研究活動情報

• 2024年11月 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門部門一般表彰／若手優秀講演フェロー賞 ファイナリスト

  共同研究・競争的資金等の業績ID対象リソースIRI


• 2020年09月 一般社団法人 電気学会 センサ・マイクロマシン部門, 電気学会 センサ・マイクロマシン部門 総合研究会 優秀論文発表賞, 機械的ストレスが植物寄生性線虫の感染に与える影響の解析

  肥田博隆


• 2019年11月 化学とマイクロ・ナノシステム学会, 第40回研究会 優秀研究賞, マイクロチャンバーを用いた植物寄生性線虫の集団行動の分析

  肥田 博隆, 森 仁志, 神野 伊策, 古水 千尋, 澤 進一郎


• 2019年03月 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門, ベストプレゼンテーション賞, 日本機械学会2018年度年次大会 発表題目「マイクロピラーアレイを用いた根の機械的ストレス応答の解析」

  肥田 博隆

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2018年11月 電気学会センサ・マイクロマシン部門, 優秀ポスター発表賞, 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」発表題目：機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法

  肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2010年 MHS2010 Best Poster Award

  日本国


• 2006年 MHS2006 Best Poster Award

• On‐Chip Analytical Method for Investigating Protrusive Forces in Growing Plant Roots

  Jing Li, Michitaka Notaguchi, Isaku Kanno, Hirotaka Hida

  In this study, we present an on‐chip analytical method using a microfluidic device to characterize the mechanical properties in growing roots. Roots are essential organs for plants and grow under heterogeneous conditions in soil. Especially, the mechanical impedance in soil significantly affects root growth. Understanding the mechanical properties of roots and the physical interactions between roots and soil is important in plant science and agriculture. However, an effective method for directly evaluating the mechanical properties of growing roots has not been established. To overcome this technical issue, we developed a polydimethylsiloxane (PDMS) microfluidic device integrated with a cantilevered sensing pillar for measuring the protrusive force generated by the growing roots. Using the developed device, we analyzed the mechanical properties of the roots in a model plant, Arabidopsis thaliana. The root growth behavior and the mechanical interaction with the sensing pillar were recorded using a time‐lapse microscopy system. We successfully quantified the mechanical properties of growing roots including the protrusive force and apparent Young's modulus based on a simple physical model considering the root morphology. © 2025 Institute of Electrical Engineers of Japan and Wiley Periodicals LLC.

  Wiley, 2025年05月, IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering, 20(7) (7), 1134 - 1140, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Microfluidic device integrated with a porous membrane for quantitative chemotaxis assay of plant-parasitic nematodes

  Jing Li, Sinichiro Sawa, Isaku Kanno, Hirotaka Hida

  2025年05月, Microfluidics and Nanofluidics, 29(31) (31), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

  神戸大学リポジトリ（Kernel）へのリンク


• Improvement of a haptic feedback using Pb(Zr,Ti)O3 thin films on German silver foils

  Patrick Bach, Sang-Hyo Kweon, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  Springer Science and Business Media LLC, 2023年06月, Microsystem Technologies, 29(8) (8), 1181 - 1188

  研究論文（学術雑誌）


• Transparent piezoelectric thin-film devices: Pb(Zr, Ti)O3 thin films on glass substrates

  Kazuki Ueda, Sang-Hyo Kweon, Hirotaka Hida, Yoshiharu Mukouyama, Isaku Kanno

  Elsevier BV, 2021年08月, Sensors and Actuators A: Physical, 327, 112786 - 112786

  研究論文（学術雑誌）


• Method for Analyzing an Infection Process of Plant-parasitic Nematodes Using a Microfluidic Device

  Hirotaka Hida, Rika Ebara, Shumpei Hayashi, Isaku Kanno, Chihiro Furumizu, Shinichiro Sawa

  Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 2021年05月, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 141(5) (5), 141 - 146

  研究論文（学術雑誌）


• フレキシブルPZT圧電薄膜を用いたエナジーハーベスタのウェアラブル応用

  原田 燎, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆, 神野 伊策

  In this study, we fabricate and evaluate piezoelectric energy harvesters (PEH) for the wearable power sources fabricated from Pb(ZrTi)O₃ (PZT) thin films on stainless steel foils. The PZT thin films were deposited onto (Pb,La)TiO₃/Pt/Ti-coated stainless steel substrate by RF-magnetron sputtering. Parallel and series connection of each PEH enabled the increase of output power sufficient for turning on a LED.

  一般社団法人 日本機械学会, 2020年, 年次大会, 2020, J22202, 日本語


• Crystallographic contributions to piezoelectric properties in PZT thin films

  Goon Tan, Kazuki Maruyama, Yuya Kanamitsu, Shintaro Nishioka, Tomoatsu Ozaki, Toshihito Umegaki, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2019年, Scientific Reports, 9, 7309, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

  神戸大学リポジトリ（Kernel）へのリンク


• The Piezoelectric PZT Thin Films Deposited on Metal Substrates

  T Ito, T Nishi, T Umegaki, H Hida, I Kanno

  2018年07月, Journal of Physics: Conference Series, 1052(1) (1), 012094, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• ON-CHIP MECHANICAL STRESS TEST ON PLANT ROOT GROWTH

  Dai Nishiwaki, Hirotaka Hida, Isaku Kanno, Michitaka Notaguchi

  2017年10月, The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• METHODS FOR PHYSHICAL CHARACTERIZATION OF GROWING PLANT ROOTS

  Hirotaka Hida, Katsuya Ozoe, Isaku Kanno, Michitaka Notaguchi

  2017年10月, The 21st International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2017), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Piezoelectric characterization of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films deposited on metal foil substrates by dip coating

  Hirotaka Hida, Tomohiro Hamamura, Takahito Nishi, Goon Tan, Toshihito Umegaki, Isaku Kanno

  2017年10月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56(10) (10), 10PF08, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Pb(Zr,Ti)O₃圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究

  金光 勇弥, 譚 ゴオン, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆, 神野 伊策

  公益社団法人 応用物理学会, 2017年08月, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2017.2, 1251 - 1251, 日本語


• Airflow energy harvester of piezoelectric thin-film bimorph using self-excited vibration

  Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Takahito Nishi, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2017年07月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 261, 295 - 301, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• シューズ埋め込み型圧電振動発電素子の作製・評価

  西 崇仁, 伊藤 喬, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆, 神野 伊策

  In this study, we fabricated piezoelectric vibration energy harvesters (PVEHs) composed of PZT thin films on stainless steel foils, and investigated the optimal structures for the high output power aiming for shoe-mounted power generators. The shoe-mounted PVEHs have been thought to be one of the key applications as battery-free wearable systems. As a pre-stage of shoe-mounted PVEHs, we evaluated PVEHs under sinusoidal excitation to optimize the design of the PVEHs. We studied on the theoretical model of PVEHs from electromechanical coupling system to satisfy the required specification. Thinner substrates thickness, longer length and narrower width is preferable for high output with a same size of the mass and electrode area. Theoretical model indicated that the optimal electrode length is two-third of the cantilever length and a PZT thickness is about two-fifth of the substrate thickness. We confirmed the good agreement between theoretical and experimental values.

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, 年次大会, 2017, G1600103, 日本語


• 薄膜型全固体リチウムイオン電池の作製と評価

  馬場 友章, 中山 達平, 肥田 博隆, 神野 伊策

  Lithium ion batteries are widely used in a variety of portable products because of their high energy density. Recently solid-state lithium ion batteries have been studied to solve the safety issue of liquid electrolyte. In order to realize solid state thin film batteries, we prepared electrode thin films by RF magnetron sputtering on Pt/Ti/Si substrates. In this study, LiCoO₂(LCO) cathode thin films were deposited. After annealing at 620°C, clear diffraction of (003) and (101) orientation was detected in XRD measurements. Si anode, Cyclic voltammgram showed oxidation and reduction peaks at 0.6 V, 0.01 V, respectively. We also measured the capacity of the Si thin film by the discharge-charge curves. The discharge-charge capacity of 660 μAh/(cm²・μm) and 609 μAh/(cm²・μm) could be obtained for the Si anode thin films, respectively.

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2017, I - 1, 日本語


• PZT 薄膜を用いた圧電型エナジーハーベスターの作製と評価

  伊藤 喬, 西 崇仁, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆, 神野 伊策

  This paper describes piezoelectric vibration energy harvester (PVEH). The PVEH was fabricated from Pb(ZrTi)O₃ (PZT) thin films which were deposited onto (Pb,La)TiO₃/Pt/Ti-coated stainless steel substrate by rf-magnetron sputtering. We measured output power of the PVEH as well as theoretical calculation. The output power showed maximum at the calculated optimal load resistance of 73.2 kΩ, where the output power was 1.0 μW. For the purpose of predicting output power, we tried to derive electromechanical coupling coefficient. Applying an equivalent circuit model of the energy harvester, we succeeded in deriving electromechanical coupling coefficient.

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2017, I - 2, 日本語


• Electromechanical properties of BaTiO3-xBaSnO(3) thin films prepared via combinatorial sputtering

  Hongbo Cheng, Hirotaka Hida, Jun Ouyang, Isaku Kanno

  2017年01月, CERAMICS INTERNATIONAL, 43(1) (1), 1597 - 1601, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Precise piezoelectric characterization of Pb(Hf,Ti)O-3 thin films deposited by combinatorial sputtering

  Shogo Nishio, Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2016年10月, THIN SOLID FILMS, 616, 444 - 448, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ANALYTICAL METHODS OF ROOT GROWTH BEHAVIOR USING AN ARTIFICIAL SOIL DEVICE

  Hirotaka Hida, Dai Nishiwaki, Michitaka Notaguchi, Isaku Kanno

  2016年10月, Proc. of 20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences(MicroTAS 2016), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fabrication of piezoelectric multilayer thin-film actuators

  Fumiya Kurokawa, Masaya Kishimoto, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2016年06月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 22(6) (6), 1275 - 1283, 英語

  [査読有り][招待有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Simple millimeter-scale robot using Pb(Zr, Ti) piezoelectric thin film actuator on titanium substrate

  Hirotaka Hida, Yuki Morita, Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura, Isaku Kanno

  2016年06月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 22(6) (6), 1429 - 1436, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication of piezoelectric multilayer thin-film actuators

  Fumiya Kurokawa, Masaya Kishimoto, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2016年06月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 22(6) (6), 1275 - 1283, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• FABRICATION OF FORCE SENSOR FOR STUDYING SEED GERMINATION OF PLANTS

  肥田 博隆, Shimpei Fujimoto, Tetsuya Higashiyama, Michitaka Notaguchi, Isaku Kanno

  2016年06月, Proc. of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2016 (APCOT2016), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Shoe-mounted vibration energy harvester of PZT piezoelectric thin films on metal foils

  T. Nishi, T. Ito, H. Hida, I. Kanno

  2016年, 16TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2016), 773, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Chemotaxis assay of plant-parasitic nematodes on a gel-filled microchannel device

  Hirotaka Hida, Hidetaka Nishiyama, Shinichiro Sawa, Tetsuya Higashiyama, Hideyuki Arata

  2015年12月, SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 221, 1483 - 1491, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Plant-on-a-Chip: Towards Improving Global Crop Productivity

  肥田 博隆

  2015年11月, Proceedings of The 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 英語

  [査読有り][招待有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Development of on-chip physical characterization method for root growth

  HIDA HIROTAKA, Katsuya Ozoe, Isaku Kanno, Tetsuya Higashiyama, Michitaka Notaguchi

  2015年11月, Proceedings of The 8th Plant Biomechanics International Conference, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Comparison of effective transverse piezoelectric coefficients e(31,f) of Pb(Zr,Ti)O-3 thin films between direct and converse piezoelectric effects

  Yuichi Tsujiura, Saneyuki Kawabe, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2015年10月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 54(10) (10), 1 - 10, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• METHODS OF PLANT ROOT CHARACTERIZATION UNDER VARIABLE ENVIRONMENTAL CONDITIONS TOWARD IMPROVING CROP PRODUCTIVITY

  Katsuya Ozoe, Hirotaka Hida, Isaku Kanno, Tetsuya Higashiyama, Michitaka Notaguchi

  2015年10月, Proceedings of 19th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2015), 206 - 208, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Compositional dependence of Ba(Zr0.2Ti0.8)O-3-(Ba0.7Ca0.3)TiO3 piezoelectric thin films prepared by combinatorial sputtering

  Fumiya Kurokawa, Akira Mori, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2015年08月, THIN SOLID FILMS, 588, 34 - 38, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Reliability of vibration energy harvesters of PZT thin films on stainless steel cantilevers

  Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2015年06月, Proceedings of 2015 JSME-IIP ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2015), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fabrication of piezoelectric multilayer thin-film actuators

  Fumiya Kurokawa, M. Kishimotoi, Atsuro Sadanda, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kannno

  2015年06月, Proceedings of 2015 JSME-IIP ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2015), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Development of simple microrobot using piezoelectric thin film actuator on metal substrate

  Hirotaka Hida, Yuki Moritai, Fumiya Kurokawa, Atsuro Sadanda, Yuichi Tsujiura, Isaku Kannno

  2015年06月, Proceedings of 2015 JSME-IIP ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2015), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Multilayer La-modified PbTiO3 capacitors via RF magnetron sputtering

  Fumiya Kurokawa, Yuji Imamiya, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2015年05月, JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 50(10) (10), 3631 - 3637, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Erratum: Anisotropic etching on Si{1 1 0}: Experiment and simulation for the formation of microstructures with convex corners (Journal of Micromechanics and Microengineering)

  Prem Pal, Miguel A. Gosalvez, Kazuo Sato, H. Hida, Yan Xing

  Institute of Physics Publishing, 2015年04月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 25(4) (4), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication of high-efficiency piezoelectric energy harvesters of epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 thin films by laser lift-off

  Eisaku Suwa, 肥田 博隆, 神野 伊策

  2015年, Energy Harvesting and Systems, 3, 61, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• HIGH-PRODUCTIVE FABRICATION METHOD OF FLEXIBLE PIEZOELECTRIC SUBSTRATE

  Hirotaka Hida, Shun Yagami, Akira Sakurai, Isaku Kanno

  2015年, 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 28th Vol.1, 377 - 380, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• EARLY CHARACTERIZATION METHOD OF PLANT ROOT ADAPTABILITY TO SOIL ENVIRONMENTS

  Katsuya Ozoe, Hirotaka Hida, Isaku Kanno, Tetsuya Higashiyama, Michitaka Notaguchi

  2015年, 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 28th Vol.2, 702 - 705, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• UV-LIGHT DRIVEN PIEZOELECTRIC THIN-FILM ACTUATORS

  F. Kurokawa, Y. Oochi, A. Sadanda, Y. Tsujiura, H. Hida, I. Kanno

  2015年, 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 973 - 976, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Anisotropic etching on Si{110}: experiment and simulation for the formation of microstructures with convex corners

  Prem Pal, Miguel A. Gosalvez, Kazuo Sato, H. Hida, Yan Xing

  2014年12月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 24(12) (12), 1 - 12, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MEMS Applications in Agriculture

  H. Hida, H. Nishiyama, S. Sawa, M. Notaguchi, H. Arata, T. Higashiyama, I. Kanno

  2014年12月, Proc. of The International Conference on Small Science (ICSS 2014), 英語

  [査読有り][招待有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Power generation reliability of PZT thin films on stainless-steel cantilevers

  Yuichi Tsujiura, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2014年10月, Proc. of the 4th International Workshop on Piezoelectric MEMS, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• HIGH-THROUGHPUT CHEMOTAXIS ASSAY OF PLANT-PARASITIC NEMATODE TOWARD GREEN AGRICULTURE

  H. Hida, M. Matsumura, I. Kanno, H. Nishiyama, S. Sawa, T. Higashiyama, H. Arata

  2014年10月, Proc. of 18th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences(MicroTAS 2014), 276 - 278, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Compositional dependence of (1-x)Ba(Zr0.2Ti0.8)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3 piezoelectric thin films prepared by combinatorial sputtering

  Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2014年10月, Proc. of the 4th International Workshop on Piezoelectric MEMS, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Compositional dependence of Pb(Mg

  Kurokawa Fumiya, Tsujiura Yuichi, Hida Hirotaka, Kanno Isaku

  We evaluated the compositional dependence of Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3–PbTiO3(PMN–PT) polycrystalline thin films by combinatorial sputtering. We prepared compositional gradient (1 − x)PMN–xPT polycrystalline thin films with preferential orientation along the 〈001〉 direction in the composition range of x = 0–0.62. We determined that the morphotropic phase boundary (MPB) composition of PMN–PT polycrystalline thin film existed at around x = 0.35, from the X-ray diffraction (XRD) measurements. The maximum value of relative dielectric constants (εr= 1498) was obtained at approximately x = 0.23. On the other hand, the piezoelectric coefficients (|e31,f| = 14.1 C/m²) peaked at the determined MPB composition of x = 0.35. From the results of the compositional dependence of dielectric and piezoelectric characteristics, the FOM ([Formula: see text]) of the PMN–PT (x = 0.35) thin film reached 21 GPa, which is much higher than that of the other polycrystalline piezoelectric thin films. These results suggest that PMN–PT (x = 0.35) thin film is a promising material for high-efficiency piezoelectric MEMS energy harvesters.

  Institute of Physics, 2014年09月, Jpn. J. Appl. Phys., 53(9) (9), 09PA06, 英語


• Compositional dependence of Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3–PbTiO3 piezoelectric thin films by combinatorial sputtering

  Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2014年09月, Japanese Journal of Applied Physics, 53(9) (9), 1 - 9, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Measurement of Transverse Piezoelectric Coefficient e31,f of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film with Stripe Electrodes

  Yuichi Tsujiura, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2014年08月, Proc. of the 10th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fabrication of Multi-layered PZT Piezoelectric Thin Film

  Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2014年08月, Proc. of the 10th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Reliability of vibration energy harvesters of metal-based PZT thin films

  Y. Tsujiura, E. Suwa, F. Kurokawa, H. Hida, I. Kanno

  2014年, 14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014), 557(1) (1), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• On-chip Force Measurement System for Investigating Plant-root Growth

  Hirotaka Hida, Katsuya Ozoe, Isaku Kanno, Tetsuya Higashiyama, Michitaka Notaguchi

  2014年, 2014 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Airflow energy harvesters of metal-based PZT thin films by self-excited vibration

  E. Suwa, Y. Tsujiura, F. Kurokawa, H. Hida, I. Kanno

  2014年, 14TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO AND NANOTECHNOLOGY FOR POWER GENERATION AND ENERGY CONVERSION APPLICATIONS (POWERMEMS 2014), 557(1) (1), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Measurements of wall shear stress fluctuation with the micro-fabricated hot-film sensor in a boundary layer of wall jet

  Takuya SAWADA, Osamu TERASHIMA, Yasuhiko SAKAI, Kouji NAGATA, Mitsuhiro SHIKIDA, Hirotaka HIDA, Yasumasa ITO

  2013年11月, Proceedings of 8th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fe-B-Nd-Nb metallic glass thin films for microelectromechanical systems

  T. A. Phan, H. Oguchi, M. Hara, M. Shikida, H. Hida, T. Ando, K. Sato, H. Kuwano

  American Institute of Physics（AIP）, 2013年10月, Applied Physics Letters, 103(18) (18), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ON-CHIP CHEMOTAXIS ASSAY OF PLANT-PARASITIC NEMATODE TOWARDS INCREASING GLOBAL CROP PRODUCTIVITY

  Hirotaka Hida, Hidetaka Nishiyama, Shinichiro Sawa, Tetsuya Higashiyama, Hideyuki Arata

  2013年10月, Proceedings of The 17th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS 2013), 3, 1752 - 1754, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Lead-free piezoelectric MEMS energy harvesters of (K,Na)NbO3 thin films on stainless steel cantilevers

  Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Kazufumi Suenaga, Kenji Shibata, Isaku Kanno

  2013年09月, Japanese Journal of Applied Physics, 52(9) (9), 1 - 9, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication of curved sub-micron Si structures by a combination of anisotropic etching using surfactant-added TMAH solution and FIB direct-drawn mask

  Hiroshi Tanaka, Hirotaka Hida, Kazuo Sato

  Springer-Verlag, 2013年07月, Microsystem Technologies, 19(7) (7), 1065 - 1067, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 金属カンチレバー上に成膜した圧電薄膜振動発電素子の発電特性解析

  辻浦 裕一, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  カンチレバーを機械要素とする圧電薄膜エナジーハーベスターの振動発電特性は，圧電特性だけでなく，共振周波数や振動Q値など素子の振動特性にも依存する．そこで，本研究ではエナジーハーベスターの発電性能と，素子形状及び基板材料との関係を明らかにすることを目的として，異なる金属材料を基板とするPZT薄膜エナジーハーベスターを作製し，振動発電評価を行った．

  公益社団法人 精密工学会, 2013年, 精密工学会学術講演会講演論文集, 2013, 505 - 506, 日本語


• Microfabrication of lead-free (K, Na)NbO3 piezoelectric thin films by dry etching

  F. Kurokawa, R. Yokokawa, H. Kotera, F. Horikiri, K. Shibata, M. Sato, H. Hida, I. Kanno

  2013年, 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1051 - 1054, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Lead-free piezoelectric MEMS energy harvesters of stainless steel cantilevers

  Y. Tsujiura, E. Suwa, H. Hida, K. Suenaga, K. Shibata, I. Kanno

  2013年, 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 474 - 477, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• A new metallic glass Fe-B-Nd-Nb thin film material for micro sensors and actuators: Fabrication and characterization

  P. A. Tuan, H. Oguchi, M. Hara, M. Shikida, H. Hida, T. Ando, K. Sato, H. Kuwano

  2013年, 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1040 - 1043, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Modeling of Metal-based Piezoelectric MEMS Energy Harvesters

  Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  2013年, 2013 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Design of MEMS cylindrical gyroscope integrated with piezoelectric thin film

  Kosuke Fujiwara, Hirotaka Hida, Isaku Kanno

  IEEE Computer Society, 2013年, 2013 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS 2013, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Behavior Analysis of Plant-parasitic Nematode in a Microchannel

  Hirotaka Hida, Hidetaka Nishiyama, Shinichiro Sawa, Tetsuya Higashiyama, Hideyuki Arata

  2013年, 2013 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE (MHS), 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• A technique for the measurement of wall shear stress based on micro fabricated hot-film sensor

  Takuya Sawada, Osamu Terashima, Yasuhiko Sakai, Kouji Nagata, Mitsuhiro Shikida, Hirotaka Hida, Kazuhiro Onishi, Yasumasa Ito

  2013年, ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition, Proceedings (IMECE), 7 B, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Multi-slicing of C. elegans tissue using micro-nanocutting probe based on nanomanipulation

  Masahiro Nakajima, Hirotaka Hida, Yajing Shen, Masaru Kojima, Kazuo Sato, Toshio Fukuda

  2012年, Proceedings of the IEEE Conference on Nanotechnology, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• MEMS components with perfectly protected edges and corners in Si{110} wafers

  Prem Pal, Kazuo Sato, Hirotaka Hida

  2012年, 2011 Int. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Symp. on "COE for Education and Research of Micro-Nano Mechatronics", Symposium on "Hyper Bio Assembler for 3D Cellular System Innovation", 55 - 59, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Experimental procurement of the complete 3D etch rate distribution of Si in anisotropic etchants based on vertically micromachined wagon wheel samples

  M. A. Gosalvez, Prem Pal, N. Ferrando, H. Hida, K. Sato

  2011年12月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 21(12) (12), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Increase in mechanical strength by scalloping removal

  Kayo Hamaguchi, Hirotaka Hida, Mitsuhiro Shikida, Kazuo Sato

  2011年, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 358 - 361, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fabrication of novel microstructures based on orientation-dependent adsorption of surfactant molecules in a TMAH solution

  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez, B. Tang, H. Hida, M. Shikida

  2011年01月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 21(1) (1), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Study of surfactant-added TMAH for applications in DRIE and wet etching-based micromachining

  B. Tang, M. Shikida, K. Sato, P. Pal, H. Amakawa, H. Hida, K. Fukuzawa

  2010年06月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20(6) (6), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Assembly of skeletal muscle cells on a Si-MEMS device and their generative force measurement

  Kazunori Shimizu, Hikaru Sasaki, Hirotaka Hida, Hideaki Fujita, Kei Obinata, Mitsuhiro Shikida, Eiji Nagamori

  2010年04月, BIOMEDICAL MICRODEVICES, 12(2) (2), 247 - 252, 英語

  研究論文（学術雑誌）


• Microfabricated 3D flexible tactile sensor with table-shaped structure for intelligent robot fingers

  Jeong Il Lee, Hirotaka Hida, Mitsuhiro Shikida, Kazuo Sato

  2010年, 2010 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science: From Micro and Nano Scale Systems to Robotics and Mechatronics Systems, MHS 2010, Micro-Nano GCOE 2010, Bio-Manipulation 2010, 417 - 419, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• DEVELOPMENT OF PEN-SHAPED PORTABLE BIOCHEMICAL REACTION SYSTEM BASED ON MAGNETIC BEADS HANDLING

  N. Inagaki, H. Hida, M. Shikida, M. Okochi, H. Honda, K. Sato

  2010年, MEMS 2010: 23RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 1091 - 1094, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Surfactant Adsorption on Single-Crystal Silicon Surfaces in TMAH Solution: Orientation-Dependent Adsorption Detected by In Situ Infrared Spectroscopy

  Prem Pal, Kazuo Sato, Miguel A. Gosalvez, Yasuo Kimura, Ken-Ichi Ishibashi, Michio Niwano, Hirotaka Hida, Bin Tang, Shintaro Itoh

  2009年12月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 18(6) (6), 1345 - 1356, 英語

  研究論文（学術雑誌）


• Development of Self-vibration/detection AFM Probe Using Quartz Tuning fork

  Hirotaka Hida, Mitsuhiro Shikida, Kenji Fukuzawa, Shirou Murakami, Kenji Sato, Kazuo Asaumi, Yasuroh Iriye, Kazuo Sato

  2009年05月, IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4(3) (3), 378 - 385, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution

  Bin Tang, Miguel A. Gosalvez, Prem Pal, Shintaro Itoh, Hirotaka Hida, Mitsuhiro Shikida, Kazuo Sato

  2009年, 20th Anniversary MHS 2009 and Micro-Nano Global COE - 2009 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, 48 - 52, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Micromachined tube-type of Si droplet generator

  H. Hida, N. Inagaki, M. Koyama, M. Shikida, K. Sato

  2009年, TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 386 - 389, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Surfactant in TMAH for new shapes of silicon MEMS components; its orientation dependent adsorption detected by infrared spectroscopy

  P. Pal, K. Sato, H. Hida, M. A. Gosalvez, Y. Kimura, K. Ishibashi, M. Niwano

  2009年, TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 751 - 754, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• INTEGRATION OF SKELETAL MUSCLE CELL ONTO SI-MEMS AND ITS GENERATIVE FORCE MEASUREMENT

  K. Shimizu, H. Sasaki, H. Hida, H. Fujita, K. Obinata, M. Shikida, E. Nagamori

  2009年, IEEE 22ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2009), 403 - 406, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fabrication of a quartz tuning-fork probe with a sharp tip for AFM systems

  H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, S. Murakami, Ke. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye, Ka. Sato

  2008年11月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 148(1) (1), 311 - 318, 英語

  研究論文（学術雑誌）


• Development of self-vibration and -detection AFM probe by using quartz tuning fork

  H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, A. Ono, K. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye, T. Muramatsu, Y. Horikawa, K. Sato

  2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 4(3) (3), 378 - 385, 英語

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Quartz tuning-fork type AFM probe operated in anti-phase vibration mode

  H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, A. Ono, K. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye, K. Sato

  2006年, 2006 IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICRO-NANOMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 355 - +, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Proposal of new type of micro-machined quartz tuning fork AFM probe

  H Hida, M Shikida, K Fukuzawa, A Ono, O Sato, K Asaumi, Y Iriye, D Cheng, K Sato

  2005年, MEMS 2005 MIAMI: TECHNICAL DIGEST, 323 - 326, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fabrication and characterization of AFM probe with crystal-quartz tuning fork structure

  H Hida, M Shikida, K Fukuzawa, A Ono, K Sato, K Asaumi, Y Iriye, D Cheng, K Sato

  2005年, Proceedings of the 2005 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, 97 - 101, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）

• 酵母の個体差の解析を目的とした空圧バルブ付きマイクロ流体デバイスの開発

  藤原稜平, KAHAR Prihardi, 荻野千秋, 神野伊策, 肥田博隆

  2023年, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集(CD-ROM), 48th


• マイクロデバイス上で植物を理解する—Plant on a chip : MEMS applications in botany—特集 農業用センサーの開発と利用

  肥田 博隆

  東京 : 北隆館, 2022年03月, アグリバイオ = Agricultural biotechnology, 6(3) (3), 224 - 228, 日本語


• 酵母の個別解析のためのバルブ付きマイクロ流体デバイスの開発

  矢郷望, KAHAR Prihardi, 荻野千秋, 神野伊策, 肥田博隆

  2022年, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集(CD-ROM), 46th


• 4-2-4 Mechanical properties of Arabidopsis thaliana roots under boron or sucrose supply（4-2 植物の微量栄養素 2021年度北海道大会）

  王 韵書, 林 駿平, 三輪 京子, 肥田 博隆, 藤原 徹

  一般社団法人 日本土壌肥料学会, 2021年09月03日, 日本土壌肥料学会講演要旨集, 67, 60 - 60, 日本語


• 圧電スピーカの設計，試作および評価に関する研究

  吉田 淳之助, Patrick Bach, 神野 伊策, 肥田 博隆

  In this study, we designed, fabricated and evaluated a piezoelectric thin-film loudspeaker. To enhance the acoustic output in the low frequency range, the device design was optimized by finite element analysis. The prototype speaker was fabricated using the piezoelectric PZT thin film deposited on a stainless steel substrate using RF magnetron sputtering. The vibration displacement and output sound pressure of the completed device were measured as a function of frequency. The measured SPL increased in proportion to the frequency below the resonance. Above the resonance frequency, the SPL was constant independent of frequency. It achieved a sound pressure level of 65 dB at the resonance frequency of 726 Hz. SPL was calculated from the displacement and we confirmed that the calculated results of the frequency response of SPL were in good agreement with the measurement results.

  一般社団法人 日本機械学会, 2021年, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2021, IIP1A3-1, 日本語


• 4-1-39 Arabidopsis root adaption to sucrose（4-1 植物の多量栄養素 2020年度岡山大会）

  林 駿平, 三輪 京子 京子, 肥田 博隆, 藤原 徹

  一般社団法人 日本土壌肥料学会, 2020年09月01日, 日本土壌肥料学会講演要旨集, 66, 49 - 49, 日本語


• 20335 植物の根の力学特性と成長に関する基礎的研究 その1：マイクロピラーを用いたシロイヌナズナの根の力学特性推定法の開発

  藤原 徹, バイヤー マルセル, 肥田 博隆

  日本建築学会, 2020年09月, 構造I, (2020) (2020), 681 - 684, 日本語


• ガラス基板上のPb(Zr, Ti)O₃圧電薄膜作製

  上田 一貴, 肥田 博隆, 神野 伊策

  公益社団法人 応用物理学会, 2020年08月26日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2020.2, 878 - 878, 日本語


• フレキシブルPZT圧電薄膜を用いたエナジーハーベスタのウェアラブル応用

  原田燎, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策

  2020年, 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM), 2020


• フレキシブルPZT圧電薄膜 エナジーハーベスタの作製および評価

  原田 燎, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆, 神野 伊策

  Interest in energy harvesters has grown rapidly over the last decade. In this study, we fabricate and evaluate piezoelectric energy harvesters (PEH) fabricated from Pb(ZrTi)O3 (PZT) thin films on stainless steel foils. The PZT thin films were deposited onto (Pb,La)TiO3/Pt/Ti-coated stainless steel substrate by RF-magnetron sputtering. Parallel and series connection of eachPEH enabled the output power increase as high as turning on a LED.

  一般社団法人 日本機械学会, 2020年, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2020, 2A06, 日本語


• マイクロチャンバーを用いた植物寄生性線虫の集団行動の分析

  肥田博隆, 森仁志, 神野伊策, 古水千尋, 澤進一郎

  2020年, 化学とマイクロ・ナノシステム, 19(1) (1)


• 機械的ストレスが植物寄生性線虫の感染に与える影響の解析

  肥田博隆, 江原りか, 神野伊策, 古水千尋, 澤進一郎

  2020年, 電気学会研究会資料, (BMS-20-017-029) (BMS-20-017-029)


• Plant-on-a-chip：植物はチップに「根差す」か？

  肥田 博隆

  2019年10月, 化学とマイクロ・ナノシステム学会誌, 18(2) (2), 20 - 20, 日本語

  [招待有り]

  記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）


• PZT薄膜を用いた圧電型MEMSスピーカーの作製

  辻 悠太, 肥田 博隆, 神野 伊策

  In this study, we fabricated the piezoelectric microelectromechanical systems (MEMS) speakers with Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT) thin films. In order to improve the performance of piezoelectric speakers, we fabricated the 2 mm square MEMS speaker with a diaphragm structure of PZT/Si and photosensitive polyimide. The optimal structure was investigated by finite element method (FEM) simulation. The 2 μm thick PZT thin films were deposited on SOI wafers by radio frequency (RF) magnetron sputtering, and microfabricated into unimorph diaphragm. We measured the vibration amplitude of the piezoelectric MEMS speakers as a function of frequency. We confirmed that the resonance frequency was 25.6 kHz that is out of audible range. In addition, the speaker could generate large sound pressure level (SPL) of 82 dB at 6 V_pp.

  一般社団法人 日本機械学会, 2019年, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019.10, 19pm5PN312, 日本語


• PZT圧電薄膜を用いた圧電トランスの設計，試作および評価

  谷 和樹, 肥田 博隆, 神野 伊策

  In this research, we designed, fabricated and evaluated a PZT thin-film piezoelectric MEMS transformer. First, the disk-shaped device with the ring-dot structure was designed using Finite Element Method (FEM) analysis. At this time, since the piezoelectric transformer is driven in resonance, we confirmed resonance frequency and vibration mode of the transformer. Next, a PZT thin film was deposited on a silicon on insulator (SOI) substrate using RF magnetron sputtering method, and then microfabricated into a piezoelectric transformer. Finally, we measured the impedance and transformation properties of the piezoelectric MEMS transformer. The resonance frequency was observed at 4.57 MHz, and the transformation ratio was found to be about 0.3.

  一般社団法人 日本機械学会, 2019年, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2019.10, 19pm5PN318, 日本語


• マイクロチャンバーを用いた植物寄生性線虫の集団行動の分析

  肥田博隆, 森仁志, 神野伊策, 古水千尋, 澤進一郎

  2019年, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 40th


• 機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法—Analytical method for developmental process of growing root systems under mechanical stress

  肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝

  [東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan, 2018年, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 4p, 日本語


• ディップコート法によるステンレス箔上へのPZT薄膜の作製

  濱村 朋広, 肥田 博隆, 神野 伊策

  公益社団法人 応用物理学会, 2017年03月01日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2017.1, 1271 - 1271, 日本語


• シューズ埋め込み型圧電振動発電素子の作製・評価

  西崇仁, 伊藤喬, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策

  2017年, 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM), 2017


• Pb(Zr,Ti)O₃圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究

  金光勇弥, TAN Goon, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策

  2017年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 78th


• 多チャネルパッチクランプを目的とした微小流体デバイスの作製および評価

  青木 崇, 肥田 博隆, 神野 伊策, Maturana Andres

  This paper presents a novel microfluidic device for high throughput ion-channel analysis. To analyze the electrophysiological properties of cells efficiently, we designed the electrically independent microchannels on the microfluidic device. The microfluidic device is composed of a silicon-on-insulator (SOI) layer having the trap holes with 9 or 12 μm diameter, poly-dimethylsiloxane (PDMS) microchannel chips and glass substrate with Pt electrodes. We successfully trapped the multiple cells on one device without damage by applying negative pressure to the microchannels with a syringe pump. Finally, we confirmed that the each trap hole was strongly sealed with the cell by measuring the electrical impedance, which was more than 1 GΩ, namely gigaseal.

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2017.8, PN-27, 日本語


• バイモルフ型 PZT 圧電薄膜 MEMS マイクロフォンの作製

  福本 尚輝, 肥田 博隆, 神野 伊策

  In this study, we fabricated the microelectromechanical systems (MEMS) microphones composed of piezoelectric Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT) thin-film bimorphs. To improve the sensitivity of the piezoelectric MEMS microphone, we designed the PZT bimorph cantilevers by using a finite element method (FEM) simulation. The dimensions of the PZT bimorphs are 1000 μm in width and 280 μm in length. The two layers of 1-μm-thick PZT thin films were deposited on Si substrates by radio frequency (RF) magnetron sputtering and formed into the cantilevers by dry etching. To evaluate the frequency responses, we measured the vibration amplitude of the PZT bimorphs oscillated by applying the negative AC voltage. The piezoelectric microphone was demonstrated by detecting the output signal owing to the direct piezoelectric effect when the sound pressure was applied. We confirmed that the output signal of the piezoelectric microphone was proportionally increased by increasing the applied sound pressure.

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2017.8, PN-97, 日本語


• インセクトスケールロボットを目的とした圧電薄膜アクチュエータの作製

  西村 望, 肥田 博隆, 神野 伊策

  Recently, development of insect scale robots has been attracting attention. These robots are expected to be used for inspection or sensing in narrow and danger places where human cannot enter. In this study, we fabricated and evaluated piezoelectric thin film actuators intended for flapping wing insect scale robot. We firstly report a FEM analysis results of piezoelectric PZT thin-film actuators. To verify this analysis results, we deposited PZT thin films on micro-fabricated stainless steel substrates and evaluated their crystal structure, electrical properties, and piezoelectric properties of PZT thin films. X-ray diffraction measurements reveal that the PZT thin films have a polycrystalline perovskite structure. The relative dielectric constant of the PZT thin films was 240. FEM analysis results are in good agreement with the resonant frequency. The angular displacement are less than 1° in all measurement points driven by resonant frequency (5V_pp, 2.095 and 2.257 kHz).

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, 年次大会, 2017, G1600102, 日本語


• 低電圧駆動が可能な PZT 薄膜型マイクロポンプの作製

  肥田 博隆, 神野 伊策

  We fabricated a new diaphragm micropump composed of the piezoelectric Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT) thin films on the stainless-steel (SS) foil substrates to reduce the driving voltage. To miniaturize and simplify the micropump structure, the diaphragm and microchannel with diffusers were monolithically formed on the 30-μm-thick SS substrates by photolithography and wet etching. We directly deposited the 1-μm-thick PZT thin films on the SS diaphragm by dip coating with a sol-gel solution. To evaluate the driving characteristics of the fabricated micropump, the SS diaphragm was actuated by applying AC voltage to the PZT thin films. The displacement of the 9-μm-thick SS diaphragm was 1.7 μm with 10 V_pp-driving voltage at 1 Hz.

  一般社団法人 日本機械学会, 2017年, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2017.8, PN-8, 日本語


• Pb(Zr,Ti)O₃圧電薄膜の逆圧電効果による結晶構造変化のその場観察

  TAN Goon, 丸山和樹, 金光勇弥, 西岡慎太郎, 小金澤智之, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策

  2017年, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 78th


• KNN薄膜を用いた光起電力特性評価

  大地 優平, 肥田 博隆, 神野 伊策

  公益社団法人 応用物理学会, 2016年09月01日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2016.2, 1236 - 1236, 日本語


• 圧電薄膜振動子を用いたシリンダー型MEMSジャイロスコープの特性評価

  肥田 博隆, 富士原 考裕, 神野 伊策

  In this study, we fabricated a microelectromechanical systems (MEMS) cylindrical gyroscope integrated with piezoelectric thin-film for sensing/driving elements. The cylindrical gyroscope has several advantages: (1) the sensitivity can be improved due to the high Q-factor. (2) we can eliminate an initial output signal from the sensing electrodes. We characterized the resonant characteristics of the cylindrical gyroscope in wine-glass mode and the Q-factor was 723 at 36.13 kHz under atmospheric pressure. In addition, we experimentally confirmed that the mechanical vibration of the gyroscope can be measured by detecting the electrical signal due to the piezoelectric effect of Pb(Zr,Ti)O₃ (PZT).

  一般社団法人 日本機械学会, 2016年, 年次大会, 2016, J2230103, 日本語


• 30pm1-E-4 圧電薄膜アクチュエータを用いたインセクトスケール圧電ロボットの作製と評価

  岩崎 拓実, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  This paper describes the fabrication and characterization on insect-scale piezoelectric thin-film robots. Recently, many insect-scale robots are being developed for medical and engineering field. However, they need a power source and are expensive due to complex structures. In this study, we fabricated an insect-scale robot driven at low voltage and characterized them. We deposited PZT thin films on cantilever-shaped stainless steel (SUS304) substrates, and assembled them into a three-leg insect-scale robot. From experimental results, a robot with no load moved at 2.25 mm/s by applying 13 V_ unipolar square-wave voltage at 190 Hz. In contrast, a robot with 72.8 mg mass moved at 3.03 mm/s by applying 20 V_ voltage at 156 Hz. We successfully realized an insect-scale piezoelectric thin-film robot driven at low voltage.

  一般社団法人日本機械学会, 2015年10月21日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015(7) (7), "30pm1 - E-4-1"-"30pm1-E-4-2", 日本語


• 2A2-R08 圧電薄膜の転写技術を用いたソフトアクチュエータの開発

  肥田 博隆, 櫻井 陽, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 神野 伊策

  We developed novel soft actuators using piezoelectric thin films. To realize low-cost fabrication method, we also developed a new transfer technique of piezoelectric thin films, which was deposited on temporary stainless steel substrate, to PDMS substrate by using wet etching process. By characterizing crystal structure and driving performance as actuators, we experimentally clarified that transferred Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films have piezoelectric properties. This method might allow us to develop novel MEMS (micro-electro-mechanical systems) devices such as artificial muscle at low-cost fabrication in future.

  一般社団法人日本機械学会, 2015年05月17日, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2015, "2A2 - R08(1)"-"2A2-R08(2)", 日本語


• Anisotropic etching on Si{1 1 0}: experiment and simulation for the formation of microstructures with convex corners (vol 24, 125001, 2014)

  Prem Pal, Miguel A. Gosalvez, Kazuo Sato, H. Hida, Yan Xing

  2015年04月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 25(4) (4), 英語

  その他


• スパッタ法を用いたLi₄Ti₅O₁₂薄膜の作製とその評価

  岡本一真, 黒川文弥, 肥田博隆, 神野伊策, 水畑穣

  2015年, セラミックス基礎科学討論会講演要旨集, 53rd


• 22am2-E3 金属基板上PZT薄膜を用いた振動発電素子の信頼性評価に関する研究

  辻浦 裕一, 黒川 文弥, 諏訪 英作, 肥田 博隆, 神野 伊策

  This paper describes the reliability of vibration energy harvesters of metal-based Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films. Metal foil cantilevers have attracted attention to improve the lifetime of vibration energy harvesters because of their strong fracture strength. However, the long-term reliability of vibration energy harvesters has not been investigated intensively. In this study, we fabricated the PZT thin-film vibration energy harvesters based on metal foil cantilevers (length: 10 mm, width: 2.5 mm, thickness: 30 μm) and measured their output power for one thousand minutes. From the experimental results, we confirmed that the vibration energy harvester showed quite low degradation of approximately 0.31% by every decade on a logarithmic time scale at the acceleration of 1 m/s^2. On the other hand, we could not demonstrate the precise relationship between the output power and excitation acceleration because of the variation in measured data.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "22am2 - E3-1"-"22am2-E3-2", 日本語


• 22am2-E1 圧電薄膜を用いた自励振動型気流発電素子の作製および評価

  諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  We fabricated self-excited vibration energy harvesters of Pb(Zr, Ti)O_3 (PZT) thin films using air flow. To generate a large self-excited vibration, we use 30-μm-thickness stainless steel (SS304) foils as base substrates of PZT thin films. The PZT thin films were deposited directly by rf-magnetron sputtering. To compensate the initial bending of PZT/SS304 substrates due to the thermal stress, we deposited the counter PZT thin films on the backside of SS304 substrates. When the angle of attack was 30°, the energy harvester generated the self-excited vibration above the wind speed of 8 m/s, and the output power reached 19 μW at the wind speed of 12 m/s.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "22am2 - E1-1"-"22am2-E1-2", 日本語


• 20pm1-E3 金属基板上圧電薄膜アクチュエータを用いたミリメータスケールロボットの作製

  森田 勇樹, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  We fabricated the millimeter-scale robot by metal-based PZT thin-film actuator. PZT thin films were directly deposited on 50-μm-thick Ti substrates by rf-magnetron sputtering. Piezoelectric actuators have simple structure and drive by low voltage. Therefore, in recent year, the robot using piezoelectric materials have been studied. However, piezoelectric actuators cannot generate a large displacement. In this study, we fabricated the millimeter-scale robot(7.5×2.5 cm^2) actuated using resonance since the largest displacement can be generated at the resonance. The movement of the robot depends on the angle between front and rear legs θ and the frequency f of the applied voltage. Under the condition of θ = 123° and f = 10.6 kHz, the robot moved forward at a speed of 6.74 cm/s. On the other hand, under the condition of θ = 123° and f = 5.4 kHz, the robot moved backward at a speed of 1.21 cm/s.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "20pm1 - E3-1"-"20pm1-E3-2", 日本語


• 21am2-A8 ウエットエッチングによる圧電薄膜のPDMS基板上への転写技術

  肥田 博隆, 八神 瞬, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 神野 伊策

  This paper reports a simple and high-productive fabrication method of flexible piezoelectric substrate. To realize low-cost fabrication method, we developed a novel transfer technique of piezoelectric thin films onto PDMS substrate based on metal wet etching process. We experimentally clarified that transferred Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films by using our developed method have piezoelectric property. This method might allow us to develop novel MEMS (micro-electro-mechanical systems) devices such as wearable sensors and flexible energy harvesters at low-cost fabrication.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "21am2 - A8-1"-"21am2-A8-2", 日本語


• 20pm1-E2 正・逆圧電効果によるPZT薄膜の圧電定数e_<31,f>の評価

  河邊 真之, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  We evaluated the transverse piezoelectric coefficient e_<31,f> of Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin films from direct and inverse piezoelectric effects using cantilever methods. The PZT/Si unimorph cantilevers (length: 17.8 mm, width: 2.0 mm, thickness: 628 μm) were fabricated by depositing the PZT thin films and the stripe-shaped Pt top electrodes on Pt/Ti/Si substrates by rf-magnetron sputtering. From the e_<31,f> measurement, we confirmed that e_<31,f> largely depended on frequency in both direct and inverse effects. In cases where evaluated from direct piezoelectric effect, e_<31,f> was independent of position and size of electrode and input displacement, and calculated to be -6 C/m^2 above 20 Hz. On the other hand, e_<31,f> evaluated from inverse piezoelectric effect increased with applied voltage, and calculated to be as high as -12 C/m^2 below 500 Hz.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年10月20日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014(6) (6), "20pm1 - E2-1"-"20pm1-E2-2", 日本語


• 植物寄生性センチュウのハイスループット化学走性分析用デバイス

  肥田博隆, 松村匡隆, 神野伊策, 西山英孝, 澤進一郎, 東山哲也, 新田英之

  2014年05月22日, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 29th, 53, 日本語


• 着脱式マイクロ流路チップを用いたゾル-ゲル法によるPZT薄膜の直接パターニング技術

  肥田 博隆, 八神 瞬, 神野 伊策

  公益社団法人 応用物理学会, 2014年03月03日, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 2014.1, 141 - 141, 日本語


• スパッタ法を用いたLi₄Ti₅O₁₂薄膜の作製とその評価

  岡本一真, 黒川文弥, 肥田博隆, 神野伊策, 水畑穣

  2014年, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 61st


• Measurement of Wall Shear Stress by Using Micro-Fabricated Hot Film and Floating-Element Sensors

  O. Terashima, T. Sawada, Y. Sakai, K. Nagata, H. Hida, M. Shikida

  To establish a technique to measure the wall shear stress with high accuracy, along with the spatial and temporal resolutions, micro-scale sensors are fabricated and their responses to the wall shear stress are investigated. In this study, two types of micro-scale sensors are fabricated: a hot-film (HF)-type sensor and a floating-element (FE)-type sensor. First, the HF sensor is calibrated using a rotating cylinder. The calibration results show that the heating power of a constant temperature circuit (CTC) increases with the wall shear stress. The relationship between the square of the heating power of CTC (E₁²) and the wall shear stress to the 1/3 power (τ_w^1/3) becomes linear in the range τ_w^1/3 > 0.35 Pa^1/3 as theoretically predicted. Second, the calibration of the FE sensor is performed using the Stokes layer excitation method. The calibration results show that the output voltage of the C-V conversion circuit connected to the FE sensor E₂ is almost proportional to the wall shear stress τ_w as expected in the range τ_w > 2.5 × 10^-4 Pa for 100 Hz stokes layer excitation and τ_w > 5.0 × 10^-4 Pa for that of 200 Hz.

  The Japanese Society for Experimental Mechanics, 2013年12月, Journal of the Japanese Society for Experimental Mechanics, 13(Special Issue) (Special Issue), S1-S6 - s6, 英語

  [査読有り]

  速報，短報，研究ノート等（学術雑誌）


• 6AM2-A-8 スパッタ法で作製したPZT薄膜積層アクチュエータ(6AM2-A マイクロナノプロセス技術I(センサシンポジウムとの合同セッション))

  岸本 真哉, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  We fabricated multilayer ceramic actuator (MLCA) composed of piezoelectric layers with SrRuO_3 (SRO) internal electrodes by single sputtering deposition. We deposited approximately 500-nm-thick Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) layers on SiO_2/Si substrates through a movable shadow mask. The separated internal SRO electrodes are prepared by sliding the shadow mask and multilayered PZT thin films are deposited on a Si substrate with external electrodes on both sides of the PZT films. The PZT layers of MLCA have perovskite structure. The MLCA with five PZT layers have high-dielectric properties; a relative electric coefficient of approximately 1100 regardless of the number of PZT layers. The piezoelectric displacement of Si cantilever with MLCA increased with the number of PZT layers.

  一般社団法人日本機械学会, 2013年11月04日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013(5) (5), 107 - 108, 日本語


• 5PM1-C-6 植物寄生性センチュウの行動分析用マイクロ流路デバイス : 流路規格および流路内物質濃度分布の検証(5PM1-C 細胞工学とマイクロ流体デバイス)

  肥田 博隆, 西山 英孝, 澤 進一郎, 神野 伊策, 東山 哲也, 新田 英之

  We present a novel method for chemotaxis assay of plant-parasitic nematode, Meloidogyne incognita by using a PDMS (polydimethylsiloxane) microchannel device. For allowing the nematodes to swim in a simple microchannel, we also developed a protocol by loading an agarose gel into microchannel with power-free pumping method. A 5-μm-wide microchannel array, which is narrower than the body width of the nematodes, can efficiently confine the nematodes in analyzed area. We numerically evaluated the chemical concentration distribution in developed microchannel and successfully related the time-dependent chemical condition to the behavior of nematodes.

  一般社団法人日本機械学会, 2013年11月04日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013(5) (5), 35 - 36, 日本語


• J212011 コンビナトリアル成膜法によるPMN-PT薄膜の組成依存性評価([J212-01]マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用(1))

  黒川 文弥, 辻浦 裕一, 冨岡 宏平, 肥田 博隆, 神野 伊策

  In this study, we deposited Pb(Mg_<1/3>Nb_<2/3>)03-PbTi03 (PMN-PT) thin films on PbTiO_3/Pt/Ti/Si substrates by combinatorial sputtering to optimize the composition ratio of PMN-PT thin films. Compositional gradient PMN-PT thin films were deposited by multi target co-sputtering, namely combinatorial sputtering, and pyrocholre-free PMN-PT thin films with rondom orientation were prepared on PbTiO_3/Pt/Ti/Si substrates. PT compositional ratio is ranging from 0.25 to 0.57, which coverd MPB composition of bulk PMN-PT ceramics (PT = 0.33). We confirmed that relative dielectric constants increase with decreasing PT ratio in PMN-PT films. On the other hand, the PMN-PT thin films showed the maximum piezoelectric coefficients|e_<31,f>| = 7〜8 C/m^2 around PMN-0.45PT, which is shifted from MPB composition of PMN-PT bulk ceramics.

  一般社団法人日本機械学会, 2013年09月08日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2013, "J212011 - 1"-"J212011-4", 日本語


• J161013 ステンレス基板上圧電薄膜を用いたMEMSエナジーハーベスター([J161-01]マイクロナノメカトロニクス(1))

  辻浦 裕一, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  We developed piezoelectric thin-film MEMS energy harvesters using stainless steel (SUS430) cantilevers to improve fracture toughness as well as to lower the resonant frequency. The large fracture toughness of SUS430 cantilevers overcomes the breakdown of the cantilevers and ensures the long lifetime of the energy harvesters. To simplify the fabrication process, the piezoelectric Pb(Zr,Ti)O_3 (PZT) thin film was directly deposited on the microfabricated SUS430 cantilevers with a 30-μm-thick beam and a tip mass by rf-magnetron sputtering. The X-ray diffraction (XRD) measurement revealed that the PZT thin film has perovskite structure with random orientations. The relative dielectric constant ε_r and the transverse piezoelectric coefficient е_<31,f> were respectively evaluated to be 325 and -4.0 C/m^2, which indicates the figure of merit (FOM) of 0.049. From the evaluation of power generation performance for the PZT thin-film energy harvester (beam length: 5.5 mm, width: 5.0 mm, mass length: 2.0 mm), its maximum output power was 6.8 μW (power density: 1.7 μW/mm^3) under conditions of 367 Hz and 10 m/s^2.

  一般社団法人日本機械学会, 2013年09月08日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2013, "J161013 - 1"-"J161013-5", 日本語


• Fe‐B‐Nd‐Nb金属ガラス薄膜の破壊靭性評価

  TUAN P.A, 大口裕之, 原基揚, 式田光宏, 肥田博隆, 安藤妙子, 佐藤一雄, 桑野博喜

  2013年09月07日, 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM), 2013, ROMBUNNO.J211023, 日本語


• On the Measurement of Wall Shear Stress with a Micro-Fabricated Hot-Film Sensor

  T. Sawada, O. Terashima, Y. Sakai, K. Nagata, M. Shikida, H. Hida, K. Onishi, Y. Ito

  The 4th International Conference on Jets, Wakes and Separated Flows (The 4th ICJWSF)
  September 17-21, 2013, Nagoya Univ.

  2013年09月, Proc. of the 4th International Conference on Jets, Wakes and Separated Flows (The 4th ICJWSF), CD-ROM, ICJWSF2013-1015 (4pages), 英語

  [査読有り]

  研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）


• 植物寄生性センチュウの化学走性分析用マイクロ流路デバイス

  肥田博隆, 西山英孝, 澤進一郎, 東山哲也, 新田英之

  2013年05月23日, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 27th, 41, 日本語


• S053073 マイクロセンサを用いた壁面せん断応力の計測に関する研究

  沢田 拓也, 寺島 修, 酒井 康彦, 長田 孝二, 肥田 博隆, 式田 光宏

  The technique for measuring the wall shear stress accurately is developed with two types of micro-scale sensor fabricated with MEMS technique. One of the sensors is a thermal type sensor which is based on the quantity of heat diffusion from thin hot film (hereafter called "HF sensor"). The other is a floating type sensor which is based on the electric capacity variety by displacement of the floating element (hereafter called "FE sensor"). To calibrate these sensors, two types of calibration instruments are manufactured. One is an instrument which generates the flow by rotating the cylinder above the flat plate (hereafter called "Cylinder instrument"). Another is an instrument which generates the wall shear stress by Stokes Layer using plane acoustic wave is used (hereafter called "Stokes Layer instrument"). The result of HF sensor calibration shows that the sensor output increases with wall shear stress. Moreover, the square of the sensor output voltage is proportional to 1/3 power of wall shear stress on the hot film, which is consistent with the heat transfer theory. The preliminary experiment results of FE sensor indicates that sensor output voltage seems to increase with the wall shear stress.

  一般社団法人 日本機械学会, 2012年, 年次大会, 2012(0) (0), _S053073 - 1-_S053073-5, 日本語


• 国際会議報告：APCOT2010 国際会議報告

  肥田 博隆

  一般社団法人 電気学会, 2010年, 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）, 130(11) (11), 552 - 552, 日本語


• W2201 第一回マイクロ・ナノ工学専門会議若手サマースクール(ワークショップ)

  桑野 博喜, 古賀 章浩, 橋口 原, 岡田 亮二, 矢吹 聡一, 兵頭 健生, 式田 光宏, 肥田 博隆, 今本 浩史, 宮島 博志, 川原 伸章

  一般社団法人 日本機械学会, 2010年, 年次大会講演資料集, 2010, 251 - 252, 日本語


• 305 マイクロレバー型MEMSを用いた培養骨格筋細胞の収縮力測定法の開発(OS11-1:マイクロ・ナノバイオメカニクス(1),OS11:マイクロ・ナノバイオメカニクス)

  清水 一憲, 佐々木 光, 肥田 博隆, 藤田 英明, 大日方 圭, 式田 光宏, 長森 英二

  培養により得られた骨格筋細胞の運動性能を詳細に評価するためのデバイス構築を目的とし、マイクロレバー型MEMSを作製した。温度応答性ポリマーPNIPAAmを利用して、マイクロレバー上に骨格筋細胞を橋架け状態に培養する技術を開発した。電気パルス刺激により骨格筋細胞は制御された運動を行い、この出力によってマイクロレバーの先端は変位した。この変位量を顕微鏡から得られた画像を用いて計測し、筋細胞が発した張力を測定した。今回培養した骨格筋細胞1本から得られた最大張力は約1μNであると推定された。

  一般社団法人日本機械学会, 2009年01月22日, バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2008(21) (21), 101 - 102, 日本語


• Gas-liquid separated resonator for bio-cemical application

  H. Hida, M. Shikida, M. Okochi, H. Honda, K. Sato

  2009年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 912 - 915, 英語


• 自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発

  肥田 博隆, 式田 光宏, 福澤 健二, 佐藤 健二, 小野 淳, 浅海 和雄, 入江 康郎, 佐藤 一雄

  2007年07月03日, 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2007(1) (1), 25 - 28, 日本語


• 音叉型水晶振動子を用いた非接触型AFMプローブの設計および製作

  肥田 博隆, 式田 光宏, 福澤 健二, 佐藤 健二, 小野 淳, 浅海 和雄, 入江 康朗, 程 迪, 佐藤 一雄

  2005年06月22日, 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2005(21) (21), 35 - 39, 日本語

• On-chip method for characterizing mechanical properties of growing root during bending motion

  Jing Li, Akira Kimura, Isaku Kanno, Hirotaka Hida

  日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会 (IIP2025), 日本語


• イネの根の栄養屈性解析用デバイスにおける濃度勾配の広範囲化

  吉長 浩康, 神野 伊策, 肥田 博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会第50回研究会, 日本語

  ポスター発表


• 機械ストレスが根の硬さに与える影響のオンチップ解析

  中井 愛乃, 神野 伊策, 肥田 博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会第50回研究会, 日本語

  ポスター発表


• 障害物に対する根の成長挙動のオンチップ解析手法

  肥田博隆, 中井愛乃, 李鯨, 神野伊策, 郷達明, 中島敬二

  第15回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本語

  ポスター発表


• On-chip Analytical Method for Investigating Protrusive Forces in Growing Plant Roots

  J. Li, M. Notaguchi, I. Kanno, H. Hida

  The 11th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2024), 2024年06月, 英語

  ポスター発表


• 重力屈性過程における根の力学的挙動の解析手法

  木村 陽, 李 鯨, 神野 伊策, 肥田 博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会第49回研究会, 2024年06月, 日本語


• 酵母の個別解析のためのバルブ付きマイクロ流体デバイスの開発

  矢郷望, Prihardi Kahar, 荻野千秋, 神野伊策, 肥田博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会 第46回研究会, 2022年11月, 日本語

  ポスター発表


• 機械的抵抗下での根の伸長挙動のオンチップ解析手法

  堀江智貴, 神野伊策, 肥田博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会 第46回研究会, 2022年11月, 日本語

  ポスター発表


• マイクロ流体デバイスを用いたイネの側根の栄養屈性解析

  根本慎司, 山崎清志, Marcel Beier, 藤原徹, 神野伊策, 肥田博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会 第46回研究会, 2022年11月, 日本語

  ポスター発表


• ゲルプレート上のマイクロ流路を用いた化学走性に基づく線虫分離手法

  中田千聖, 澤進一郎, 神野伊策, 肥田博隆

  化学とマイクロ・ナノシステム学会 第46回研究会, 2022年11月, 日本語

  ポスター発表


• ON-CHIP METHOD FOR CHARACTERIZING DYNAMIC RESPONSES TO GRAVITY IN GROWING PLANTS

  Hirotaka Hira, Shiho Miyabayashi, Isaku Kanno

  2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2022), 2022年08月, 英語

  口頭発表（一般）


• Applications of Microfluidic device in Plant Biology

  Hirotaka Hida

  5th International Conference on Emerging Electronics (IEEE-ICEE2020), 2020年11月, 英語

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• 酵母の単離と解析のためのマイクロ流体デバイスの開発

  安田 悠悟, 廣田 智, 荻野 千秋, 神野 伊策, 肥田 博隆

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 植物寄生性線虫の感染プロセスの解析手法

  肥田 博隆, 江原 りか, 神野 伊策, 古水 千尋, 澤 進一郎

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• イネの側根の屈性解析システムの開発

  福澤 滉平, 山崎 清志, Marcel Beier, 藤原 徹, 神野 伊策, 肥田 博隆

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 栄養条件が根の機械的性質に及ぼす影響の解析

  林 駿平, Beier Marcel, 三輪 京子, 藤原 徹, 神野 伊策, 肥田 博隆

  第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• ポアメンブレンを用いた植物寄生性線虫の化学走性分析デバイス

  佐古 隆太朗, 澤 進一郎, 古水 千尋, 神野 伊策, 肥田 博隆

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• Plant-on-a-chip: Applications of microfluidics in plant biology

  Hirotaka Hida

  The 15th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered & Molecular Systems, 2020年09月, 英語

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• マイクロピラーとの接触解析による根の機械的性質の推定手法

  林 駿平, Beier Marcel, 三輪 京子, 藤原 徹, 神野 伊策, 肥田 博隆

  日本機械学会2020年度年次大会, 2020年09月, 日本語

  口頭発表（一般）


• フレキシブルPZT圧電薄膜を用いたエナジーハーベスタのウ ェアラブル応用

  原田 燎, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆, 神野 伊策

  日本機械学会2020年度年次大会, 2020年09月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 植物の根の力学特性と成長に関する基礎的研究 その 1 マイクロピラーを用いたシロイヌナズナの根の力学特性推 定法の開発

  藤原徹, Marcel BEIER, 肥田博隆

  2020年度日本建築学会大会学術講演会・建築デザイン発表会, 日本語

  口頭発表（一般）


• 機械的ストレスが植物寄生性線虫の感染に与える影響の解析

  肥田博隆, 江原りか, 神野伊策, 古水千尋, 澤進一郎

  令和2年度センサ・マイクロマシン部門 総合研究会, 2020年07月, 日本語

  口頭発表（一般）


• マイクロピラーとの接触解析に基づく根の機械特性の推定

  林 駿平, Beier Marcel, 三輪 京子, 藤原 徹, 神野 伊策, 肥田 博隆

  IIP2020 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 日本語

  口頭発表（一般）


• The influence of sucrose on Arabidopsis root diameter and mechanics

  Marcel Pascal Beier, Shumpei Hayashi, Kyoko Miwa, Hirotaka Hida, Toru Fujiwara

  第61回日本植物生理学会年会, 英語

  口頭発表（一般）


• マイクロフォースセンサを用いた根の機械的性質の解析

  肥田 博隆, 伊黒 大祐, 神野 伊策, 野田口 理孝

  IIP2019 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2019年, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• V2O5正極を用いた全固体薄膜リチウムイオン電池の作製とその評価

  神野 伊策, 金澤翔吾, 馬場友章, 肥田博隆

  IIP2018 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2018年03月, 日本語, 東洋大学, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法

  肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝

  電気学会センサ・マイクロマシン部門 部門大会 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」, 2018年, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• マイクロフォースセンサを用いた根の成長挙動解析

  伊黒 大祐, 肥田 博隆, 尾添 克哉, 神野 伊策, 野田口 理孝

  日本機械学会2018年度年次大会, 2018年, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• マイクロピラーアレイを用いた根の機械的ストレス応答の解析

  肥田 博隆, 西脇 大維, 神野 伊策, 野田口 理孝

  日本機械学会2018年度年次大会, 2018年, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• THE PIEZOELECTRIC PZT THIN FILMS DEPOSITED ON METAL SUBSTRATES

  Takashi Ito, Takahito Nishi, Umegaki, 肥田 博隆, 神野伊策

  PowerMEMS2017, 2017年11月, 英語, Kanazawa, Japan, 国際会議

  ポスター発表


• シューズ埋め込み型圧電振動発電素子の作製・評価

  神野 伊策, 西崇 仁, 伊藤 喬, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆

  2017年度日本機械学会年次大会, 2017年09月, 日本語, 埼玉大学, 国内会議

  口頭発表（一般）


• インセクトスケールロボットを目的とした圧電薄膜アクチュエータの作製

  神野 伊策, 西村 望, 肥田 博隆

  017年度日本機械学会年次大会, 2017年09月, 日本語, 埼玉大学, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究

  神野 伊策, 金光 勇弥, 譚 ゴオン, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆

  第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017年09月, 日本語, 福岡国際会議場, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Pb(Zr,Ti)O3圧電薄膜の逆圧電効果による結晶構造変化のその場観察

  神野 伊策, 譚 ゴオン, 丸山 和樹, 金光 勇弥, 西岡 慎太郎, 小金澤 智之, 梅垣 俊仁, 小金澤 智之, 梅垣 俊仁, 肥田 博隆

  福岡国際会議場, 2017年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• ディップコート法による金属箔上へのPZT薄膜の作製と評価

  神野 伊策, 濱村朋広, 肥田博隆

  強誘電体応用会議, 2017年06月, 日本語, 京都, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 薄膜型全固体リチウムイオン電池の作製と評価

  神野 伊策, 馬場 友章, 肥田 博隆

  IIP2017 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2017年03月, 日本語, 東洋大学 白山キャンパス, 国内会議

  口頭発表（一般）


• ディップコート法によるステンレス箔上へのPZT薄膜の作製

  神野 伊策, 濱村 朋広, 肥田 博隆

  第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月, 日本語, パシフィコ横浜, 国内会議

  口頭発表（一般）


• PZT薄膜を用いた圧電型エナジーハーベスターの作製と評価

  神野 伊策, 伊藤 喬, 西 崇仁, 肥田 博隆

  IIP2017 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2017年03月, 日本語, 東洋大学 白山キャンパス, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Pb(Zr,Ti)O3薄膜の斜め成膜およびその特性評価に関する研究

  神野 伊策, 丸山 和樹, 肥田 博隆, 寺元 卓也

  第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017年03月, 日本語, パシフィコ横浜, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Design and characterization of cantilever-type piezoelectric MEMS microphones

  神野 伊策, Shota Nakagawa, Hirotaka Hida

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016, 2016年12月, 英語, Tokyo, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 根の成長パターン解析を目的としたマイクロピ ラーデバイスの開発

  西脇 大維, 肥田 博隆, 東山 哲也, 野田口 理孝, 神野 伊策

  日本機械学会 2016年度年次大会, 2016年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 圧電薄膜振動子を用いたシリンダー型 MEMS ジャイロスコープの特性評価

  肥田 博隆, 富士原 孝裕, 神野 伊策

  日本機械学会 2016年度年次大会, 2016年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Shoe-mounted vibration energy harvester of PZT piezoelectric thin films on metal foils

  神野 伊策, Takahito Nishi, Takashi Ito, Hirotaka Hida

  The 16th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS2016), 2016年09月, 英語, Pari, France, 国際会議

  口頭発表（一般）


• KNN 薄膜を用いた光起電力特性評価

  大地 優平, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年09月, 日本語, 朱鷺メッセ, 国内会議

  ポスター発表


• Compositional dependence of BaTiO3-xBaSnO3 piezoelectric thin films prepared by combinatorial sputtering

  神野 伊策, Hongbo Cheng, Takuya Teramot, Hirotaka Hida, Jun Ouyang

  第8回日中強誘電体応用会議, 2016年09月, 英語, 筑波, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Compositional dependence of BaTiO3-xBaSnO3 piezoelectric thin films prepared by combinatorial sputtering

  Hongbo Cheng, Takuya Teramoto, Hirotaka Hida, Isaku Kanno, Jun Ouyang

  第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016年09月, 英語, 朱鷺メッセ, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 薄膜材料の正・逆圧電特性評価

  神野 伊策, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆

  第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 積層圧電薄膜の作製およびその実効的圧電特性評価

  神野 伊策, 肥田 博隆, 山本 稜祐, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 牧本 なつみ, 小林 健

  第66回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議

  口頭発表（一般）


• コンビナトリアルスパッタ法を用いたPMN-PZ-PT薄膜の組成依存性評価

  神野 伊策, 肥田 博隆, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 寺元 卓也

  第64回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議

  口頭発表（一般）


• PZT圧電薄膜の正圧電特性経時変化

  神野 伊策, 肥田 博隆, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 西 崇仁

  第65回応用物理学会春季学術講演会, 2016年03月, 日本語, 東京都, 国内会議

  口頭発表（一般）


• オンチップ力計測手法による根の成長メカニズム解析

  尾添 克哉, 肥田 博隆, 神野 伊策, 東山 哲也, 野田口 理孝

  化学とマイクロ・ナノシステム学会第32回研究会, 2015年11月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 圧電薄膜アクチュエータを用いたインセクトスケール圧電ロボットの作製と評価

  岩崎 拓実, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第 7 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 新潟県, 国内会議

  口頭発表（一般）


• ステンレス基板上PZT薄膜の光誘起ひずみ効果

  神野 伊策, 佐段田 温朗, 大地 優平, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 肥田 博隆

  第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年09月, 日本語, 名古屋, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Self-excited vibration energy harvesters of PZT thin films on stainless-steel cantilevers by airflow

  Isaku Kanno, Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka, Hida

  10th Energy Harvesting Workshop, 2015年09月, 英語, Virginia, USA, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Pb(Hf,Ti)O3薄膜の作製と組成依存性評価

  神野 伊策, 西尾 正悟, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 肥田 博隆

  第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年09月, 日本語, 名古屋市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Reliability of vibration energy harvesters of PZT thin films on stainless steel cantilevers

  Isaku Kanno, Yuichi Tsujiura, Eisaku Suwa, Fumiya Kurokawa, Hirotaka Hida

  2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment, 2015年06月, 英語, Kobe, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Development of simple microrob ot using piezoelectric thin film actuator on metal substrate

  Isaku Kanno, Hirotaka Hida, Yuki Morita, Fumiya Kurokawa, Yuichi Tsujiura

  2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment, 2015年06月, 英語, Kobe, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 正・逆圧電効果によるPZT薄膜の圧電定数e31,fの測定

  神野 伊策, 辻浦裕一, 河邊真之, 黒川文弥, 肥田博隆

  強誘電体応用会議, 2015年05月, 日本語, 京都市, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 自励振動を利用した圧電薄膜気流振動発電素子

  辻浦 裕一, 諏訪 英作, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• UV-LED光駆動の圧電薄膜アクチュエータの作製

  黒川 文弥, 大地 優平, 佐段田 温朗, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Pb(Hf,Ti)O3薄膜の作製と圧電特性評価

  西尾 正悟, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 自励振動を利用した圧電薄膜気流発電素子

  諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  平成26年度応用物理学会関西支部第3回講演会, 2015年02月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• UV-LED光駆動圧電薄膜アクチュエータの作製

  黒川 文弥, 大地 優平, 佐段田 温朗, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策

  平成26年度応用物理学会関西支部第3回講演会, 2015年02月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 積層圧電薄膜を用いた高効率MEMSアクチュエータの開発

  黒川 文弥, 岸本 真哉, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第53回セラミックス基礎科学討論会, 2015年01月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• スパッタ法を用いたLi4Ti5O12薄膜の作製とその評価

  岡本 一真, 黒川 文弥, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策, 水畑 穣

  第53回セラミックス基礎科学討論会, 2015年01月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• マイクロマシンに『タネ』を蒔く

  肥田 博隆

  第18回 生物系若手サイエンスセミナー, 2014年12月, 日本語, 国内会議

  公開講演，セミナー，チュートリアル，講習，講義等


• 正・逆圧電効果による PZT 薄膜の圧電定数 e31,f の評価

  河邊 真之, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金属基板上圧電薄膜アクチュエータを用いたミリメータスケールロボットの作製

  森田 勇樹, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金属基板上 PZT 薄膜を用いた振動発電素子の信頼性評価に関する研究

  辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金属基板上 PZT 薄膜を用いた自励振動発電素子の評価

  諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• シリコンウェットエッチング 基礎と応用

  肥田 博隆

  MEMS 開発基礎講座, 2014年10月, 日本語, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門、電気学会センサ・マイクロマシン部門共催, 国内会議

  [招待有り]

  シンポジウム・ワークショップパネル（指名）


• ウエットエッチングによる圧電薄膜の PDMS 基板上への転写技術

  肥田 博隆, 八神 瞬, 諏訪 英作, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 神野 伊策

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• PZT 圧電薄膜および圧電 MEMS デバイスの信頼性評価

  神野 伊策, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Microchannel network for simple and high-throughput chemotaxis assay of plant-parasitic nematodes

  肥田 博隆

  ERATO東山ライブホロニクスプロジェクトセミナー, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  [招待有り]

  シンポジウム・ワークショップパネル（指名）


• コンビナトリアルスパッタ法による BZT-BCT 圧電薄膜の組成依存性評価

  黒川 文弥, 森 亮, 辻浦 裕一, 肥田 博隆, 神野 伊策

  2014年 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• High-throughput Chemotaxis Assay of Plant-parasitic Nematode by Using a Microchannel Device

  H. Hida, M. Matsumura, I. Kanno, H. Nishiyama, S. Sawa, T. Higashiyama, H. Arata

  International ERATO Higashiyama Live-Holonics Symposium 2014 "Plant Live-Cell Imaging and Microdevices", 2014年09月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• 植物寄生性センチュウのハイスループット化学走性分析用デバイス

  肥田 博隆, 松村 匡隆, 神野 伊策, 西山 英孝, 澤 進一郎, 東山 哲也, 新田 英之

  化学とマイクロ・ナノシステム学会 第29回研究会, 2014年05月, 日本語, 日本女子大学 目白キャンパス, 国内会議

  ポスター発表


• コンビナトリアルスパッタ法による PMN-PT 圧電薄膜の組成依存性評価

  黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第31回強誘電体応用会議, 2014年05月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 着脱式マイクロ流路チップを用いたゾル-ゲル法によるPZT薄膜の直接パターニング技術

  肥田 博隆, 八神 瞬, 神野 伊策

  第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• スパッタ法を用いた Li4Ti5O12薄膜の作製とその評価

  岡本 一真, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策, 水畑 穣

  第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• コンビナトリアル成膜によるPLZT薄膜の組成依存性評価

  西尾 正悟, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年03月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 植物寄生性センチュウの行動分析用マイクロ流路デバイス:流路規格および流路内物質濃度分布の検証

  肥田 博隆, 西山 英孝, 澤 進一郎, 神野 伊策, 東山 哲也, 新田 英之

  第5回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門, 仙台国際センター(仙台市), 国内会議

  口頭発表（一般）


• スパッタ法で作製したPZT薄膜積層アクチュエータ

  岸本 真哉, 辻浦 裕一, 黒川 文弥, 肥田 博隆, 神野 伊策

  第5回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 仙台国際センター(仙台市), 国内会議

  口頭発表（一般）


• 亜鉛負極近傍における亜鉛イオン濃度場の評価

  萩ノ崎賢也, 伊藤靖仁, 三橋貴仁, 酒井康彦, 長田孝二, 寺島 修, 宇治原徹, 式田光宏, 肥田 博隆

  第54回電池討論会, 2013年10月, 日本語, 電気化学会電池技術委員会, 大阪国際会議場(大阪市), 国内会議

  口頭発表（一般）


• ステンレス基板上圧電薄膜を用いた MEMS エナジ ーハーベスター

  辻浦 裕一, 諏訪 英作, 肥田 博隆, 末永 和史, 柴田 憲治, 神野 伊策

  日本機械学会 2013 年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山大学津島キャンパス(岡山市), 国内会議

  口頭発表（一般）


• サツマイモネコブセンチュウに対する誘引忌避物質探索

  西山英孝, 肥田 博隆, 戸髙晃彦, 江島千佳, 相良知実, Bui Thi Ngan, 澤進一郎

  2013年度日本線虫学会大会（第21回大会）, 2013年09月, 日本語, 唐津市民交流プラザ(佐賀県), 国内会議

  口頭発表（一般）


• コンビナトリアル成膜法による PMN-PT薄膜の組成依存性評価

  黒川 文弥, 冨岡 宏平, 肥田 博隆, 神野 伊策

  日本機械学会 2013 年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山大学津島キャンパス(岡山市), 国内会議

  口頭発表（一般）


• Fe-B-Nd-Nb 金属ガラス薄膜の破壊靭性評価

  TuanPhan, 大口裕之, 原基揚, 式田光宏, 肥田博隆, 安藤妙子, 佐藤一雄, 桑野博喜

  日本機械学会 2013 年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山大学津島キャンパス(岡山市), 国内会議

  口頭発表（一般）


• 熱式マイクロセンサによる壁面せん断応力変動計測に関する研究

  沢田拓也, 寺島修, 酒井康彦, 長田孝二, 式田光宏, 肥田博隆, 伊藤靖仁

  平成25年度 日本実験力学会 年次大会, 2013年08月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Composition depndence of PMN-PT thin films prepared by combinatorial sputtering

  黒川 文弥, 冨岡 公平, 肥田 博隆, 神野 伊策

  IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium, 2013年07月, 英語, IEEE, プラハ, 国際会議

  ポスター発表

• The Institute of Electrical Engineers of Japan (IEEJ)


• 米国電気電子学会


• 化学とマイクロ・ナノシステム学会


• 応用物理学会


• 日本機械学会


• 電気学会

• 植物の環境ストレス応答のオンチップ解析技術

  肥田 博隆

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(C), 神戸大学, 2024年04月01日 - 2027年03月31日


• Development of a living cell-cell battery inspired by electric fishes

  MATURANA ANDRES, 肥田 博隆, 神野 伊策

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 挑戦的研究(萌芽), 名古屋大学, 2022年06月30日 - 2025年03月31日


• 外部刺激に対する植物の力学的応答解析技術

  肥田 博隆

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 神戸大学, 2020年04月01日 - 2023年03月31日

  本研究は，植物の根や地上部の機械的特性（硬さ，推進力）を連続的に計測可能なマイクロセンサデバイスを開発し，重力や病害虫，化学物質などの外部刺激を与えた際の力学的応答を定量的に解析することで，植物の成長最適化に関する知見の獲得を目的とする。さらに，本手法を発展させ，温度や養分など多様な環境要因を考慮した分析プラットフォームを確立し，将来的には栽培技術の最適化や品種改良への知見の獲得を目指す。 今年度は，昨年度までに開発した分析手法を用い，(1)胚軸（地上部）の重力屈性の解析用デバイスとそのモデル化，(2)植物寄生性線虫の感染過程で生じる構造変化の細胞レベルでの解析，(3)マイクロピラーデバイスを用いた根の伸長挙動解析 を主に行った。 その結果，胚軸の屈性時における力の定量的評価を実現するとともに，ならびに植物寄生性線虫の感染が引き起こす根の変質を，マイクロデバイスを用いることで細胞レベルで制御可能である見通しを得た。


• 薄膜構造制御による新規圧電マイクロデバイス創成に関する研究

  神野 伊策

  科学研究費補助金／基盤研究(B), 2017年04月 - 2021年03月

  競争的資金


• マイクロ土壌デバイスによる根の成長メカニズムの定量解析

  肥田 博隆

  科学研究費補助金／若手研究(A), 2016年04月 - 2018年03月, 研究代表者

  競争的資金


• 局時局所壁面せん断応力ベクトル計測によるせん断乱流の動力学特性の解明

  長田 孝二, 酒井 康彦, 伊藤 靖仁, 式田 光宏, 肥田 博隆, 寺島 修

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 挑戦的萌芽研究, 名古屋大学, 2013年04月01日 - 2015年03月31日

  壁面せん断応力測定用センサとして，シリコンウェハを使用したホットフィルムセンサ（SWセンサ），フローティングエレメントセンサ（FEセンサ），および，ポリイミドを用いた貼り付けタイプのホットフィルムセンサ（patch-typeセンサ）およびその制御回路を新たに開発し，それぞれのセンサの周波数応答やSN比等を詳細に検討した．さらに，SWセンサとpatch-typeセンサを用いて壁面噴流のせん断応力と速度場の同時計測を行った．


• マイクロ流路デバイスを用いたセンチュウの農作物寄生メカニズムの定量的解析

  肥田 博隆

  学術研究助成基金助成金／若手研究(B), 2013年04月 - 2015年03月, 研究代表者

  競争的資金


• 共振特性を用いたMEMSデバイスに関する研究

  2007年 - 2010年

  競争的資金


• MEMS devices using resonant characteristic

  2007年 - 2010年

  競争的資金

• 圧電薄膜、圧電薄膜の製造方法、圧電薄膜付き基板、圧電アクチュエータ、圧電センサ、インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ

  神野 伊策, 肥田 博隆

  特願2015-033682, 2015年02月24日, 大学長, 特許6468881, 2018年12月18日

  特許権

• 人口ミクロ空間で線虫の生態を解析

  科学新聞, 2015年08月28日

  新聞・雑誌


• センチュウの行動パターン解析手法を開発

  薬事日報, 2015年08月15日

  新聞・雑誌


• 線虫防除の鍵 環境で行動制御

  日刊農業新聞, 2015年08月

  新聞・雑誌


• 国立研究開発法人科学技術振興機構（JST）、土壌を模したミクロな人工空間でセンチュウの生態を解明

  日経バイオテク, 2015年08月, https://bio.nikkeibp.co.jp/article/pressrelease/20150805/186723/?ST=academ

  インターネットメディア