • 高温 Pt マイクロヒーターの開発
    天本 百合奈, 赤坂 俊輔, 神野 伊策
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
    口頭発表（一般）

  • Piezoelectric PZT thin-film transformers with a ring-dot structure
    SangHyo Kweon, Kazuki Tani, Isaku Kanno
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
    ポスター発表

  • スパッタ法による積層誘電体薄膜作製技術
    神野 伊策
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
    口頭発表（招待・特別）

  • 全固体リチウムイオン薄膜電池の多層化
    米田 宏太朗, 金澤 翔吾, 吉田 将康, 神野 伊策
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
    口頭発表（一般）

  • 圧電薄膜を用いた圧電トランスの設計、試作および評価
    谷 和樹, Kweon SangHyo, 神野 伊策, 肥田 博隆
    第10回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019年11月
    ポスター発表

  • SSPDの高性能化に向けたNbTiN薄膜の成膜条件の検討
    藤井 勇磨, 知名 史博, 薮野 正裕, 寺井 弘高, 神野 伊策, 三木 茂人
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
    口頭発表（一般）

  • Si基板上のエピタキシャル(K,Na)NbO3薄膜の結晶構造および圧電特性の評価
    譚 ゴオン, 藤田 卓也, Kweon, Sang Hyo, 小金澤 智之, 神野 伊策
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
    口頭発表（一般）

  • (K, Na)NbO3薄膜への添加物効果
    藤田 卓也, 譚 賡, 神野 伊策
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
    口頭発表（一般）

  • RFスパッタリング装置を用いたガラス基板上へのPZT薄膜成膜
    上田 一貴, 神野 伊策
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
    ポスター発表

  • 圧電薄膜を用いた振動発電技術
    神野伊策
    第83回半導体・集積回路技術シンポジウム, 2019年08月
    口頭発表（招待・特別）

  • シンクロトロン放射光X線回折を用いたエピタキシャルPZT薄膜の微視的圧電特性組成依存性評価
    譚 賡, 神野伊策
    強誘電体応用会議2019, 2019年05月
    口頭発表（一般）

  • 有機圧電エナジーハーベスターにおける振動発電特性の膜厚依存性
    小林 晃子, 堀家 匠平, 小柴 康子, 福島 達也, 神野 伊策, 石田 謙司
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月, 日本語, 応用物理学会, 東京都, 国内会議
    ポスター発表

  • 圧電薄膜を用いた振動発電素子開発
    神野 伊策
    IIP2019 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2019年03月, 日本語, 東洋大学, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 圧電薄膜を用いた振動発電技術
    神野 伊策
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月, 日本語, 東京工業大学, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • V2O5正極を用いた全固体リチウムイオン薄膜電池の作製
    神野 伊策, 金澤翔吾, 馬場 友章
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月, 日本語, 東京工業大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • (K, Na)NbO3薄膜へのドーピング効果
    神野 伊策, 譚 ゴオン, 藤田 卓也, 西岡 慎太郎
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月, 日本語, 東京工業大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • マイクロフォースセンサを用いた根の機械的性質の解析
    肥田 博隆, 伊黒 大祐, 神野 伊策, 野田口 理孝
    IIP2019 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2019年, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Equivalent circuit model of piezoelectric vibration energy harvesters composed of trapezoidal unimorph cantilevers
    Umegaki Toshihito, Takashi Ito, Goon Tan, Isaku Kanno
    PowerMEMS2018, 2018年12月, 英語, FL, USA, 国際会議
    ポスター発表

  • Sputtering deposition of piezoelectric PZT thin films for MEMS applications
    神野伊策
    71th ICAT, 2018年10月, 英語, Penn State, USA, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 電圧印加における非鉛(K,Na)NbO3薄膜の結晶構造変化その場観察
    神野 伊策, 譚 ゴオン, 西岡 慎太郎, 小金澤 智之, 梅垣 俊仁
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, 日本語, 名古屋国際会議場, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 圧電薄膜技術：基礎研究から実用化まで
    神野 伊策
    2018年度日本機械学会年次大会, 2018年09月, 日本語, 関西大学, 国内会議
    口頭発表（基調）

  • ユニモルフカンチレバー型有機圧電薄膜の振動発電特性
    小林 晃子, 堀家 匠平, 小柴 康子, 福島 達也, 神野 伊策, 石田 謙司
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, 日本語, 応用物理学会, 名古屋市, 国内会議
    ポスター発表

  • V2O5正極を用いた全固体リチウムイオン薄膜電池の作製
    神野 伊策, 馬場 友章, 金澤 翔吾
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, 日本語, 名古屋国際会議場, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • PZT thin-film Piezoelectric Vibration Energy Harvesters
    神野伊策
    The 10th Japan-China Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications (JCFMA10), 2018年09月, 英語, Inuyama, Japan, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の正圧電特性の温度依存性に関する研究
    神野 伊策, 譚 ゴオン, 梅垣 俊仁, 金光 勇弥
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, 日本語, 名古屋国際会議場, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • In-situ synchrotron diffraction study of epitaxial and polycrystalline Pb(Zr,Ti)O3 thin filmsunder an applied electric field
    Umegaki Toshihito, Kohei Issiki, 神野伊策
    The 10th Japan-China Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications (JCFMA10), 2018年09月, 英語, Kobe, Japan, 国際会議
    ポスター発表

  • Doping effect of lead-free K0.5Na0.5NbO3 thin films by multi-target RF-magnetron sputtering
    Shintaro Nishioka, 譚 ゴオン, Umegaki Toshihito, 神野伊策
    IWPMA2018, 2018年09月, 英語, Kobe, Japan, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • (K,Na)NbO3および(Pb,La)TiO3薄膜を用いた光起電力特性評価
    神野 伊策, 逢坂 広己, 向山 義治
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年09月, 日本語, 名古屋国際会議場, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Numerical Designs of Thin-Film-Formed Piezoelectric Vibration Energy Harvesters
    Umegaki Toshihito, 伊藤 喬, T. Nishi, 譚 ゴオン, 神野伊策
    2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP2018), 2018年05月, 英語, Hiroshima, Japan, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Direct Observation of Inverse Piezoelectric Effect of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Using Synchrotron X-ray Diffraction
    譚 ゴオン, 丸山 和樹, 金光 勇弥, 西岡 慎太郎, 逢坂 広己, T. Koganezawa, Toshihito Umegaki Toshihito, 神野伊策
    2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP2018), 2018年05月, 英語, Hiroshima, Japan, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • A Newly Developed High Performance PZT Thin Films by Using Sputtering and Sol-Gel Hybrid Method for Piezo-MEMS Device
    T. Date, K. Nomura, Y. Fujimori, T. Nagahata, 神野伊策
    2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP2018), 2018年05月, 英語, Hiroshima, Japan, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • ナノエネルギ―技術への期待と展望
    神野 伊策
    日本学術振興会 薄膜第131委員会 第283回委員会・第289回研究会, 2018年04月, 日本語, 京都テルサ, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 等価回路モデルを用いた圧電薄膜振動発電素子の設計と評価
    神野 伊策, 梅垣俊仁, 伊藤喬, 西崇仁, 譚ゴオン
    IIP2018 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2018年03月, 日本語, 東洋大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • V2O5正極を用いた全固体薄膜リチウムイオン電池の作製とその評価
    神野 伊策, 金澤翔吾, 馬場友章, 肥田博隆
    IIP2018 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2018年03月, 日本語, 東洋大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Pb(Zr,Ti)O3薄膜の電圧印加結晶構造変化の組成依存性
    神野 伊策, 譚 ゴオン, 丸山 和樹, 金光 勇弥, 西岡 慎太郎, 逢坂 広己, 小金澤 智之, 梅垣 俊仁
    第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018年03月, 日本語, 早稲田大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法
    肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 部門大会 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」, 2018年, 日本語, 国内会議
    ポスター発表

  • マイクロフォースセンサを用いた根の成長挙動解析
    伊黒 大祐, 肥田 博隆, 尾添 克哉, 神野 伊策, 野田口 理孝
    日本機械学会2018年度年次大会, 2018年, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • マイクロピラーアレイを用いた根の機械的ストレス応答の解析
    肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝
    日本機械学会2018年度年次大会, 2018年, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • In-situ observation of crystallographic deformation of Pb(Zr,Ti)O3 thin films by synchrotron x-ray diffraction
    譚 ゴオン, 丸山 和樹, 金光 勇弥, 西岡 慎太郎, T. Koganezawa, 神野伊策
    6th International Workshop on Piezoelectric MEMS (PiezoMEMS2018), 2018年01月, 英語, Orlando, FL, 国際会議
    ポスター発表

  • THE PIEZOELECTRIC PZT THIN FILMS DEPOSITED ON METAL SUBSTRATES
    Takashi Ito, Takahito Nishi, Umegaki, 肥田 博隆, 神野伊策
    PowerMEMS2017, 2017年11月, 英語, Kanazawa, Japan, 国際会議
    ポスター発表

  • Orientation Dependence of Power Generation on Piezoelectric Energy Harvesting Using Stretched Ferroelectric Polymer Films
    Akiko Kobayashi, Yasuko Koshiba, Yoshikazu Ueno, Tadao Kajihara, Yuichi Tsujiura, Masahiro Morimoto, Syohei Horike, Tatsuya Fukushima, Isaku Kanno, Kenji Ishida
    The 17th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications （Power MEMS 2017), 2017年11月, 英語, 日本機械学会, 金沢市, 国際会議
    ポスター発表

  • MULTILAYER PIEZOELECTRIC MEMS ENERGY HARVESTER BASED ON LONGITUDINAL EFFECT
    R. Nakanishi, K. Kanda, K. Kanda, 藤田 卓也, 神野伊策, K. Maenaka
    PowerMEMS2017, 2017年11月, 英語, Kanazawa, Japan, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • IEZOELECTRIC PZT THIN FILMS DEPOSITED ON STAINLESS STEEL MESH
    Takahito Nishi, Takashi Ito, Toshihito Umegaki, 神野伊策
    PowerMEMS2017, 2017年11月, 英語, Kanazawa, Japan, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • DEVELOPMENT OF PIEZOELECTRIC VIBRATION ENERGY HARVESTERS FOR BATTERY-LESS SMART SHOES
    H. Katsumura, T. Konishi, H. Okumura, T. Fukui, M. Katsu, T. Terada, Umegaki Toshihito, 神野伊策
    PowerMEMS2017, 2017年11月, 英語, Kanazawa, Japan, 国際会議
    ポスター発表

  • 分極制御有機圧電薄膜による振動発電素子
    石田 謙司, 神野 伊策
    第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月, 日本語, 応用物理学会, 福岡市, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 圧電薄膜とMEMSデバイス応用
    神野 伊策
    日本セラミックス協会 第30回秋季シンポジウム, 2017年09月, 日本語, 神戸大学, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • シューズ埋め込み型圧電振動発電素子の作製・評価
    神野 伊策, 西崇 仁, 伊藤 喬, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆
    2017年度日本機械学会年次大会, 2017年09月, 日本語, 埼玉大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • インセクトスケールロボットを目的とした圧電薄膜アクチュエータの作製
    神野 伊策, 西村 望, 肥田 博隆
    017年度日本機械学会年次大会, 2017年09月, 日本語, 埼玉大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究
    神野 伊策, 金光 勇弥, 譚 ゴオン, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆
    第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月, 日本語, 福岡国際会議場, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の逆圧電効果による結晶構造変化のその場観察
    神野 伊策, 譚 ゴオン, 丸山 和樹, 金光 勇弥, 西岡 慎太郎, 小金澤 智之, 梅垣 俊仁, 小金澤 智之, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆
    福岡国際会議場, 2017年09月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Measurement of piezoelectric characteristics of thin films
    神野 伊策
    International workshop on piezoelectric materials and applications (IWPMA2017), 2017年09月, 英語, Virginia, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 圧電薄膜を利用した振動発電
    神野 伊策
    応用物理学会 薄膜・表面分科会 セミナー, 2017年07月, 日本語, 産総研 臨海副都心センター, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • ディップコート法による金属箔上へのPZT薄膜の作製と評価
    神野 伊策, 濱村朋広, 肥田博隆
    強誘電体応用会議, 2017年06月, 日本語, 京都, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Evaluation of piezoelectric characteristics of thin films for MEMS applications
    Isaku Kanno
    8th International Conference on Electroceramics (ICE2017), 2017年05月, 英語, Nagoya, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 薄膜型全固体リチウムイオン電池の作製と評価
    神野 伊策, 馬場 友章, 肥田 博隆
    IIP2017 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2017年03月, 日本語, 東洋大学 白山キャンパス, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • ディップコート法によるステンレス箔上へのPZT薄膜の作製
    神野 伊策, 濱村 朋広, 肥田 博隆
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月, 日本語, パシフィコ横浜, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • PZT薄膜を用いた圧電型エナジーハーベスターの作製と評価
    神野 伊策, 伊藤 喬, 西 崇仁, 肥田 博隆
    IIP2017 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2017年03月, 日本語, 東洋大学 白山キャンパス, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Pb(Zr,Ti)O3薄膜の斜め成膜およびその特性評価に関する研究
    神野 伊策, 丸山 和樹, 肥田 博隆, 寺元 卓也
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月, 日本語, パシフィコ横浜, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Design and characterization of cantilever-type piezoelectric MEMS microphones
    神野 伊策, Shota Nakagawa, Hirotaka Hida
    International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016, 2016年12月, 英語, Tokyo, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • 根の成長パターン解析を目的としたマイクロピ ラーデバイスの開発
    西脇 大維, 肥田 博隆, 東山 哲也, 野田口 理孝, 神野 伊策
    日本機械学会 2016年度年次大会, 2016年09月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 圧電薄膜振動子を用いたシリンダー型 MEMS ジャイロスコープの特性評価
    肥田 博隆, 富士原 孝裕, 神野 伊策
    日本機械学会 2016年度年次大会, 2016年09月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Shoe-mounted vibration energy harvester of PZT piezoelectric thin films on metal foils
    神野 伊策, Takahito Nishi, Takashi Ito, Hirotaka Hida
    The 16th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS2016), 2016年09月, 英語, Pari, France, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Piezoelectric Thin Films on Metal Substrates for Flexible and Robust Energy Harvesting
    神野 伊策
    11th Energy harvesting workshop, 2016年09月, 英語, Arlington, Virginia, USA, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • Measurement method of transverse piezoelectric properties of thin films
    神野 伊策
    第8回日中強誘電体応用会議, 2016年09月, 英語, 筑波, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • KNN 薄膜を用いた光起電力特性評価
    大地 優平, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年09月, 日本語, 朱鷺メッセ, 国内会議
    ポスター発表

  • Compositional dependence of BaTiO3-xBaSnO3 piezoelectric thin films prepared by combinatorial sputtering
    神野 伊策, Hongbo Cheng, Takuya Teramot, Hirotaka Hida, Jun Ouyang
    第8回日中強誘電体応用会議, 2016年09月, 英語, 筑波, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Compositional dependence of BaTiO3-xBaSnO3 piezoelectric thin films prepared by combinatorial sputtering
    Hongbo Cheng, Takuya Teramoto, Hirotaka Hida, Isaku Kanno, Jun Ouyang
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年09月, 英語, 朱鷺メッセ, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Sputtering deposition of piezoelectric thin films
    神野 伊策
    the 13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016, 2016年08月, 英語, Jeju, Korea, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • Multilayer piezoelectric thin films
    神野 伊策
    5th International Workshop on Piezoelectric MEMS, 2016年05月, 英語, Grenoble, France, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 薄膜材料の正・逆圧電特性評価
    神野 伊策, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 積層圧電薄膜の作製およびその実効的圧電特性評価
    神野 伊策, 肥田 博隆, 山本 稜祐, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 牧本 なつみ, 小林 健
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • コンビナトリアルスパッタ法を用いたPMN-PZ-PT薄膜の組成依存性評価
    神野 伊策, 肥田 博隆, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 寺元 卓也
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • PZT圧電薄膜の正圧電特性経時変化
    神野 伊策, 肥田 博隆, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 西 崇仁
    第65回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 圧電MEMSとエナジーハーベスティング応用
    神野 伊策
    第20回 関西大学先端科学技術シンポジウム, 2016年01月, 日本語, 吹田市, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • PIEZOELECTRIC MEMS FOR ENERGY HARVESTING
    神野 伊策
    "The 15th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2015) Journal of Physics: Conference Series", 2015年12月, 英語, Boston, USA, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • オンチップ力計測手法による根の成長メカニズム解析
    尾添 克哉, 肥田 博隆, 神野 伊策, 東山 哲也, 野田口 理孝
    化学とマイクロ・ナノシステム学会第32回研究会, 2015年11月, 日本語, 国内会議
    ポスター発表

  • 圧電薄膜アクチュエータを用いたインセクトスケール圧電ロボットの作製と評価
    岩崎 拓実, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第 7 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 新潟県, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • ステンレス基板上PZT薄膜の光誘起ひずみ効果
    神野 伊策, 佐段田 温朗, 大地 優平, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 肥田 博隆
    第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年09月, 日本語, 名古屋, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Self-excited vibration energy harvesters of PZT thin films on stainless-steel cantilevers by airflow
    Isaku Kanno, Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka, Hida
    10th Energy Harvesting Workshop, 2015年09月, 英語, Virginia, USA, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Pb(Hf,Ti)O3薄膜の作製と組成依存性評価
    神野 伊策, 西尾 正悟, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 肥田 博隆
    第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年09月, 日本語, 名古屋市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Piezoelectric thin films for MEMS
    神野 伊策
    the 7th China-Japan Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications, 2015年08月, 英語, Beijin, China, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Reliability of vibration energy harvesters of PZT thin films on stainless steel cantilevers
    Isaku Kanno, Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida
    2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment, 2015年06月, 英語, Kobe, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Development of simple microrob ot using piezoelectric thin film actuator on metal substrate
    Isaku Kanno, Hirotaka Hida, Yuki Morita, Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura
    2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment, 2015年06月, 英語, Kobe, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • 正・逆圧電効果によるPZT薄膜の圧電定数e31,fの測定
    神野 伊策, 辻浦裕一, 河邊真之, 黒川文弥, 肥田博隆
    強誘電体応用会議, 2015年05月, 日本語, 京都市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 圧電薄膜のMEMS応用
    神野 伊策
    強誘電体応用会議, 2015年05月, 日本語, 京都市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 自励振動を利用した圧電薄膜気流振動発電素子
    辻浦 裕一, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • UV-LED光駆動の圧電薄膜アクチュエータの作製
    黒川 文弥, 大地 優平, 佐段田 温朗, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Piezoelectric vibration energy harvesters with stretched and multi-stacked organic ferroelectric films
    KAJIHARA TADAO, YOSHIKAZU UENO, TSUJIURA YUICHI, KOSHIBA YASUKO, MISAKI MASAHIRO, KANNO ISAKU, ISHIDA KENJI
    Fourth International Conference on Multifunctional, Hybrid and Nanomaterials (Hybrid Materials 2015), 2015年03月, 英語, Spain, 国際会議
    ポスター発表

  • Pb(Hf,Ti)O3薄膜の作製と圧電特性評価
    西尾 正悟, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 自励振動を利用した圧電薄膜気流発電素子
    諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    平成26年度応用物理学会関西支部第3回講演会, 2015年02月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • UV-LED光駆動圧電薄膜アクチュエータの作製
    黒川 文弥, 大地 優平, 佐段田 温朗, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策
    平成26年度応用物理学会関西支部第3回講演会, 2015年02月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 積層圧電薄膜を用いた高効率MEMSアクチュエータの開発
    黒川 文弥, 岸本 真哉, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第53回セラミックス基礎科学討論会, 2015年01月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • スパッタ法を用いたLi4Ti5O12薄膜の作製とその評価
    岡本 一真, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策, 水畑 穣
    第53回セラミックス基礎科学討論会, 2015年01月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 正・逆圧電効果による PZT 薄膜の圧電定数 e31,f の評価
    河邊 真之, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 金属基板上圧電薄膜アクチュエータを用いたミリメータスケールロボットの作製
    森田 勇樹, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 金属基板上 PZT 薄膜を用いた振動発電素子の信頼性評価に関する研究
    辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 金属基板上 PZT 薄膜を用いた自励振動発電素子の評価
    諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • ウエットエッチングによる圧電薄膜の PDMS 基板上への転写技術
    肥田 博隆, 八神 瞬, 諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 神野 伊策
    第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • PZT 圧電薄膜および圧電 MEMS デバイスの信頼性評価
    神野 伊策, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆
    第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 有機圧電エナジーハーベスターにおける振動発電特性の分子配向依存性
    梶原 忠夫, 上野 慶和, 辻浦 裕一, 小柴 康子, 三崎 雅裕, 神野 伊策, 石田 謙司
    2014年秋季第76回応用物理学会学術講演会, 2014年09月, 日本語, 応用物理学会, 札幌市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • ポリ尿素薄膜を用いた焦電・圧電特性および振動発電評価
    森本 勝大, 辻浦 裕一, 小柴 康子, 三崎 雅裕, 神野 伊策, 石田 謙司
    2014年秋季第77回応用物理学会学術講演会, 2014年09月, 日本語, 応用物理学会, 札幌市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • コンビナトリアルスパッタ法による BZT-BCT 圧電薄膜の組成依存性評価
    黒川 文弥, 森 亮, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策
    2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年09月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • High-throughput Chemotaxis Assay of Plant-parasitic Nematode by Using a Microchannel Device
    H. Hida, M. Matsumura, I. Kanno, H. Nishiyama, S. Sawa, T. Higashiyama, H. Arata
    International ERATO Higashiyama Live-Holonics Symposium 2014 "Plant Live-Cell Imaging and Microdevices", 2014年09月, 英語, 国際会議
    ポスター発表

  • 延伸処理した強誘電ポリマーの振動発電特性評価
    梶原 忠夫, 上野 慶和, 辻浦 裕一, 小柴 康子, 三崎 雅裕, 神野 伊策, 石田 謙司
    第60回高分子研究発表会(神戸）, 2014年07月, 日本語, 神戸市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 有機圧電型エナジーハーベスターの特性評価
    梶原 忠夫, 上野 慶和, 辻浦 裕一, 小柴 康子, 三崎 雅裕, 神野 伊策, 石田 謙司
    応用物理学会関西支部平成26年第1回講演会, 2014年06月, 日本語, 京都市, 国内会議
    ポスター発表

  • 植物寄生性センチュウのハイスループット化学走性分析用デバイス
    肥田 博隆, 松村 匡隆, 神野 伊策, 西山 英孝, 澤 進一郎, 東山 哲也, 新田 英之
    化学とマイクロ・ナノシステム学会 第29回研究会, 2014年05月, 日本語, 日本女子大学 目白キャンパス, 国内会議
    ポスター発表

  • コンビナトリアルスパッタ法による PMN-PT 圧電薄膜の組成依存性評価
    黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第31回強誘電体応用会議, 2014年05月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 着脱式マイクロ流路チップを用いたゾル-ゲル法によるPZT薄膜の直接パターニング技術
    肥田 博隆, 八神 瞬, 神野 伊策
    第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • スパッタ法を用いた Li4Ti5O12薄膜の作製とその評価
    岡本 一真, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策, 水畑 穣
    第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • コンビナトリアル成膜によるPLZT薄膜の組成依存性評価
    西尾 正悟, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月, 日本語, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 植物寄生性センチュウの行動分析用マイクロ流路デバイス:流路規格および流路内物質濃度分布の検証
    肥田 博隆, 西山 英孝, 澤 進一郎, 神野 伊策, 東山 哲也, 新田 英之
    第5回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 仙台国際センター(仙台市), 国内会議
    口頭発表（一般）

  • スパッタ法で作製したPZT薄膜積層アクチュエータ
    岸本 真哉, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策
    第5回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 仙台国際センター(仙台市), 国内会議
    口頭発表（一般）

  • ステンレス基板上圧電薄膜を用いた MEMS エナジ ーハーベスター
    辻浦 裕一, 諏訪 英作, 肥田 博隆, 末永 和史, 柴田 憲治, 神野 伊策
    日本機械学会 2013 年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山大学津島キャンパス(岡山市), 国内会議
    口頭発表（一般）

  • コンビナトリアル成膜法による PMN-PT薄膜の組成依存性評価
    黒川 文弥, 冨岡 宏平, 肥田 博隆, 神野 伊策
    日本機械学会 2013 年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山大学津島キャンパス(岡山市), 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Piezoelectric thin films
    神野 伊策
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium, 2013年07月, 英語, IEEE, プラハ, 国際会議
    公開講演，セミナー，チュートリアル，講習，講義等

  • Composition depndence of PMN-PT thin films prepared by combinatorial sputtering
    黒川 文弥, 冨岡 公平, 肥田 博隆, 神野 伊策
    IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium, 2013年07月, 英語, IEEE, プラハ, 国際会議
    ポスター発表

  • ステンレス基板上非鉛KNN薄膜を用いたMEMSエナジーハーベスター
    辻浦 裕一, 諏訪 英作, 末永 和史, 柴田 憲治, 神野 伊策
    第３０回強誘電体応用会議, 2013年05月, 日本語, 京都市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Piezoelectric MEMS of lead-free KNN thin films
    神野 伊策
    3rdInternational PiezoMEMS Workshop, 2013年04月, 英語, ワシントンDC, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • 非鉛圧電薄膜(K,Na)NbO3の微細加工技術
    黒川文弥, 横川隆司, 小寺秀俊, 佐藤政司, 柴田憲治, 神野 伊策
    IIP2013情報・知能・精密機器部門講演会, 2013年03月, 日本語, 日本機械学会, 東京, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • 金属基板上PZT薄膜を利用したジャイロセンサーの開発に関する研究
    富士原 考裕, 神野 伊策
    IIP2013情報・知能・精密機器部門講演会, 2013年03月, 日本語, 日本機械学会, 東京, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • シリコン基板上に作製したPZT薄膜積層アクチュエータ
    岸本 真哉, 黒川 文弥, 神野 伊策
    応用物理学会春季学術講演, 2013年03月, 日本語, 応用物理学会, 東京, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • コンビナトリアル成膜によるBZT-BCT薄膜の組成依存性評価
    森 亮, 黒川 文弥, 神野 伊策
    応用物理学会春季学術講演, 2013年03月, 日本語, 応用物理学会, 東京, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • エピタキシャルPZT薄膜を用いた高効率圧電型振動発電素子に関する研究
    諏訪 英作, 辻浦 裕一, 神野 伊策
    IIP2013情報・知能・精密機器部門講演会, 2013年03月, 日本語, 日本機械学会, 東京, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • PIEZOELECTRIC MEMS ENERGY HARVESTERS OF PZT THIN FILMS ON STAINLESS STEEL CANTILEVERS
    辻浦 裕一, 神野 伊策
    he 12th International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS2012), 2012年12月, 英語, Atranta, USA, 国際会議
    ポスター発表

  • シリコン基板上に作製したPZT薄膜積層アクチュエータ
    岸本 真哉, 神野 伊策
    第53回真空に関する連合講演会, 2012年11月, 日本語, 日本真空学会, 甲南大学ポートアイランドキャンパス, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • コンビナトリアル成膜法によるBZT-BCT非鉛圧電薄膜の作製と圧電特性評価
    森 亮, 神野 伊策
    第53回真空に関する連合講演会, 2012年11月, 日本語, 日本真空学会, 甲南大学ポートアイランドキャンパス, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Fabrication and characterization of lead-free piezoelectric thin films
    Patpicha Ratanapreechachai, 神野伊策
    International Conference on Emerging Trends in Engineering & Technology (ICETET-12), 2012年11月, 英語, IEEE, 姫路, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • 金属基板を用いたPZT圧電薄膜エナジーハーベスト
    辻浦 裕一, 神野 伊策
    第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2012年10月, 日本語, 日本機械学会, 北九州, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • RFマグネトロンスパッタ法によるPMN－PT薄膜の圧電特性
    冨岡宏平, 横川隆司, 小寺秀俊, 神野伊策
    第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2012年10月, 日本語, 日本機械学会, 北九州, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • MEMS Energy Harvesters of Piezoelectric Thin Films
    Kanno Isaku
    2012 IEEE Nanotechnology Material and Devices Conference (IEEE-NMDC 2012), 2012年10月, 英語, IEEE, Hawaii, USA, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • Fabrication and characterization of lead-free piezoelectri thin films
    Patpicha Ratanapreechachai, Kanno Isaku
    第4回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2012年10月, 英語, 日本機械学会, 北九州, 国内会議
    ポスター発表

  • 非鉛圧電薄膜(K,Na)NbO3を用いたMEMSデバイス作製及び評価
    黒川文弥, 神野伊策, 横川隆司, 小寺秀俊, 堀切文正, 柴田憲治, 三島友義
    2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会, 2012年09月, 日本語, 応用物理学会, 愛媛大学・松山大学, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • PZT圧電薄膜を用いた振動発電素子
    神野 伊策
    日本学術振興会第161委員会第78回研究会 「エネルギーハーベスト」, 2012年09月, 日本語, 日本学術振興会, 名古屋大学, 国内会議
    [招待有り]
    シンポジウム・ワークショップパネル（指名）

  • Piezoelectric Energy Harvesters of Lead-Free (K, Na)NbO3 Thin Films
    Kanno Isaku
    CMOS Emerging Technologies 2012, 2012年07月, 英語, Vancouver, Canada, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Microfabrication of Lead-Free (Ka,Na)NbO3 Piezoelectric Thin Films by Dry Etching
    Kurokawa Fumiya, Kanno Isaku, Yokokawa Ryuji, Kotera Hidetoshi, Horikiri F, Shibata K, Mishima T
    6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro, 2012年07月, 英語, Nanjin, Chaina, 国際会議
    [招待有り]
    口頭発表（一般）

  • Microfabrication of Lead-Free (Ka,Na)NbO3 Piezoelectric Thin Films by Dry Etching
    Kurokawa Fumiya, Kanno Isaku, Yokokawa Ryuji, Kotera Hidetoshi, Horikiri F, Shibata K, Mishima T
    6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies, 2012年07月, 英語, Nanjin, Chaina, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • Compositional Dependence of Piezoelectric PZT Films by Combinatorial Sputtering
    Tomioka Kohei, Kanno Isaku, Kotera Hidetoshi
    International Symposium on Integrated Functionalities 2012 (ISIF2012), 2012年06月, 英語, Hong Kong, 国際会議
    口頭発表（一般）

  • 圧電薄膜とMEMS応用
    神野 伊策
    第29回強誘電体応用会議(FMA29), 2012年05月, 日本語, 京都市, 国内会議
    [招待有り]
    口頭発表（招待・特別）

  • コンビナトリアル成膜によるPZT圧電薄膜の組成依存性評価
    冨岡宏平, 横川隆司, 小寺秀俊, 神野伊策
    第29回強誘電体応用会議(FMA29), 2012年05月, 日本語, 京都市, 国内会議
    口頭発表（一般）

  • Multilayer Thin‐Film Capacitors Fabricated by Radio-Frequency Magnetron Sputtering
    Imamiya Y, Yokokawa R, Kanno Isaku, Kotera H
    20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF) and International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy on Nanoscale Phenomena in Polar Materials (PFM), ISAF-PFM-2011, 2011年07月, 英語, IEEE, Vancouver, Canada, 国際会議
    ポスター発表

■ 所属学協会
  • 日本誘電体学会

  • 日本機械学会

  • 応用物理学会

■ Works_作品等
  • 産業技術研究助成事業 「超格子圧電薄膜材料の開発とマイクロマシンデバイスへの応用」
    2002年

  • Industrial Technology Research Grant Program "Development of piezoelectric films with super structures and their application for MEMS"
    2002年

■ 共同研究・競争的資金等の研究課題
  • Development of a living cell-cell battery inspired by electric fishes
    MATURANA ANDRES, 肥田 博隆, 神野 伊策
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 挑戦的研究(萌芽), 名古屋大学, 2022年06月30日 - 2025年03月31日

  • 【CREST】高効率非鉛圧電薄膜発電システムの実証展開
    神野伊策
    国立研究開発法人科学技術振興機構, 戦略的創造研究推進事業（CREST）, 2020年04月 - 2023年03月, 研究代表者

  • 神野 伊策
    科学研究費補助金／基盤研究(B), 2017年04月 - 2021年03月, 研究代表者
    競争的資金

  • 【CREST】分極制御非鉛圧電薄膜による高効率MEMS振動発電素子の創製
    神野 伊策
    国立研究開発法人科学技術振興機構, 戦略的創造研究推進事業（CREST）, 2016年 - 2020年03月, 研究代表者
    競争的資金

  • スポーツを対象としたウェアラブル圧電型振動発電モジュールの開発
    神野 伊策
    科学技術振興機構(JST), 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム 戦略テーマ重点タイプ, 2016年, 研究代表者
    競争的資金

  • A-STEP「高密度・高品質積層誘電体デバイスの開発」
    神野 伊策
    研究成果最適展開支援プログラム フィージビリティスタディステージ 探索タイプ, 2012年, 研究代表者
    競争的資金

  • A-STEP「高効率・高信頼性圧電MEMS振動発電素子の開発」
    神野 伊策
    研究成果最適展開支援プログラム フィージビリティスタディステージ 探索タイプ, 2012年, 研究代表者
    競争的資金

  • 神野 伊策
    科学研究費補助金／基盤研究(C), 2011年, 研究代表者
    競争的資金

  • A-STEP「高密度・高品質積層誘電体デバイスの開発」
    神野 伊策
    研究成果最適展開支援プログラム フィージビリティスタディステージ 探索タイプ, 2011年, 研究代表者
    競争的資金

■ 産業財産権
  • 圧電薄膜、圧電薄膜の製造方法、圧電薄膜付き基板、圧電アクチュエータ、圧電センサ、インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ
    神野 伊策, 肥田 博隆
    特願2015-033682, 2015年02月24日, 大学長, 特許6468881, 2018年12月18日
    特許権

  • 誘電体薄膜構造物
    特許第3138128号
    特許権

  • 誘電体薄膜の製造方法
    特許第3224293号
    特許権

  • 圧電素子及びその製造方法並びにそれを用いたインクジェットヘッド及びその製造方法
    特許第3202006号
    特許権

  • 圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
    特許第3202012号
    特許権

  • 圧電アクチュエータおよびその製造方法
    特許第3104550号
    特許権

  • インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
    特許第3238674号
    特許権

  • インクジェットヘッド及びその製造方法
    特許第3241334号
    特許権

研究シーズ

■ 研究シーズ
  • 機能性薄膜材料と応用デバイスに関する研究
    シーズカテゴリ：ナノテク・材料, ものづくり技術（機械・電気電子・化学工業）
    研究キーワード：圧電薄膜, 強誘電体薄膜, MEMS, エナジーハーベスト
    研究内容：機能性薄膜およびその応用デバイスの作製、評価を中心に研究を進めています。 ・スパッタ法による酸化物薄膜作製および結晶構造、電気特性評価 ・PZT系およびKNN系圧電薄膜の作製およびその圧電特性向上 ・圧電薄膜を用いたMEMSデバイスの設計、試作、評価 ・全固体薄膜リチウムイオン電池の作製、および評価 ・強誘電体薄膜の光触媒効果 ・微小流体デバイスを用いた細胞電位評価
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