研究活動情報

• 2023年01月 電気学会, Special Issue on World State-of-the-art Research on Sensors and Micromachines Best Paper Award, Fabrication of Tri-Axial MEMS Tactile Sensor for Minimally Invasive Medical Application using Wafer-Level Packaging

  Tomoya Imanishi, Keiju Miyamoto, Shuntaro Higashi, Shunsuke Oki, Akio Uesugi, Koji Sugano, Takanori Aono, Yoshitada Isono


• 2022年04月 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021), Young Author’s Award, Characterization of nanogap with gold nanoparticle dimer controlled by four-point bending for electrical and optical single molecule measurement

  Yuanzhi Chang, Takayuki Sumitomo, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono


• 2019年11月 電気学会, 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター発表賞, 光励起ナノギャップ電極を用いたDNAオリゴマーの光トラップおよび1分子検出

  森田明宏, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正


• 2017年10月 電気学会, 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 奨励賞, 単一金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光によるDNAオリゴマー1分子検出

  丸岡 克成, 菅野 公二

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2017年01月 電気学会, 平成28年電気学会優秀論文発表（IEEJ Excellent Presentation Award）, 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光

  池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2016年10月 電気学会, 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞, 金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ波長計測マイクロ振動子デバイス

  菅野 公二, 田中 祐樹, 前田 悦男, 米谷 玲皇, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2015年10月 電気学会, 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀ポスター賞, 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA 塩基の表面増強ラマン分光

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2015年10月 電気学会, 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 奨励賞, 金ナノ粒子直線状配列を用いた表面増強ラマン分光の特性評価

  池上 晃平, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正


• 2015年01月 電気学会, 平成26年電気学会優秀論文発表（IEEJ Excellent Presentation Award）, 金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

  竹下 俊光, 末國 啓輔, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞


• 2014年10月 電気学会, 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 最優秀技術論文賞, 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光

  菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修

  国内学会・会議・シンポジウム等の賞

• Fabrication of Tri-Axial MEMS Tactile Sensor for Minimally Invasive Medical Application using Wafer-Level Packaging

  Tomoya Imanishi, Keiju Miyamoto, Shuntaro Higashi, Shunsuke Oki, Akio Uesugi, Koji Sugano, Takanori Aono, Yoshitada Isono

  Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 2023年01月, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 143(1) (1), 13 - 18, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Surface-potential-modulated piezoresistive effect of core–shell 3C-SiC nanowires

  Akio Uesugi, Shinya Nakata, Kodai Inoyama, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  Abstract The effect of surface potential on the carrier mobility and piezoresistance of core–shell silicon carbide nanowires (SiC NWs) was investigated to realize small and sensitive SiC-microelectromechanical systems sensors. The p-type cubic crystalline SiC (3C-SiC) NWs were synthesized via the vapor–liquid–solid method and coated with silicon dioxide (SiO₂) or aluminum oxide (Al₂O₃) dielectric shells to form core–shell structured NWs with different surface potentials. Four-point bending devices (FBDs) with a field-effect transistor (FET) configuration integrating a single core–shell 3C-SiC NW as the FET channel were fabricated to apply an additional electric field and strain to the core–shell 3C-SiC NWs. The fixed oxide charge densities of the SiO₂ and Al₂O₃ shells showed positive and negative values, respectively, which were equivalent to electric fields of the order of several hundred thousand volt per centimeter in absolute values. In the core–shell 3C-SiC NWs with originally low impurity concentrations, the electric field induced by the fixed oxide charge of the shells can determine not only the electrical conduction but also the charge carriers in the NWs. Bending tests using the FBDs showed that the piezoresistive effect of the SiO₂-coated NW was almost the same as that of the as-grown 3C-SiC NW reported previously, regardless of the gate voltage, whereas that of the Al₂O₃-coated NW was considerably enhanced at negative gate voltages. The enhancement of the piezoresistive effect was attributed to the piezo-pinch effect, which was more pronounced in the NW, where the carrier density at the core–shell interface is enhanced by the electric field of the dielectric.

  IOP Publishing, 2022年09月, Nanotechnology, 33(50) (50), 505701 - 505701, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Effects of beam length and vibration amplitude on measurement resolution in microresonator-based optical sensing

  Naoki Kondo, Kohei Takegami, Naoyuki Arai, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2022年04月, Microsystem Technologies, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Integration of silicon nanowire bridges in microtrenches with perpendicular bottom-up growth promoted by surface nanoholes

  Akio Uesugi, Shusuke Nishiyori, Tatsuya Nakagami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2022年01月, Japanese Journal of Applied Physics, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Dynamic surface-enhanced Raman spectroscopy of DNA oligomer with a single hotspot of a gold nanoparticle dimer

  Koji Sugano, Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Akio Uesugi, Yoshitada Isono

  2022年, Optics Letters, 47(2) (2), 373 - 376, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Spectroscopic measurement of water using an electrostatic transducer with near‐infrared absorber

  Takamasa Suzuki, Kota Nakafuji, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  Wiley, 2021年12月, Electronics and Communications in Japan, 104(4) (4), e12340, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 近赤外光吸収体を有する静電型マイクロ振動デバイスを用いた水の分光測定

  鈴木隆正, 中藤康太, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 2021年09月, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 141(9) (9), 321 - 326, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Silicon-coated gold nano diffraction grating structures as plasmonic absorber for short wavelength infrared light

  Tatsuya Tsubota, Naoyuki Arai, Atsuya Harada, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  The Optical Society, 2021年08月, Journal of the Optical Society of America B, 38(10) (10), 2863 - 2872, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Vapor–liquid–solid growth of silicon nanowires from surface nanoholes formed with metal-assisted chemical etching

  Akio Uesugi, Taiju Horita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2021年05月, Japanese Journal of Applied Physics, 60(5) (5), 055502 - 055502, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Dynamic electrical measurement of biomolecule behavior via plasmonically-excited nanogap fabricated by electromigration

  Akihiro Morita, Takayuki Sumitomo, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2021年03月, Nano Express, 2(1) (1), 010032 - 010032, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Three-axis force sensor miniaturized by 3D microstructuring using high-temperature punch creep-forming process

  Kyosuke Nimura, Kenji Osaka, Kazuma Sawada, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2021年02月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 31(2) (2), 025009 - 025009, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Anomalous Piezoresistive Changes of Core-Shell Structured SIC Nanowires

  Akio Uesugi, Shinya Nakata, Kodai Inoyama, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IEEE, 2021年01月, 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021-January, 848 - 851, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Detection of wavelength shift of near-infrared laser using mechanical microresonator-based sensor with Si-covered gold nanorods as optical absorber

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Akio Uesugi, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  Elsevier BV, 2020年09月, Sensors and Actuators A: Physical, 315, 112337 - 112337, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Wavelength-dependent near-infrared microbolometer for short-wavelength infrared light with gold nanowire grating optical absorber

  Tatsuya Tsubota, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2020年08月, Microsystem Technologies, 27(3) (3), 997 - 1005, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Effect of clamped beam pattern on resonant frequency shift of microresonator under near-infrared laser irradiation

  Kohei Takegami, Kota Nakafuji, Naoyuki Arai, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IOP Publishing, 2020年06月, Japanese Journal of Applied Physics, 59(SI) (SI), SIII04 - SIII04, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性

  新居直之, 上杉晃生, 菅野公二, 磯野吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 2020年04月, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 140(4) (4), 72 - 78, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• SERS Detection of a Single Nucleobase in a DNA Oligomer Using a Gold Nanoparticle Dimer

  Koji Sugano, Katsunari Maruoka, Akio Uesugi, Yoshitada Isono

  IEEE, 2019年06月, 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 979 - 982, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Manipulation of Biomolecules Into Nanogap by Plasmonic Optical Excitation for Highly Sensitive Biosensing

  Akihiro Morita, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  IEEE, 2019年06月, 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 166 - 169, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Strain engineering of core–shell silicon carbide nanowires for mechanical and piezoresistive characterizations

  Shinya Nakata, Akio Uesugi, Koji Sugano, Francesca Rossi, Giancarlo Salviati, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  2019年04月, Nanotechnology, 30(26) (26), 265702, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 単層カーボンナノチューブのMEMS引張試験における顕微ラマン分光によるひずみ計測

  土屋智由, 鈴木淳也, 片岡達哉, 平井義和, 菅野公二, 田畑修

  2019年03月, 実験力学, 19(1) (1), 24 - 29, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Nanotemplate-guided self-assembly of gold nanoparticles and its application to plasmonic bio/chemical sensing

  Koji Sugano

  2018年01月, International Journal of Automation Technology, 12(1) (1), 79 - 86, 英語

  [査読有り][招待有り]

  研究論文（学術雑誌）


• A Novel 3-axis Tiny Tactile Sensor Developed by 3-D Microstructuring using Punch Creep Forming Process

  Kenji Osaka, Satoshi Nakata, Kensuku Yamamoto, Takao Toyoda, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2018年01月, The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2018), 1036 - 1039, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Single-molecule surface-enhanced Raman spectroscopy of 4,4 '-bipyridine on a prefabricated substrate with directionally arrayed gold nanoparticle dimers

  Koji Sugano, Kiyohito Aiba, Kohei Ikegami, Yoshitada Isono

  2017年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56(6) (6), 06GK01, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

  神戸大学リポジトリ（Kernel）へのリンク


• SERS Detection and Analysis of a Single Oligomer using a Single Gold Nanoparticle Dimer

  Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2017年06月, The 19th International Conference onSolid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2017), 468 - 471, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Dry Etching and Low-Temperature Direct Bonding Process of Lithium Niobate Wafer for Fabricating Micro/Nano Channel Device

  Toshiyuki Tsuchiya, Koji Sugano, Hideki Takahashi, H. Seo, Yuriy Pihosh, Yutaka Kazoe, Kazuma Mawatari, Takehiko Kitamori, Osamu Tabata

  2017年06月, The 19th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers2017), 1245 - 1248, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Characterization method for relative Raman enhancement for surface-enhanced Raman spectroscopy using gold nanoparticle dimer array

  Koji Sugano, Kohei Ikegami, Yoshitada Isono

  2017年06月, JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 56(6) (6), 06GK03, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

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• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy Analysis Device with Gold Nanoparticle Arranged Nanochannel

  Toshimitsu Takeshita, Keisuke Suekuni, Kiyohito Aiba, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2017年03月, Electronics and Communications in Japan, 100(4) (4), 33 - 41, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY ANALYSIS OF DNA BASES USING ARRAYED AND SINGLE DIMER OF GOLD NANOPARTICLE

  Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2017年, 30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017), 408 - 411, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Microresonator with gold nanorod array for laser wavelength measurement by photo−thermal conversion

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  2017年, Proceedings of The 30th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2017), 159 - 162, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Fracture behavior of single crystal silicon with thermal oxide layer

  Toshiyuki Tsuchiya, Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2016年09月, ENGINEERING FRACTURE MECHANICS, 163, 523 - 532, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication and characterization of a CNT forest integrated micromechanical resonator for a rarefied gas analyzer in a medium vacuum atmosphere

  Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Ryota Tsutsui, Hiroyuki Kishihara, Naoki Matsuzuka, Ichiro Yamashita, Yukiharu Uraoka, Yoshitada Isono

  Institute of Physics Publishing, 2016年06月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 26(7) (7), 075010, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたアデニン分子の高感度表面増強ラマン分光検出

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 山崎 真之亮, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2016年06月, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 136(6) (6), 256 - 260, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Time-Resolved Micro Raman Stress Spectroscopy for Single Crystal Silicon Resonator using MEMS Optical Chopper

  Toshiyuki Tsuchiya, Yusuke Kogita, Akira Taniyama, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2016年01月, Journal of Microelectromechanical Systems, 25(1) (1), 188 - 196, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MEMS-BASED MECHANICAL CHACTERIZATION OF CORE-SHELL SILICON CARBIDE NANO WIRES FOR HARSH ENVIRONMENTAL NANONIECHANICAL ELEMENTS

  Shinya Nakata, Koji Sugano, Mario Negri, Francesca Rossi, Giancarlo Salyiati, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  2016年, 2016 IEEE 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 543 - 546, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Electrical Resistance Characterization of Strain-Induced Multiwalled Carbon Nanotubes Using MEMS-Based Strain Engineering Device

  Kenji Yamauchi, Keisuke Obata, Shinya Nakata, Koji Sugano, Kisaragi Yashiro, Yoshitada Isono

  2016年, SENSORS AND MATERIALS, 28(2) (2), 75 - 88, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Single Molecule SERS with Directionally Arrayed Gold Nanoparticle Dimers on Substrate

  K. Sugano

  2016年, MICROFABRICATED AND NANOFABRICATED SYSTEMS FOR MEMS/NEMS 12, 75(17) (17), 3 - 10, 英語

  [査読有り][招待有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Effect of crystallographic orientation on tensile fractures of (100) and (110) silicon microstructures fabricated from silicon-on-insulator wafers

  Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2015年12月, MICRO & NANO LETTERS, 10(12) (12), 678 - 682, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication and characterization of chain-like arrangement of gold nanoparticles using nanotemplates

  Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年11月, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 135(11) (11), 474 - 475, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 高感度表面増強ラマン分光分析に向けた マイクロ流路内粒子凝集反応解析

  菅野 公二, 片山 拓, 土屋 智由, 田畑 修

  2015年11月, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 135-E(11) (11), 433 - 438, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ナノテンプレートを用いた金ナノ粒子直鎖配列の作製と光学特性評価

  菅野 公二, 平岡 亮二, 土屋 智由, 田畑 修

  2015年11月, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 135-E(11) (11), 474 - 475, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• High-speed Pulsed Mixing in a Short Distance with High-frequency Switching of Pumping from Three Inlets

  Koji Sugano, Akihiro Nakata, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2015年07月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 25(8) (8), 084003, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 金粒子配列ナノチャネルを用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

  竹下 俊光, 菅野 公二, 末國 啓輔, 饗庭 清仁, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年06月, 電気学会論文誌（センサ・マイクロマシン部門誌）, 135(6) (6), 214 - 220, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy using Linearly Arranged Gold Nanoparticles Embedded in Nanochannels

  Koji Sugano, Keisuke Suekuni, Toshimitsu Takeshita, Kiyohito Aiba, Yoshitada Isono

  A micro/nanofluidic device containing linearly arranged gold nanoparticles embedded in nanochannels was developed for highly sensitive and highly efficient surface-enhanced Raman spectroscopy (SERS). The Si nanochannel array was fabricated using a photolithography-based process. The nanochannel width was controlled from 100 to 400 nm. Synthesized particles of mean diameter 100 nm were arranged linearly in the nanochannels, using a nanotrench-guided self-assembly process. We developed a process for integrating linearly arranged nanoparticles and micro/nanofluidic components. The particle geometry provided significant Raman enhancement. Furthermore, efficient Raman analysis was possible by scanning a laser spot, because the particles were arranged in one direction. The fabricated structures were evaluated for SERS using 4,4′-bipyridine molecules at concentrations of 1 mM and 10 µM. The Raman peaks was obtained from a few hot spots. The Raman spectra showed that the molecule-specific Raman intensities were correlated with the number of hot spots in the nanochannel.

  Institute of Physics, 2015年05月, Japanese Journal of Applied Physics, 54(6S1) (6S1), 06FL03, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• ULTRASENSITIVE SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY USING DIRECTIONALLY ARRAYED GOLD NANOPARTICLE DIMERS

  Koji Sugano, Daimon Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2015年, 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 608 - 611, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• ANOMALOUS RESISTANCE CHANGE OF ULTRASTRAINED INDIVIDUAL MWCNT USING MEMS-BASED STRAIN ENGINEERING

  K. Yamauchi, T. Kuno, K. Sugano, Y. Isono

  2015年, 2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015), 369 - 372, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Experimental verification of frequency decoupling effect on acceleration sensitivity in tuning fork gyroscopes using in-plane coupled resonators

  Praveen Singh Thakur, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2014年03月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20(3) (3), 403 - 411, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Analytical investigation of the feasibility of sacrificial microchannel sealing for Chip-Scale Atomic Magnetometers

  Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2014年03月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 20(3) (3), 357 - 365, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• FABRICATION OF GOLD NANOPARTICLE-EMBEDDED NANOCHANNELS FOR SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY

  Keisuke Suekuni, Toshimitsu Takeshita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2014年, 2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1059 - 1062, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• DIRECT MEASUREMENT OF SHEAR PIEZORESISTANCE COEFFICIENT ON SINGLE CRYSTAL SILICON NANOWIRE BY ASYMMETRICAL FOUR-POINT BENDING TEST

  Taiki Kimura, Naoki Saito, Toshimitsu Takeshita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  2014年, 2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 600 - 603, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Study on vibration-coupling control of out-of-plane coupled resonator for anti-shock tuning fork gyroscopes

  Praveen Singh Thakur, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2014年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 134(12) (12), 392 - 399, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• On-chip Fabrication of Alkali-Metal Vapor Cells utilizing an Alkali-Metal Source Tablet

  Kazuya Tsujimoto, Kazuhiro Ban, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Natsuhiko Mizutani, Osamu Tabata

  2013年09月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 23(11) (11), 115003, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• MEMSネガレジストの粗視化分子動力学シミュレーション

  平井 義和, 柳生 裕聖, 牧野 圭秀, 上杉 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2013年08月, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 133(8) (8), 320 - 329, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• SERS characterization based on silver nanoparticle dimer in microfluidic laminar flow for molecule trace detection

  Koji Sugano, Hiroshi Katayama, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2013年06月, Proceedings of The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers2013), 1807 - 1810, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Effect of surface morphology and crystal orientations on fracture strength of thin film (110) single crystal silicon

  Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2013年06月, Proceedings of The 17th International Conference on Solid-State Sensors Actuators and Microsystems (Transducers2013), 1946 - 1949, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer

  Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2013年05月, Electronics and Communications in Japan, 96(5) (5), 58 - 66, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• DNA origami assembly on patterned silicon by AFM based lithography

  T. Akishiba, N. Tamura, T. Ichii, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, H. Sugimura, O. Tabata, O. Tabata

  2013年04月, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 307 - 310


• Molecular level study of negative thick-film resist in MEMS by employing a coarse-grained molecular dynamics simulation

  Yoshikazu Hirai, Hiromasa Yagyu, Yoshihide Makino, Akio Uesugi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2013年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 133(8) (8), 1 - 329, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• (110)単結晶シリコン薄膜引張破壊特性に及ぼす表面形態及び結晶方位の影響

  上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2013年, 日本機械学会論文誌A編, 79(804) (804), 1191 - 1200, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• Simulation of mechanical properties of epoxy-based chemically amplified resist by coarse-grained molecular dynamics

  Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年09月, POLYMER, 53(21) (21), 4834 - 4842, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Micromachined Tactile Sensor for Soft-Tissue Compliance Detection

  Ahmed M. R. Fath El Bab, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam

  2012年06月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21(3) (3), 635 - 645, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Frequency response of in-plane coupled resonators for investigating the acceleration sensitivity of MEMS tuning fork gyroscopes

  Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年06月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 18(6) (6), 797 - 803, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Electrostatic Tensile Testing Device With Nanonewton and Nanometer Resolution and Its Application to C-60 Nanowire Testing

  Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2012年06月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 21(3) (3), 523 - 529, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Mechanical and electrical clamping of DEP assembled SWCNT using electroless gold deposition

  Tatsuya Kataoka, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2012年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 132(5) (5), 108 - 113, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Tensile test on (110) <110> thin film single crystal silicon with different processing conditions

  Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2012年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 132(9) (9), 320 - 321, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング

  片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2012年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 132-E(5) (5), 108 - 113, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 加工条件の異なる(110)<110>単結晶シリコン薄膜の引張試験

  上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2012年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 132-E(9) (9), 320 - 321, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Sacrificial microchannel sealing by glass-frit reflow for chip scale atomic magnetometer

  Kazuya Tsujimoto, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 131(7) (7), 251 - 257, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Design of alkali metal vapor cell adapting sacrificial microchannel sealing technique

  K.Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2011年, International workshop on micro/nano-engineering, 12, 17 - 18, 英語

  [査読有り]


• チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術

  辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2011年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 131-E(7) (7), 251 - 257, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Fabrication of Gold Nanoparticle Pattern Using Combination of Self-Assembly and Two-Step Transfer

  Koji Sugano, Takashi Ozaki, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, SENSORS AND MATERIALS, 23(5) (5), 263 - 275, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Mixing speed-controlled gold nanoparticle synthesis with pulsed mixing microfluidic system

  Koji Sugano, Yuki Uchida, Osamu Ichihashi, Hideo Yamada, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年12月, MICROFLUIDICS AND NANOFLUIDICS, 9(6) (6), 1165 - 1174, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Embedded Microstructure Fabrication Using Developer-Permeability of Semi-Cross-Linked Negative Resist

  Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年10月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 19(5) (5), 1058 - 1069, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property

  Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年06月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 20(6) (6), 65005 (pp.1 - 13), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Component modeling of 2DOF comb transducer for equivalent circuit using built-in displacement detection

  Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 130(9) (9), 5 - 449, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Mixing speed-and temperature-controlled microreactor for gold nanoparticle synthesis

  Koji Sugano, Yuki Uchida, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 130(7) (7), 5 - 299, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯トランスデューサの等価回路

  徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2010年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 130-E(9) (9), 443 - 449, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ

  菅野 公二, 内田 雄喜, 土屋 智由, 田畑 修

  2010年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 130-E(7) (7), 292 - 299, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Tensile Testing of Single-Crystal Silicon Thin Films at 600 degrees C Using Infrared Radiation Heating

  Toshiyuki Tsuchiya, Tetsuro Ikeda, Akifumi Tsunematsu, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2010年, SENSORS AND MATERIALS, 22(1) (1), 1 - 11, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment

  TSUCHIYA Toshiyuki, YAMAJI Yusuke, SUGANO Koji, TABATA Osamu

  2010年, Experimental Mechanics, 50(4) (4), 509 - 516, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Free-standing (C60) nanowire fabricated using XeF2 sacrificial dry etching

  Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata

  SPIE, 2009年, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 8(1) (1), 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Micro machined tactile sensor for soft tissue compliance detection

  A. M. R. Fath El Bab, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata, M. E. H. Eltaib, M. M. Sallam

  2009年, PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 1(1) (1), 84 - +, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• MicroChannel Embedded in Glass-Frit Layer Bonding for Gas-Filled Sealed Cavity

  Yoshikazu Hirai, Hideaki Yoshimune, Kazuya Tsujimoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2009年, The 8th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2009), Saskatoon ,Canada, 153 - 154, 英語

  [査読有り]


• Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution

  Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya

  2008年05月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143(1) (1), 136 - 142, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 429 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

  土屋 智由, 宮本 憲治, 菅野 公二, 田畑 修

  This paper reports on the tensile testing of single crystal silicon (SCS), whose specimen surface was intentionally oxidized and the effect of the oxide thickness on the mechanical properties in order to investigate the fatigue fracture mechanism under cyclic loading. SCS specimens were fabricated from silicon-on-insulator (SOI) wafer with 5-μm -thick device layer and oxide layer were grown to the specimens using thermal dry oxidation at 1100℃. The specimen test part was 120 or 600 μm long and 4 μm wide. Quasi-static tensile testing of SCS specimen without oxide layer, with 50, 100, 200-nm-thick oxide was performed. As the results, the fracture origin location changed from the surface of the specimen of SCS without oxide to inside of silicon of oxidized specimen. This change may be caused by the oxidation stress near the interface and formation of oxide precipitation defects in silicon during oxidation.

  一般社団法人日本機械学会, 2008年, 年次大会講演論文集, 2008, 157 - 158, 日本語


• 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計

  吉川 弥, 篠部 晃生, 菅野 公二, 土屋 智由, 石田 章, 田畑 修

  2008年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 128-E(4) (4), 151 - 160, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection

  Ahmed M.R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam

  2008年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128(5) (5), 186 - 192, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Air damping in a fan-shaped rotational resonator with comb electrodes

  Yuki Uchida, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Tsuyoshi Ikehara

  2008年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128(5) (5), 203 - 208, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• DNAを利用したAuナノ微粒子のシーケンシャルセルフアセンブル

  日下部達哉, 種村友貴, 樋口雄一, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  The novel sequential self-assembly process applying hybridization of DNA mediated micro/nano components was proposed and its validity was experimentally verified. In the proposed process, characteristic of DNA, such as hybridization specificity of complementary pairs of single-stranded DNA (ssDNA) into a double-stranded DNA (dsDNA), and its dependence on melting temperature T_m, which can be designed by the base-pair sequence and salt-concentration of surrounding media, was utilized to control the self-assembly sequence of a micro/nano components modified by ssDNA. Au nanoparticles with 15nm diameter were used as components and two pairs complementary DNA with different T_m were prepared. The aggregation of Au nano-particles modified by complementary ssDNA was confirmed at different temperatures with decreasing temperature under T_m. The reversibility of this process was also confirmed by increasing temperature.

  The Society of Powder Technology, Japan, 2008年, 粉体工学会誌, 45(3) (3), 156 - 161, 日本語


• 3310 低侵襲手術用触覚センサーの構造設計(J26-2 マイクロメカトロニクス(2),J26 マイクロメカトロニクス)

  田村 智久, EL-Bab Ahmed M.R.Fath, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  A design of the micro-scaled tactile sensor which consists of two springs for Minimal Invasive Surgery was investigated. The sensing principle is based on the concept of applying two springs of considerably different stiffness to soft tissue for compliance detection, which reading is independent on the applied displacement between the sensor and tissue. Finite Element Method (FEM) is used to study the effect of tip shape (sphere, cubic) and the distance (0.5, 0.6, 0.7, 0.8mm) between the tips for the sensor with spring constants of 4500N/m and 110N/m under tissue Young's modulus of 0.3, 0.5, 1.0MPa. The results showed the cubic tip shape possesses independent reading on the pushing distance rather than the spherical one. The distance between the two springs of larger than 0.7mm is necessary to avoid the cross-talk effect between two spring behaviors.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年, 年次大会講演論文集, 2007, 307 - 308, 日本語


• 2837 高温薄膜引張試験装置の開発(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)

  土屋 智由, 池田 哲郎, 菅野 公二, 田畑 修

  This paper reports on the development of a new tensile tester operable at 800℃ using infrared heating system for evaluating mechanical properties of thin films at high temperature. Single crystal silicon films of 3μm thick were tested at 600℃. At room temperature, the fracture strength and Young's modulus were 3.33GPa and 163.2GPa, respectively. At 600℃, they were 2.71GPa and 151.8GPa, respectively. When the strain rate was decreased, the stress and stage displacement curves had yield points and the fractured specimens exhibited the slip lines at 600℃.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年, 年次大会講演論文集, 2007, 729 - 730, 日本語


• Versatile method of sub-micro particle pattern formation using self-assembly and two-step transfer

  Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2007年, PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 594 - 597, 英語

  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）


• 2種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル

  樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  In this paper, a new sequential stacking self-assembly using interfacial tension of two different droplets of TEGDMA (Triethyleneglycol Dimethacrylate) and 42Sn-58Bi solder was proposed. TEGDMA with an additional thermal initiator is liquid at room temperature and hardens by heat. 42Sn-58Bi solder is solid at room temperature and melts at 138 °C. Since interfacial tension of TEGDMA and 42Sn-58Bi solder are selectively utilized by setting the process temperature at room temperature for TEGDMA and 150 °C for 42Sn-58Bi solder, the sequential self-assembly of different components can be realized. The feasibility of the proposed process and alignment accuracy were experimentally examined using 1 mm square silicon chips as test components. The first component assembly on a substrate was carried out at room temperature using TEGDMA as an adhesive agent, and the second component assembly on the assembled component was carried out at 150 °C using 42Sn-58Bi solder as an adhesive agent. Both self-assembly processes were carried out in EG (Ethylene Glycol) solvent with an additional sulfuric acid. It was confirmed that the first and second self-assembly was successfully done at room temperature and at 150 °C, and alignment accuracy of first and second self-assembly were 33 μm and a few μm, respectively.

  The Institute of Electrical Engineers of Japan, 2007年, 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）, 127-E(4) (4), 214 - 220, 日本語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• 5507 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定(J19-2 マイクロメカトロニクス(2),J19 マイクロメカトロニクス)

  宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  The spring constant of a folded beam structure was directly measured for the calibration of the force-displacement transferring spring in the MEMS tensile testing device for nanoscale materials. The force that can be applied to the spring is up to 100μN, so Thin film tensile tester using electromagnetic balance was adopted. First, we improved the force-measurement resolution of the tensile tester through the review of the stability of the control system, the test environment, the noise in the control current, and the set-up of the testing system. Second, we measured the spring constant with a device containing four folded beams. The spring beams were 2μm width, 5μm thick, and 216μm and 285μm long, whose spring constant are designed to be 0.3N/m and 0.7N/m respectively. The measured values were 0.18N/m and 0.57N/m, which were distinct from the designed values, but close to the modified analytical value in which actual cross section areas were considered.

  一般社団法人日本機械学会, 2006年, 年次大会講演論文集, 2006, 299 - 300, 日本語


• Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip

  Hiromasa Yagyu, Koji Sugano, Shigehiko Hayashi, Osamu Tabata

  IOP Publishing, 2005年06月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 15(6) (6), 1236 - 1241, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  IOP Publishing, 2002年11月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 12(6) (6), 911 - 916, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Effects of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  Springer Science and Business Media LLC, 2002年11月, Microsystem Technologies, 9(1-2) (1-2), 11 - 16, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）


• Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  2001年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 121(12) (12), 647 - 651, 英語

  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）

• マイクロ振動子のたわみ状態制御による振動型光センサの高感度化—Study on sensitivity improvement of microresonator-based optical sensor by deflection control

  竹上 航平, 近藤 直輝, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語


• 高温パンチクリープ成形技術を用いた3軸力センサの開発および被覆樹脂の粘弾性特性を考慮したセンサ性能評価—Development of three-axis force sensor by 3D microstructuring using high temperature punch creep forming and sensor performance evaluation considering resin viscoelasticity

  澤田 和磨, 丹村 響介, 大坂 憲司, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語


• 金ナノ構造を用いた波長依存性を有するSOI型近赤外ボロメータ素子—Study on wavelength-dependent SOI-type near-infrared bolometer element using gold nanostructure

  坪田 達也, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 金ナノ構造光吸収体集積静電型マイクロ振動子デバイスによる近赤外光強度センサ—Near-infrared light intensity sensing by electrostatic microresonator transducer integrated with gold nanostructure optical absorber

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 近赤外吸収体を有する静電型マイクロ振動子デバイスを用いた水の分光測定—Spectroscopic measurement of water using electrostatic transducer with Near-infrared absorber

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, 日本語


• 金ナノ粒子二量体を用いたナノギャップ電極の作製とその電気的・光学的評価—Fabrication of nanogap electrode based on gold nanoparticle dimer and its electrical and optical evaluation

  住友 孝行, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 光センシングマイクロ共振デバイスの梁長さおよび振幅が計測分解能に与える影響—Effects of beam length and amplitude on measurement resolution in optical sensing using microresonator

  近藤 直輝, 竹上 航平, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2020年10月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, 日本語


• 光励起ナノギャップ電極を用いたDNAオリゴマーの光トラップおよび1分子検出—Optical trapping and single-molecule detection of DNA oligomer using optically-excited nanogap electrodes

  森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 6p, 日本語


• 架橋成長Siナノワイヤの熱電特性評価に関する研究—Characterization of thermoelectric properties of bridged-grown Si nanowire

  北川 諒, 岸本 卓巳, 小國 凌, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性—Pattern dependency of resonant frequency response of silicon microresonator for optical sensing

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• 金ナノグレーティング構造の光吸収ピーク波長制御による高感度レーザ波長計測マイクロ振動子デバイス—Highly sensitive laser wavelength measurement using microresonator controlling absorption peak of gold nanograting

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• コアシェルSiCナノワイヤの電気伝導性に及ぼすシェル表面電位の影響解明—Effect of shell surface potential to electrical properties of core-shell SiC nanowire

  井ノ山 滉大, 仲田 進哉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2019年11月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 4p, 日本語


• Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性—Polarization dependence of near-infrared absorption spectrum of Si-deposited gold nano-grating structures

  新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2018年, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 6p, 日本語


• VLS成長SiNW単体に対する熱電変換特性評価—Characterization of thermoelectric properties for VLS-growth SiNWs

  北川 諒, 井本 大暉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  2018年, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 5p, 日本語


• Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価

  新居 直之, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2017年10月31日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 34, 6p, 日本語


• 高温クリープ立体成形技術による極小MEMS触覚センサの開発

  大坂 憲司, 中田 悟史, 山本 賢祐, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2017年10月31日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 34, 1 - 5, 日本語


• プラズモニック構造のバイオ・ケミカルセンシング応用

  菅野 公二

  1．はじめに

  化学物質成分分析および生命科学分野において低濃度の物質を高感度に検出・同定する技術が広く期待されている。例えば，水質検査における環境ホルモン等有害物質の検出や農作物の残留農薬検出，空港等でのセキュリティのための危険物質検出等が挙げられる。生命科学分野では，

  一般社団法人 電気学会, 2017年06月, 電気学会誌, 137(6) (6), 354 - 357, 日本語

  [査読有り][招待有り]

  記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）


• 単一金ナノ粒子二量体を用いたアデニンの表面増強ラマン分光検出 (フィジカルセンサ マイクロマシン・センサシステム 合同研究会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

  丸岡 克成, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  電気学会, 2016年12月19日, 電気学会研究会資料. PHS, 2016(58) (58), 43 - 46, 日本語


• Si薄膜被覆金ナノワイヤアレイ構造の光学特性評価 (フィジカルセンサ マイクロマシン・センサシステム 合同研究会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成)

  新居 直之, 城谷 修司, 菅野 公二, 磯野 吉正

  電気学会, 2016年12月19日, 電気学会研究会資料. MSS, 2016(27) (27), 1 - 3, 日本語


• 逆解析手法による単結晶Si薄膜の高温クリープ特性の解明と触覚センサ開発への応用

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年10月02日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 33, 1 - 4, 日本語


• VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤのMEMS援用ピエゾ抵抗特性評価

  仲田 進哉, 井本 大暉, Rossi Feancesca, Lugstein Alois, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年10月02日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 33, 1 - 4, 日本語


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光

  池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2016年10月02日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 33, 1 - 6, 日本語


• VLS成長シリコンナノワイヤの歪み誘起電気伝導特性の結晶方位依存性

  仲田 進哉, 北田 勇馬, Wagesreither Stefan, Lugstein Alois, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年10月28日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 32, 4p, 日本語


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年10月28日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 32, 1 - 4, 日本語


• 金ナノ粒子二量体配列を用いた表面増強ラマン分光におけるラマン増強度評価法

  池上 晃平, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年10月28日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 32, 1 - 5, 日本語


• 金ナノ粒子直線状配列を用いた表面増強ラマン分光の特性評価

  池上 晃平, 竹下 俊光, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2015年10月28日, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 32, 1 - 5, 日本語


• OS12-2 Evaluation of Piezoresistivity for VLS-Grown Silicon Nanowires Under Enormous Elastic Strain(Mechanical properties of nano- and micro-materials-1,OS12 Mechanical properties of nano- and micro-materials,MICRO AND NANO MECHANICS)

  Nakata Shinya, Kitada Yuma, Wagesreither Stefan, Lugstein Alois, Sugano Koji, Isono Yoshitada

  一般社団法人日本機械学会, 2015年10月04日, Abstracts of ATEM : International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics : Asian Conference on Experimental Mechanics, 2015(14) (14), 184 - 184, 英語


• 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光

  菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修

  2014年10月, 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 20pm1-B1, 日本語


• J2240304 非対称四点曲げ試験法による単結晶シリコンナノワイヤのせん断ピエゾ抵抗係数の直接計測([J224-03]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 シリコンの破壊と疲労)

  竹下 俊光, 木村 大気, 菅野 公二, 磯野 吉正

  This research evaluated the shear piezoresistance property of p-type single crystal silicon nanowire (SiNW) by the asymmetrical four-point bending (AFPB) testing proposed by the authors. We fabricated the p-type SiNW on the AFPB specimen with "V"-shaped notches (V-notches) made of single crystal silicon. Bending the specimen by the asymmetrical four point-supports, simple shear stress can be produced at the center of the specimen. Consequently, we have succeeded in evaluating the shear piezoresistance coefficient of SiNW directly, which was found to be π_<44>=203.28×10^<-11> Pa^<-1> at an impurity concentration of 4×10^<18> cm^<-3>. This value is 2.1 times larger than that of p-type piezoresistors used in conventional piezoresistance sensors on a micrometer scale. The proposed evaluation technique and obtained result will be effective for design application of high-sensitivity mechanical sensors integrating SiNW piezoresistance elements.

  一般社団法人日本機械学会, 2014年09月07日, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2014, "J2240304 - 1"-"J2240304-5", 日本語


• 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価

  菅野公二, 松井大門, 土屋智由, 田畑修

  2014年05月, 平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 電気学会, MSS-14-011, 日本語


• 強誘電体材料をエレクトレットとして用いたマイクロ環境発電デバイス

  菅野 公二

  日本板硝子材料工学助成会, 2014年, 財団法人日本板硝子材料工学助成会成果報告書 Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering report, (35) (35), 169 - 173, 日本語


• 静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度

  中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年11月, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 電気学会, 6PM3-PSS-058, 日本語


• (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性

  上杉晃生, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年09月, 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211013, 日本語


• 多段ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工

  鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年09月, 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211017, 日本語


• ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル

  外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年09月, 日本機械学会2013年度年次大会, 日本機械学会, J211024, 日本語


• 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価

  中野篤, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年08月, Dynamics and Design Conference 2013(D&D2013), 日本機械学会, 講演番号549, 日本語


• Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography

  Y. Kato, Yoshikazu Hirai, F. van Kempen, F. van Keulen, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2013年04月, The 10th International Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology, 192 - 193, 英語


• 節付きBoschプロセスによるシリコン3層構造の作製

  北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年03月, 平成25年電気学会全国大会, 191 - 192, 日本語


• グレースケールDMD露光用3次元微細加工プロセスシミュレータ

  加藤義基, 平井義和, Floris van Kempen, Fred van Keulen, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2013年03月, 平成25年電気学会全国大会, 193 - 194, 日本語


• 原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価

  辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  Institute of Electrical Engineers of Japan, 2013年01月, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 30, 6p, 日本語


• 時間分解顕微ラマン分光のためのプルイン型MEMS光チョッパの動作特性 (2013年度年次講演会)

  谷山 彰, 小北 雄亮, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2013年01月, 日本実験力学会講演論文集, (13) (13), 129 - 131, 日本語

  [査読有り]


• AS-2-9 Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法(AS-2.超小型量子発振器・センサ,シンポジウムセッション)

  辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修

  2013年01月, 電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集, 2013, S - 28, 日本語


• Rotational motion effect on sensitivity matrix of MEMS three-axis accelerometer for realization of concurrent calibration using vibration table

  Atsushi Nakano, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Akira Umeda

  2013年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 645 - 648, 英語

  [査読有り]


• 粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析

  柳生 裕聖, 平井 義和, 牧野 圭秀, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2012年10月, 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 371 - 374, 日本語


• 単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定

  鈴木 淳也, 片岡 達哉, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋智由, 田畑 修

  2012年10月, 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」, OS7-3-5, 日本語


• 702 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における振動台回転運動の影響評価

  中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章

  The calibration method based on a vector space theory has been proposed for multi-axis accelerometers. In this method, acceleration generated from a 3-DOF vibration table and the output signal from calibration target accelerometers are treated as vector quantities and a calibration result is described as a matrix. This method has many advantages of short measurement time and cross sensitivity evaluation. In order to realize more efficient measurement, a simultaneous calibration technique is required. However, it is supposed that uncontrolled rotational motion of a 3-DOF vibration table generates position dependency on some of the elements of sensitivity matrix. This paper reports the effect of rotational motion on the vibration table in the sensitivity matrix calibration of an SOI capacitive 3-axis accelerometer. In order to clarify the rotation effect on sensitivity, we made a 6-DOF reference sensor in combination of 3 single axis accelerometers and 3 single axis gyros As a result, certain elements of the cross sensitivity show the position dependency at a 150Hz excitation, which could be near the resonant frequency of rotation. This result is explicable by approximate expression of sensitivity calculation.

  一般社団法人日本機械学会, 2012年09月18日, Dynamics & Design Conference, 2012, "702 - 1"-"702-10", 日本語


• Investigation of Nonlinear Decrease of Autofluorescence in Negative Thick-Film Resist

  Daimon Matsui, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年07月, The 6th IEEE Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2012), ac12000168, 英語


• 金ナノロッドの基板上成長によるナノギャップ電極の作製

  西野聡, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修, 武中能子

  2012年06月11日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12(1-22) (1-22), 29 - 32, 日本語


• 高感度ＳＥＲＳ分析に向けた銀ナノ粒子二量体の凝集反応解析

  片山拓, 菅野公二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修

  2012年06月11日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-12(1-22) (1-22), 33 - 38, 日本語


• Vibration analysis of coupled vertical resonators for acceleration sensitivity reduction of out-of-plane vibratory gyroscopes

  Praveen Thakur Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年04月, 2012 MRS Spring Meeting, San Francisco, B7.5, 英語


• Temperature dependency of DNA origami self-assembly rate

  C. Huang, T. Akishiba, N. Tamura, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年03月, The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 411 - 412, 英語


• Fabrication of nanogap electrodes by gold nanorod growth on substrate

  S. Nishino, Y. Takenaka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年03月, The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 652 - 653, 英語


• Modeling and elastic property simulation of epoxy-based negative photoresist using coarse-grained molecular dynamics

  H. Yagyu, Yoshikazu Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年03月, The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 999 - 1000, 英語


• Tensile testing of SWCNT using thermal actuator clamped with electrolessly deposited gold layer

  T. Kataoka, Yoshikazu Hirai, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年03月, The 7th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 335 - 336, 英語


• 自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析

  徳崎裕幸, 平井義和, 菅野公二, 田畑 修, 土屋智由

  2012年03月, 応用物理学会 第59回 応用物理学関係連合講演会, 0, 日本語


• Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS

  Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2012年, IFIP Advances in Information and Communication Technology, 379, 94 - 109, 英語


• Coarse-grained molecular dynamics simulation of epoxy-based chemically-amplified resist for MEMS application

  Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年, Materials Research Society Symposium Proceedings, 1415, 59 - 64, 英語

  [査読有り]


• Are nonlinear resonators suitable for energy harvesting?-Equivalent circuit analysis of nonlinear response of MEMS resonator

  A. Kitamura, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Tsuchiya

  2012年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1213 - 1216, 英語

  [査読有り]


• Investigation of molecular diffusivity of photoresist membrane using coarse-grained molecular dynamics simulation

  Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Tsuchiya Toshiyuki, Osamu Tabata

  2012年, 26TH EUROPEAN CONFERENCE ON SOLID-STATE TRANSDUCERS, EUROSENSOR 2012, 47, 402 - 405, 英語

  [査読有り]


• HIGH-SPEED PULSED MIXING WITH HIGH-FREQUENCY SWITCHING OF PUMPING FROM THREE MICROPUMPS

  Koji Sugano, Akihiro Nakata, Hideaki Yoshimune, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2012年, FLUID MEASUREMENTS AND INSTRUMENTATION CAVITATION AND MULTIPHASE FLOW ADVANCES IN FLUIDS ENGINEERING EDUCATION MICROFLUIDICS, VOL 2, 2, 365 - 369, 英語

  [査読有り]


• Coarse-Grained Molecular Dynamics Simulation Approach for Mechanical Property of Epoxy-Based Chemically-Amplified Resist

  Hiromasa Yagyu, Yoshikazu Hirai, Akio Uesugi, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年12月, Proceedings of International Workshop on Micro/Nano-Engineering, 88


• 微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術

  平井義和, 辻本和也, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2011年11月21日, 電気学会電子回路研究会資料, ECT-11(102-112) (102-112), 7 - 11, 日本語


• 誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング

  片岡達也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2011年09月, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 107 - 110, 日本語


• MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル

  平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2011年09月, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 334 - 339, 日本語


• ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ

  菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑 修

  2011年09月, 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 149 - 153, 日本語


• ナノギャップ電極の作製に向けた金ナノロッドの基板上成長

  西野聡, 菅野公二, 武仲能子, 田畑修, 土屋智由, 平井義和

  2011年09月, 日本化学会第63回コロイドおよび界面化学討論会, 289, 日本語


• エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性

  上杉晃生, 牧野圭秀, 柳生裕聖, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2011年09月, 日本機械学会2011年度年次大会, 2011, J161021, 日本語


• ガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術の確立と小型原子磁気センサ実装への応用

  辻本和也, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2011年07月, 関西ワークショップ2011, エレクトロニクス実装学会,, No.11, 日本語


• ナノトレンチを用いた高精度・高収率金ナノ粒子セルフアセンブル

  菅野公二, 平岡亮二, 平井義和, 土屋智由, 田畑修

  2011年07月01日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11(1-7.9-12.14-21) (1-7.9-12.14-21), 83 - 86, 日本語


• 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の合成

  菅野公二, 吉宗秀晃, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修

  2011年07月01日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11(1-7.9-12.14-21) (1-7.9-12.14-21), 73 - 78, 日本語


• 大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型ＭＥＭＳデバイスの電気等価回路の構築

  北村彰男, 平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2011年07月01日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-11(1-7.9-12.14-21) (1-7.9-12.14-21), 31 - 36, 日本語


• 電気等価回路を用いた静電櫛歯型MEMS振動子の非線形応答解析

  北村 彰男, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2011年06月, 平成23年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 31 - 36, 日本語


• Mechanical characterization of negative photoresist by nano-indentation for nano-filtration membrane

  平井 義和, 上杉 晃生, 牧野 圭秀, 柳生 裕聖, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2011年06月, The 9th International Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST2011), 62 - 63, 英語

  [査読有り]


• 高速脈動混合マイクロ流体デバイスを用いた均一粒子径金ナノ粒子の合成

  吉宗 秀晃, 中田 哲博, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2011年03月, 平成23年電気学会全国大会, 186 - 187, 日本語


• Modal harmonic simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity

  Thakur,Praveen Singh, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2011年02月, The 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,, pp. 1297-1300, 1297 - 1300, 英語

  [査読有り]


• Self-dependent equivalent circuit modeling of electrostatic comb transducers for integrated MEMS

  Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2011年, 2011 IEEE/IFIP 19th International Conference on VLSI and System-on-Chip, VLSI-SoC 2011, 208 - 213, 英語

  [査読有り]


• Epoxy-based permeable membrane fabrication for 3D microfluidic device

  Yoshikazu Hirai, Yusuke Nakai, Yoshihide Makino, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 184 - 187, 英語

  [査読有り]


• Equivalent circuit analysis of micromechanical resonator using comb transducer model with built-in displacement detection

  Hiroyuki Tokusaki, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1241 - 1245, 英語

  [査読有り]


• SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER

  K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 368 - 371, 英語

  [査読有り]


• LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY

  A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, T. Tsuchiya

  2011年, 2011 IEEE 24TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 449 - 452, 英語

  [査読有り]


• Negative-photoresist mechanical property for nano-filtration membrane embedded in microfluidics

  Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, H. Yagyu, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2011年, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2706 - 2709, 英語

  [査読有り]


• High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of micropump driving and its application to nanoparticle synthesis

  K. Sugano, H. Yoshimune, A. Nakata, Y. Hirai, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2011年, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 1773 - 1776, 英語

  [査読有り]


• Analysis of acceleration sensitivity in MEMS tuning fork gyroscope

  Praveen Singh Thakur, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2006 - 2009, 英語

  [査読有り]


• Nanogap-controllable self-assembly of gold nanoparticles using nanotrench template

  K. Sugano, R. Hiraoka, T. Tsuchiya, O. Tabata, M. Klaumunzer, M. Voigt, W. Peukert

  2011年, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2570 - 2573, 英語

  [査読有り]


• High-speed pulsed mixing with high-frequency switching of pumping from three inlet microchannels

  Koji Sugano, Hideaki Yoshimune, Akihiro Nakata, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 75 - 78, 英語

  [査読有り]


• Modal harmonie simulation of decoupled resonators for developing MEMS tuning fork gyroeope with low acceleration sensitivity

  Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuehiya, Osamu Tabata

  2011年, NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 1250 - 1253, 英語

  [査読有り]


• Analysis of acceleration sensitivity in frequency decoupled MEMS tuning fork gyroscope

  Thakur Praveen Singh, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2011年, EUROSENSORS XXV, 25, 623 - 626, 英語


• Configurable assembly of DNA origami on MEMS by microfluidic device

  C. Huang, T. Saeki, M. Endo, H. Sugiyama, C.-H. Weng, G.-B. Lee, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2011年, NEMS 2011 - 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 197 - 200, 英語

  [査読有り]


• Nanogap-controllable Arrangement of Gold Nanoparticles Using Template-Assisted Self-Assembly

  Koji Sugano, Ryoji Hiraoka, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年11月, Core-to-Core 2010 World Network Seminar on Advanced Particle Science and Technology, 99, 英語


• 単結晶Ｓｉマイクロ試験片における破壊の結晶異方性のワイブル統計解析

  脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由

  Uniaxial tensile testing for single crystal silicon (SCS) films was conducted to investigate the fracture mechanism of silicon. The loading axis of the SCS specimens had three main crystallographic orientations, that is <100>, <110>, and <111>, fabricated from one (110) silicon-on-insulator wafer. The dimensions of specimen test part were 10 μm wide, 5 μm thick, and 120 μm long having 1 μm-depth notch at the center. The measured average fracture force of <100>, <110>, and <111> specimens was 44.2, 53.5, and 45.8 mN, respectively. The difference in fracture force between <110> and <111> specimens was well elucidated with the normal stress for (111) cleavage plane using Weibull statistics considering the stress distribution on notch surface and existence of multiple cleavage planes in SCS.

  一般社団法人日本機械学会, 2010年10月12日, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集, 2nd(2) (2), 149 - 150, 日本語


• MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)

  徳崎 裕幸, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  This paper reports transient analysis in self-induced oscillation of vibrating gyroscope by using the novel electrical equivalent circuit of electrostatic comb transducer. The equivalent circuit with built-in displacement detection can analyze dc operating points which depends on external parameters like springs, bias voltage and force. By using the proposed equivalent circuit, we estimated the bias voltage dependency of oscillation risetime and voltage amplitude. By comparing the analysis and measurement of start-up response of SOG (silicon-on-glass) gyroscope, we showed the proposed equivalent circuit facilitate designing and estimate gyroscope performance.

  一般社団法人日本機械学会, 2010年10月12日, マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2010(2) (2), 141 - 142, 日本語


• チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術

  辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2010年10月, 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 656 - 661, 日本語


• （１１０）単結晶Ｓｉの引張試験における破壊の結晶異方性評価

  脇田拓, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 土屋智由, 池原毅

  In this paper, we report on uniaxial tensile tests for single crystal silicon (SCS) specimens having three different crystallographic orientations such as <100>, <110>, and <111> in loading axes, to evaluate the crystal anisotropy on the fracture behavior. The specimens were fabricated on the same (110) silicon on insulator(SOI) wafer. The test parts were 10μm wide, 5μm thick, and 120μm long and they have 1μm-depth notch at the center. The fracture force of <100>, <110>, and <111> specimens were 45.1, 55.9, and 45.5 mN, respectively. The fracture surface of <111> and <110> specimens were mostly in (111) plane.

  一般社団法人日本機械学会, 2010年09月04日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010(Vol.8) (Vol.8), 243 - 244, 日本語


• 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析

  谷山彰, 平井義和, 菅野公二, 田畑修, 池原毅, 土屋智由

  This paper describes a method for analyzing local stress in resonating single-crystal silicon (SCS) microstructures using micro Raman spectroscopy. The support beams of fan-shaped resonators with five different crystallographic orientations are used as specimens. The beam dimensions are same, which are 30μm long, 10μm wide and 5μm thick and it has a 4-μm-deep notch in its center. Raman spectra at the notch tips were measured during resonant vibrations. The observed spectra are broadened by stress oscillation. These spectra broadening are theoretically analyzed by time integration of no-stress spectra with stress distribution analysis using finite element method. The analyzed and measured spectra of the (100) Si specimens showed good agreement, which indicates the validity of this stress measurement method.

  一般社団法人日本機械学会, 2010年09月04日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010(Vol.8) (Vol.8), 255 - 256, 日本語


• 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析

  谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由

  2010年09月, 日本機械学会2010年度年次大会, 0, 日本語


• Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Rflow for Micromachined Alkali Gas-Filled Cell

  Tsujimoto Kazuya, Hirai Yoshikazu, 菅野 公二, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2010年07月, The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010), 211, 英語

  [査読有り]


• ３方向からの交互脈動送液による高速２液混合

  菅野公二, 中田哲博, 平井義和, 土屋智由, 田畑修

  2010年06月17日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-10(1-6.8-16.18-30) (1-6.8-16.18-30), 139 - 144, 日本語


• Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant Humidity Environment

  T. Tsuchiya, Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata

  2010年04月, EXPERIMENTAL MECHANICS, 50(4) (4), 509 - 516, 英語


• 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価

  脇田拓, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修, 池原 毅

  2010年03月, 第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,, pp. 39-40, 39 - 40, 日本語

  [査読有り]


• DNA-grafted-polymer mediated self-assembly of micro components

  G. Lopez, T. Tanemura, R. Sato, T. Saeki, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata, M. Fujita, M. Maeda

  2010年01月, 2010 IEEE 5th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2010, 245 - 249, 英語

  [査読有り]


• DNA Mediated self-assembly of micro-scale components and sites

  R. Sato, T. Tanemura, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2010年, 7th Annual Conference on Foundations of Nanoscience: Self-Assembled Architectures and Devices, FNANO 2010, 11 - 12, 英語

  [査読有り]


• Embedded Double-Layered Microchannel Fabrication for Microfluidic Devices Using Developer Permeability of Negative Thick-Film Resists

  Y. Hirai, Y. Nakai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2010年, EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 5, 854 - 857, 英語

  [査読有り]


• New compensation technique for the soft tissue stiffness measurements using two sensor probes configuration

  A. M. R. Fath El Bab, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata, M. E. H. Eltaib, M. M. Sallam

  2010年, EUROSENSORS XXIV CONFERENCE, 5, 1304 - 1307, 英語

  [査読有り]


• マイクロリアクタによる金ナノ粒子合成技術を紹介します

  菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年10月, APPIE 産学官連携フェア2009, 0, 日本語


• ナノ粒子を所望のパターンに配列する

  菅野公二, 平岡亮二, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年10月, APPIE 産学官連携フェア2009, 0, 日本語


• 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法

  平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年10月, 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 533-538, 533 - 538, 日本語

  [査読有り]


• 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化

  中田 哲博, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年10月, 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 483-486, 483 - 486, 日本語

  [査読有り]


• 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路

  徳崎裕幸, 菅野公二, 土屋智由, 田畑 修

  2009年10月, 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム,, pp. 518-523, 518 - 523, 日本語

  [査読有り]


• T0302-2-3 直流動作点解析に対応した静電櫛歯トランスデューサの等価回路の構築(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))

  徳崎 裕幸, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  This paper reports an electrical equivalent circuit model for describing in-plane two degree-of-freedom comb transducers. The proposed model is valid for any external parameters by building dummy spring into mis model to detect a mechanical displacement. As a result, we can analyze dc operating points by the model so that we need not to change the parameters of the model on changing the connected electrical and mechanical components, such as a dc bias, external force, and the stiffness of a spring. This model was adapted to a resonator and a frequency characteristic of 2DOF comb transducers was well represented by the model.

  一般社団法人日本機械学会, 2009年09月12日, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009(8) (8), 69 - 70, 日本語


• 混合速度・温度制御可能な金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ

  菅野公二, 内田雄喜, 平井義和, 土屋智由, 田畑修

  2009年07月23日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-09(1-13) (1-13), 7 - 12, 日本語


• 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会

  菅野公二, 内田雄喜, 平井 義和, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年07月, 平成21年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 7 - 12, 日本語


• Application of Intelligent Particles and Sensors in Environmental and Process Engineering 国際会議報告

  菅野 公二

  2009年05月10日, 粉体工学会誌, 46(5) (5), 385 - 386, 日本語


• Design and Fabrication of a Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer Using Vertical Comb Electrodes

  Toshiyuki Tsuchiya, Hiroyuki Hamaguchi, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2009年05月, IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 4(3) (3), 345 - 351, 英語


• Modeling of Self-face-alignment Process Using Contact Potential Difference

  佐藤 亮, 種村 友貴, Lopez Hinojosa Guillermo, Serry ElSayed Ahmed Mohammed, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年04月, International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 959 - 962, 英語

  [査読有り]


• Fabrication of Large-scale Nanoparticle Array using Combination of Self-assembly and 2-step Transfer

  菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修

  2009年04月, International Conference on Electronics Packaging (ICEP2009), 2009, 409 - 412, 英語

  [査読有り]


• 静電容量型ＭＥＭＳデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験

  浦靖武, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2009年03月17日, 電気学会全国大会講演論文集, 2009(3) (3), 182 - 183, 日本語

  [査読有り]


• Capacitive micromachined ultrasonic transducers with novel membrane design

  M. Sato, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2009年, PROCEEDINGS OF THE EUROSENSORS XXIII CONFERENCE, 1(1) (1), 389 - 392, 英語


• Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device

  Yasutake Ura, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2009年, TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2062 - 2065, 英語

  [査読有り]


• Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist

  Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2009年, TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1616 - 1619, 英語

  [査読有り]


• SEQUENTIAL AND SELECTIVE SELF-ASSEMBLY OF MICRO COMPONENTS BY DNA GRAFTED POLYMER

  T. Tanemura, G. Lopez, R. Sato, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata, M. Fujita, M. Maeda

  2009年, IEEE 22ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2009), 184 - 187, 英語

  [査読有り]


• Free-standing C(60) nanowire fabricated using XeF(2) sacrificial dry etching

  Toshiyuki Tsuchiya, Yasutake Ura, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata

  2009年01月, JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS, 8(1) (1), 英語


• Effective Fabrication Method for Monolithic 3-dimensional Embedded Microstructure using the Moving-mask UV Lithography Technique

  HIRAI Yoshikazu, INAMOTO Yoshiteru, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu

  2008年10月22日, Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 25th, 15 - 20, 英語

  [査読有り]


• Electrical Equivalent Circuit Model of Microfluidic System Containing Piezoelectric Valveless Micropump and Viscoelastic PDMS Microchannnel

  中田 哲博, 田中 伸治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年10月, The 12th International Conference on Miniturized Systems for Chemistry and Life Sciences, 730 - 732, 英語

  [査読有り]


• 3-dimensional Positive Thick-resist Microstructuring Adopting Wavelength Dependency of Photoresist Property

  Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2008年09月, EUROSENSORS (EUROSENSORS XXII), 1559 - 1602, 英語

  [査読有り]


• バルブレス圧電マイクロポンプと粘弾性マイクロ流路の電気等価回路

  中田哲博, 田中伸治, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2008年08月02日, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008(Vol.8) (Vol.8), 23 - 24, 日本語

  [査読有り]


• 単結晶シリコン引張試験における表面酸化の影響評価

  土屋 智由, 宮本 憲治, 菅野 公二, 田畑 修

  2008年08月, 日本機械学会2008年度年次大会,8, pp. 157-158, 8, 157 - 158, 日本語

  [査読有り]


• セルフアセンブルによるマイクロ/ナノコンポーネントのMEMSへの集積化

  佐藤 亮, 種村 友貴, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年07月, エレクトロニクス実装学会関西ワークショップ2008, 0, 日本語


• ポジ型厚膜レジストの溶解速度の露光波長依存性と３次元加工への応用

  平井義和, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  2008年06月12日, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-08(1-21) (1-21), 1 - 6, 日本語

  [査読有り]


• 電気等価回路モデルによる高周波駆動バルブレス圧電マイクロポンプの特性解析

  菅野 公二, 田中 伸治, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年06月, 平成20年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 61 - 66, 日本語


• Design of a soft X-ray source with periodic microstructure using resonance transition radiation for tabletop synchrotron

  Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2008年05月, IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING, 3(3) (3), 268 - 273, 英語


• Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution

  Kenji Miyamoto, Tomoya Jornori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya

  2008年05月, SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 143(1) (1), 136 - 142, 英語


• Contact Potential Difference for Face Alignment of Submillimeter Components with Chemical Reaction Kinetics

  T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Karl F Bhringer

  2008年04月, FNANO2008, 0, 英語


• 2122 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブルとアセンブルプロセスのモデリング(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)

  佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  Novel self-assembly process using electrostatic adhesion energy induced by contact electrification phenomenon was proposed and its analytical formulation was performed for the first time. The contact electrification, which is observed when two different metals, such as platinum (Pt) - Silver (Ag) are contacted, was utilized to align a face of a component on a substrate. First, two types of 1 mm square silicon components with thickness of 0.5 mm coated with Pt or Ag and R substrate were prepared. Adhesion energies for two different metal pairs (Pt-Ag and Pt-Pt) were measured by measuring the vibration energy to separate the components from the vibrating substrate. The experimental results indicated the adhesion energy between Pt-Pt was 0.57 nJ, and Pt-Ag was 1.4 nJ on an average. Next, the face alignment experiment was carried out by vibrating the substrate on which 20 components with thickness of 0.2 mm were placed. The front and back face of the components were coated with R and Ag, respectively and they were split into half of R face up and the other half of Ag face up. We could get 83 % components were aligned as R face up. Finally, modeling of the proposed self-assembly process was performed based on the concept of chemical reaction formula. The forward and reverse reaction rates of the face alignment process were determined by fitting the foumula to the experimental data.

  一般社団法人日本機械学会, 2008年03月17日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008, 271 - 274, 日本語


• 2121 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)

  樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  We developed, for the first time, the manipulation system based on optoelectronic tweezers (OET) which manipulates multiple nano/micro components on an arbitrary substrate with concurrent observation of the component motion. It uses CdS as a photoconductive film. Since CdS transmits red light and absorbs blue light, red light is utilized for the observation and blue light is utilized for the manipulation. The photoconductive electrode substrate which generates the nonuniform electric field for the component manipulation using dielectrophoresis consists of CdS on comb ITO electrode. Using the substrate, it was successfully demonstrated to manipulate a silica particle. Light projected CdS/ITO area had the higher electric field and repelled silica particle. By appling 10 V at 100 kHz, manipulation force of 0.6 pN was induced and manipulated silica particle speed was about 7 μm/s.

  一般社団法人日本機械学会, 2008年03月17日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008, 269 - 270, 日本語


• 微小コンポーネントの接触帯電によるセルフフェースアライメントプロセスのモデリング

  佐藤 亮, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年03月, 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0, 日本語


• 任意基板への微小要素の集積化のためのマニピュレーションシステム

  樋口 雄一, 日下部 達哉, 種村 友貴, 佐藤 亮, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年03月, 機械学会 情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会, 0, 日本語


• 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOI ジャイロスコープ

  濱口 裕之, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年03月, 電気学会全国大会,3, pp. 195-196, 3, 195 - 196, 日本語

  [査読有り]


• レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの３次元微細加工技術

  平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2008年03月, 電気学会全国大会,3, pp. 138-139, 3, 138 - 139, 日本語

  [査読有り]


• Y-AXIS VIBRATING SOI GYROSCOPE USING VERTICAL COMB ELECTRODES

  H. Hamaguchi, K. Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2008年, The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), 0, 英語


• Effect of surface oxide layer on mechanical properties of single crystalline silicon

  Kenji Miyamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2008年, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - MATERIALS AND DEVICES, 1052, 53 - 58, 英語

  [査読有り]


• Contact potential difference for sequential assembly and face alignment of submillimeter components

  T. Tanemura, Y. Higuchi, T. Kusakabe, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2008年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1056 - 1059, 英語

  [査読有り]


• DNA mediated sequential self-assembly of nano/micro components

  T. Kusakabe, T. Tanemura, Y. Higuchi, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2008年, MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 1052 - 1055, 英語

  [査読有り]


• Gold nanoparticle patterning by self-assembly and transfer for LSPR based sensing

  T. Ozaki, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2008年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 1048 - 1051, 英語

  [査読有り]


• Manipulation system for nano/micro components integration via transportation and self-assembly

  Y. Higuchi, T. Kusakabe, T. Tanemura, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2008年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 836 - 839, 英語

  [査読有り]


• Fabrication of free-standing fullerene nanowire using direct electron beam writing and sacrificial dry etching

  T. Tsuchiya, T. Jomori, Y. Ura, K. Sugano, O. Tabata

  2008年, MEMS 2008: 21ST IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 689 - 692, 英語

  [査読有り]


• 超小型触覚ディスプレイ用垂直駆動SMA 薄膜アクチュエータの設計

  吉川弥, 篠部晃生, 菅野公二, 土屋智由, 石田章, 田畑修

  2008年, 電気学会センサ・マイクロマシン部門誌, 128(4) (4), 6 - 160, 日本語


• Design and simulation of a tactile sensor for soft-tissue compliance detection

  Ahmed M.R. Fath El Bab, Tomohisa Tamura, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Mohamed E. H. Eltaib, Mohamed M. Sallam

  2008年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128(5) (5), 186 - 192, 英語


• Air damping in a fan-shaped rotational resonator with comb electrodes

  Yuki Uchida, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Tsuyoshi Ikehara

  2008年, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 128(5) (5), 203 - 208, 英語


• Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon

  MIYAMOTO Kenji, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu

  2007年10月16日, Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 24th, 165 - 168, 英語

  [査読有り]


• 接触帯電による静電付着エネルギーを利用したセルフアセンブル

  種村 友貴, 日下部 達哉, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  Novel self-assembly process using electrostatic adhesion energy induced by contact electrification phenomenon is proposed for the first time. The contact electrification, which is observed when two different metals, such as platinum (Pt)-Silver (Ag) are contacted, was utilized to align a face of a component on a substrate. Two types of 1mm square silicon components with thickness of 0.5mm coated with Pt or Ag and Pt substrate were prepared. Adhesion energies for two different metal pairs (Pt-Ag and Pt-Pt) were measured by measuring the vibration energy to separate the components from the vibrating substrate. The experimental results indicated the adhesion energy between Pt-Pt was 0.57nJ, and Pt-Ag was 1.4nJ on an average. Secondly, the face alignment experiment was carried out by vibrating the substrate on which 20 components with thickness of 0.2mm were placed. The front and back face of the components were coated with Pt and Ag, respectively and they were split into half of Pt face up and the other half of Ag face up. Finally, we could get 83% components were aligned as Pt face up.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年09月, 日本機械学会2007年度年次大会, 2007, 313 - 314, 日本語


• 低侵襲触覚センサーの構造設計

  田村 智久, ファス エルバブアハメッド, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年09月, 日本機械学会2007年度年次大会, 307 - 308, 日本語


• 移動マスクUV露光法によるポジ型厚幕レジストの3次元加工と形状シミュレーション技術

  平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年09月, 日本機械学会2007年度年次大会, 303 - 304, 日本語


• ナノテンプレートを用いたセルフアセンブルによる粒子パターン形成

  尾崎 貴志, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年08月, 粉体工学会第43回夏期シンポジウム, 52 - 53, 日本語


• DNAの選択性およい温度特性を利用したAuナノ微粒子のセルフアセンブル

  日下部 達哉, 種村 友貴, 樋口 雄一, 菅野 公二, 土屋 智由

  2007年08月, 粉体工学会第43回夏期シンポジウム,, pp. 19-20, 19 - 20, 日本語

  [査読有り]


• 電気等価回路を用いたバルブレス圧電マイクロポンプの流れ特性解析とその実験的評価

  田中 伸治, 市橋 治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年07月, 電気学会総合研究会, 2007(1) (1), 79 - 84, 日本語


• Fast Marching Methodを適用した移動マスクUV露光用加工形状シミュレーション技術

  平井 義和, 稲本 好輝, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年07月, 電気学会総合研究会, 2007(1) (1), 19 - 24, 日本語


• マイクロ流体デバイスを用いた混合速度制御による金ナノ粒子作製

  菅野 公二, 田中 伸治, 市橋 治, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年06月, 化学とマイクロシステム, 0, 日本語


• Versatile method of submicroparticle pattern formation using self-assembly and two-step transfer

  Takashi Ozaki, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2007年06月, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 16(3) (3), 746 - 752, 英語


• 1119 静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験(要旨講演,マイクロメカトロニクス)

  城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  A new on-chip tensile testing device using electrostatic actuation and detection was designed and fabricated from an SOI wafer to evaluate the mechanical properties of carbon nano materials such as carbon nano-tubes and fullerenes. In this device, force is generated by electrostatic comb drive actuator and tensile force on specimen is measured as the deformation of force-measuring spring. The specimen elongation and the spring deformation are detected as capacitance changes. As a result of design, we predicted high resolution of elongation and tensile force, which are 1nm and 1nN respectively. In order to assemble carbon nano-material on this device, a new technique for fabricating a free-standing fullerene nano-wire was proposed. This wire was fabricated using electron beam writing and sacrificial dry etching. By irradiated vacuum-deposited fullerene thin film with electron beam, polymerized fullerene nano-wires were patterned. Then, the doubly-supported beam structure of the fullerene nano-wire was obtained by sacrificial dry etching using XeF_2 gas.

  一般社団法人日本機械学会, 2007年03月19日, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2007, 66 - 69, 日本語


• 移動マスクUV露光法による埋め込み型流路の作製

  稲本 好輝, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年03月, 平成19年，電気学会全国大会, 181 - 182, 日本語


• DNA修飾した微小コンポーネントのシーケンシャルセルフアセンブリ

  日下部達哉, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年03月, 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82 - 83, 日本語


• EB描画によるナノパターンを用いたナノ粒子アセンブル

  菅野 公二, 尾崎 貴志, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年03月, 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「分子・物質総合合成・解析支援グループ」成果発表会, 82 - 83, 日本語


• 静電容量型MEMS デバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験

  城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2007年03月, 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会, 0, 日本語


• Moving mask UV lithography for three-dimensional structuring

  Yoshikazu Hirai, Yoshiteru Inamoto, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2007年02月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 17(2) (2), 199 - 206, 英語


• Tensile-mode fatigue tests and fatigue life predictions of single crystal silicon in humidity controlled environments

  Y. Yamaji, K. Sugano, O. Tabata, T. Tsuchiya

  2007年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 267 - 270, 英語

  [査読有り]


• Mechanical calibration of MEMS spring with 0.1-mu N force resolution

  Kenji Miyamoto, Tomoya Jomori, Koji Sugano, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya

  2007年, PROCEEDINGS OF THE IEEE TWENTIETH ANNUAL INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 21 - 24, 英語

  [査読有り]


• Design and analysis of resonance transition radiation X-ray source for tabletop synchrotron

  Koji Sugano, Weiyu Sun, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2007年, AIP Conference Proceedings, 902, 121 - 124, 英語

  [査読有り]


• Tensile testing of single crystal silicon thin films at 800 degrees C using IR heating

  T. Ikeda, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 571 - 574, 英語

  [査読有り]


• Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model

  S. Tanaka, O. Ichihashi, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 2183 - 2186, 英語

  [査読有り]


• Moving-mask UV lithography for 3-dimensional positive- and negative-tone thick photoresist microstructuring

  Y. Hirai, Y. Inamoto, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2007年, TRANSDUCERS '07 & EUROSENSORS XXI, DIGEST OF TECHNICAL PAPERS, VOLS 1 AND 2, 545 - 548, 英語

  [査読有り]


• A differential caeacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

  H. Hamaguchi, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2007年, TRANSDUCERS and EUROSENSORS '07 - 4th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 1483 - 1486, 英語

  [査読有り]


• Temperature controlled capillary driven sequential stacking self-assembly using two different adhesives

  Yuichi Higuchi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2007年, 6TH INTERNATIONAL IEEE CONFERENCE ON POLYMERS AND ADHESIVES IN MICROELECTRONICS AND PHOTONICS, PROCEEDINGS 2007, 128 - +, 英語

  [査読有り]


• 2種類の液滴の界面張力を用いた逐次積層セルフアセンブル

  樋口雄一, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修

  In this paper, a new sequential stacking self-assembly using interfacial tension of two different droplets of TEGDMA (Triethyleneglycol Dimethacrylate) and 42Sn-58Bi solder was proposed. TEGDMA with an additional thermal initiator is liquid at room temperature and hardens by heat. 42Sn-58Bi solder is solid at room temperature and melts at 138 °C. Since interfacial tension of TEGDMA and 42Sn-58Bi solder are selectively utilized by setting the process temperature at room temperature for TEGDMA and 150 °C for 42Sn-58Bi solder, the sequential self-assembly of different components can be realized. The feasibility of the proposed process and alignment accuracy were experimentally examined using 1 mm square silicon chips as test components. The first component assembly on a substrate was carried out at room temperature using TEGDMA as an adhesive agent, and the second component assembly on the assembled component was carried out at 150 °C using 42Sn-58Bi solder as an adhesive agent. Both self-assembly processes were carried out in EG (Ethylene Glycol) solvent with an additional sulfuric acid. It was confirmed that the first and second self-assembly was successfully done at room temperature and at 150 °C, and alignment accuracy of first and second self-assembly were 33 μm and a few μm, respectively.

  The Institute of Electrical Engineers of Japan, 2007年, 電気学会センサ・マイクロマシン準部門論文誌, 127(4) (4), 214 - 220, 日本語


• 単層カーボンナノチューブ引張試験のための静電容量型MEMS デバイスの構造設計

  城森 知也, 宮本 憲治, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2006年12月, 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0, 日本語


• 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価

  池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2006年12月, 第50回日本学術会議材料工学連合講演会, 0, 日本語


• Sub-Micro Particles Patterning Using Self-Assembly and Two-Step Printing

  OZAKI Takashi, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu

  2006年10月05日, Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 19 - 22, 英語

  [査読有り]


• A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

  HAMAGUCHI Hiroyuki, SUGANO Koji, TSUCHIYA Toshiyuki, TABATA Osamu

  2006年10月05日, Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst, 23rd, 471 - 476, 英語

  [査読有り]


• 移動マスクUV露光法による厚膜レジストの三次元微細加工技術

  平井 義和, Inamoto, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2006年10月, Proceedings of the 23rd Sensor Symposium, 471 - 476, 日本語


• 電磁式天秤を用いたマイクロ構造のバネ定数測定

  宮本 憲治, 城森 知也, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2006年09月, 日本機械学会2006年年次大会, 0, 日本語


• 薄膜材料の高温引張試験に関する基礎検討

  池田哲郎, 菅野公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2006年05月, 電気学会E部門総合研究会, MSS-06-18, 83 - 87, 日本語


• 単結晶シリコン薄膜の環境制御引張疲労試験

  山地 祐輔, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2006年03月, 電気学会全国大会, 3, 198 - 199, 日本語


• Vertical drive micro actuator using SMA thin film for a smart button

  W Yoshikawa, A Sasabe, K Sugano, T Tsuchiya, O Tabata, A Ishida

  2006年, MEMS 2006: 19TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 2006, 734 - 737, 英語

  [査読有り]


• Fabrication of gold nanoparticle using pulsed mixing method with valveless micropumps

  K. Sugano, H. Yamada, O. Ichihashi, T. Tsuchiya, O. Tabata

  2006年, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2006, 546 - 549, 英語

  [査読有り]


• Tensile-Mode Fatigue Test of Single Crystal Silicon Thin Films Using Electrostatic Grip

  Yusuke Yamaji, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2005年10月, PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 311 - 315, 英語


• Gold Nanoparticles Synthesis With Pulsed Mixing Method

  Hideo Yamada, Osamu Ichihashi, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  2005年10月, PROCEEDINGS OF THE 22ND SENSOR SYMPOSIUM, 329 - 332, 英語


• 粒子アセンブルにおける液中微粒子の付着力評価

  市橋 治, 李 周原, 石井 昌宏, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  2005年06月, 電気学会E部門総合研究会, 2005(21) (21), 57 - 62, 日本語


• Micropowder blasting with nanoparticles dispersed polymer mask for rapid prototyping of glass chip

  H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata

  2005年06月, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 15(6) (6), 1236 - 1241, 英語


• ICP-RIEを用いた成型用微細シリコン型の作製

  大野 泰和, 菅野 公二, 田畑 修

  2005年03月10日, 電気学会研究会資料. MSS, マイクロマシン・センサシステム研究会, 2005(1) (1), 49 - 54, 日本語


• Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  2004年07月, Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology, 547 - 552, 英語


• Simulation of Surface Roughness in Si Etching with XeF2

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  2004年, 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 483 - 488, 日本語


• マイクロブラストを用いたμ-TASガラスチップの作製

  楠原賢治, 菅野公二, 田畑 修, 柳生裕聖

  2004年, 電気学会E部門総合研究会, 75 - 80, 日本語


• Rapid prototyping of glass chip with micro-powder blasting using nano-particles dispersed polymer

  H Yagyu, K Sugano, S Hayashi, O Tabata

  2004年, MEMS 2004: 17TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST, 697 - 700, 英語

  [査読有り]


• マイクロマシニングを用いた軟Ｘ線遷移放射ターゲット

  菅野 公二, 田畑 修, 辻 慎史, 豊杉 典生, 山田 廣成

  2003年, 電気学会研究会資料，マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-03-35, 35 - 39, 日本語


• Reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF2 etching of Si

  K. Sugano, O. Tabata

  2003年, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4979, 62 - 69, 英語

  [査読有り]


• Reduction of surface roughness and aperture size effect for etching of Si with XeF2

  K. Sugano, O. Tabata

  2002年11月, Journal of Micromechanics and Microengineering, 12(6) (6), 911 - 916, 英語


• Effects of aperture size and pressure on XeF2 etching of silicon

  K Sugano, O Tabata

  2002年11月, MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 9(1-2) (1-2), 11 - 16, 英語


• Techniques for reduction in surface roughness and aperture size effect for XeF2 etching of Si

  K Sugano, O Tabata

  2002年, MHS2002: PROCEEDINGS OF THE 2002 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROMECHATRONICS AND HUMAN SCIENCE, 47 - 52, 英語


• XeF2 を用いたSi エッチングにおける表面粗さと加工深さの制御

  菅野 公二, 田畑 修

  2002年, 第19回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 303 - 308, 日本語


• XeF2エッチングにおけるエッチング特性と紫外線照射によるマスク材のエッチレート制御

  菅野 公二, 田畑 修

  2001年, マイクロマシニング研究会, 0, 日本語


• Etching rate control of mask material for XeF2 etching using UV exposure

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  2001年, Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering, 4557, 18 - 23, 英語

  [査読有り]


• Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure

  2001年, 電気学会センサ・マイクロマシン準部門論文誌, Vol.121-E, No.12, pp.327-332


• Selectivity Control of Mask Material for XeF2 Etching Using UV light Exposure

  2001年, 電気学会センサ・マイクロマシン準部門論文誌, Vol.121-E, No.12, pp.327-332


• Effects of etching pressure and aperture width on Si etching with XeF₂

  K. Sugano, O. Tabata

  2000年, Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 89 - 94, 英語

  [査読有り]


• Study on XeF₂ pulse etching using wagon wheel pattern

  Koji Sugano, Osamu Tabata

  1999年, Proceedings of the International Symposium on Micro Machine and Human Science, 163 - 167, 英語

  [査読有り]

• 静電型マイクロ振動子トランスデューサを用いたシリコン近赤外光強度センサ

  中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年11月, 日本語

  ポスター発表


• Electrical and Optical Characterization of Nanogap Electrodes with an Assembled Gold Nanoparticle Chain

  Takayuki Sumitomo, Akihiro Morita, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2020年11月, 英語

  口頭発表（一般）


• Growth Direction of VLS Silicon Nanowires with Surface Nanoholes Formed Using MACE

  Akio Uesugi, Taiju Horita, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2020), 2020年11月, 英語

  口頭発表（一般）


• マイクロ振動子のたわみ制御による振動型光センサの高感度化

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• ⾦ナノ構造光吸収体集積静電型マイクロ振動⼦デバイスによる近⾚外光強度センシング

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  ポスター発表


• 光センシングマイクロ共振デバイスの梁長さおよび振幅が計測分解能に与える影響

  近藤 直輝, 竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 高温パンチクリープ成形技術を用いた3軸力覚センサの開発および被覆樹脂の粘弾性特性を考慮したセンサ性能評価

  澤田 和磨, 丹村 響介, 大坂 憲司, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 金ナノ構造を用いた波長依存性を有するSOI型近赤外ボロメータ素子

  坪田 達也, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体を用いたナノギャップ電極の作製とその電気的・光学的評価

  住友 孝行, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 近赤外吸収体を有する静電型マイクロ振動子デバイスを用いた水の分光測定

  鈴木 隆正, 中藤 康太, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2020年10月, 日本語

  口頭発表（一般）


• シリコンマイクロ振動子光センサにおける共振周波数特性の形状依存性

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語

  ポスター発表


• 架橋成長Si ナノワイヤの熱電特性評価に関する研究

  北川 諒, 岸本 卓巳, 小國 凌, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語

  ポスター発表


• コアシェルSiC ナノワイヤの電気伝導性に及ぼすシェル表面電位

  井ノ山 滉大, 仲田 進哉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語

  ポスター発表


• 金ナノグレーティング構造の光吸収ピーク波長制御による高感度レーザ波長計測マイクロ振動子デバイス

  竹上 航平, 新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語

  ポスター発表


• 光励起ナノギャップ電極を用いたDNA オリゴマーの光トラップおよび1 分子検出

  森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体表面増強ラマン分光によるDNA オリゴマーの1 塩基検出

  金谷 恭臣, 丸岡 克成, 森田 明宏, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月, 日本語

  ポスター発表


• Evaluation of Thermoelectric Properties of VLS-Grown Bridged Si Nanowire

  Akio Uesugi, Ryo Kitagawa, Ryo Oguni, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019), 2019年10月, 英語

  ポスター発表


• Near-Infrared Light Absorbers Using Si-Deposited Gold Nanowire Grating Structures

  Kohei Takegami, Naoyuki Arai, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019), 2019年10月, 英語

  ポスター発表


• Effect of The Numbers of Beams and Corners on Resonant Frequency Response of Silicon Microresonator to Near-Infrared-Light Irradiation for Optical Sensing

  Kohei Takegami, Naoyuki Arai, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019), 2019年10月, 英語

  ポスター発表


• Effect of Gold Nanoparticle Diameter on Raman Intensity of DNA Oligomers toward Single Nucleobase Detection

  Keji Murotani, Katsunari Maruoka, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019), 2019年10月, 英語

  口頭発表（一般）


• Microresonator-Based Photodetector of Near-Infrared Light Using Electrostatic Transducers

  Kota Nakafuji, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019), 2019年10月, 英語

  口頭発表（一般）


• Single-molecule Surface Enhanced Raman Spectroscopy Using Gold Nanoparticle Dimer

  Koji Sugano

  2019 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (IEEE OMN 2019), 2019年08月, 英語

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of DNA with Single-Molecule Sensitivity Using Gold Nanoparticle Dimer

  Koji Sugano

  The 19th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO2019), 2019年07月, 英語

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• SERS detection of a single nucleobase in a DNA oligomer using gold nanoparticle dimer

  Koji Sugano, Katsunari Maruoka, Akio Uesugi, Yoshitada Isono

  The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2019), 2019年06月, 英語

  ポスター発表


• Manipulation of biomolecules into nanogap by plasmonic optical excitation for highly sensitive biosensing

  Akihiro Morita, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2019), 2019年06月, 英語

  口頭発表（一般）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of DNA Bases Using Gold Nanoparticle Dimer Array

  Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), 2018年11月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Development of 3D Formed Tactile Sensor by High Temperature Punch Creep Forming Technique

  Kyosuke Nimura, Kenji Osaka, Takao Toyoda, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018), 2018年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• VLS成長SiNW単体に対する熱電変換特性評価

  北川 諒, 井本 大暉, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2018年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• Si薄膜被覆金ナノグレーティング構造の近赤外域光吸収スペクトル偏光依存性

  新居 直之, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2018年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 単結晶シリコン薄膜の高温パンチクリープ成形による極小3軸力覚センサの開発

  丹村 響介, 大坂 憲司, 豊田 崇夫, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本材料学会マルチスケール材料力学シンポジウム, 2018年05月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• A Novel 3-axis Tiny Tactile Sensor Developed by 3-D Microstructuring Using Punch Creep Forming Process

  Kenji Osaka, Satoshi Nakata, kensuke Yamamoto, Takao Toyoda, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2018), 2018年01月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of Adenine Molecule Using Single Dimer of Gold Nanoparticles

  Katsunari Maruoka, Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017), 2017年11月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Laser Wavelength Measurement Using Gold Nanoparticle Aggregate Integrated Microresonator

  Koji Sugano, Shuji Joya, Naoyuki Arai, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017), 2017年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 単一金ナノ粒子二量体を用いた表面増強ラマン分光によるDNAオリゴマー1分子検出

  丸岡 克成, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 高温クリープ立体成形技術による極小MEMS触覚センサの開発研究

  大坂 憲司, 中田 悟史, 山本 賢祐, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• Si薄膜被覆金ナノワイヤグレーティング構造の近赤外域光学特性評価

  新居 直之, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• Evaluation of mechano-electric properties for VLS-grown core/shell silicon carbide nanowires

  Shinya Nakata, Daiki Imoto, Francesca Rossi, Giancarlo Salviati, Alois Lugstein, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  14th International Conference on Fracture, 2017年06月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• VLS成長Core/Shell-SiCナノワイヤのピエゾ抵抗効果に及ぼすSiO2被覆の影響

  仲田 進哉, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本材料学会マルチスケール材料力学シンポジウム, 2017年05月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• ボトムアップナノ構造形成技術とバイオ・ケミカルセンサへの応用

  菅野 公二

  平成29年電気学会全国大会, 2017年03月, 日本語, 国内会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• 単一金ナノ粒子二量体を用いたアデニンの表面増強ラマン分光検出

  丸岡 克成, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会, 2016年12月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Si薄膜被覆金ナノワイヤアレイ構造の光学特性評価

  新居 直之, 城谷 修司, 菅野 公二, 磯野 吉正

  フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会, 2016年12月, 日本語, ，城谷修司，菅野公二，磯野吉正, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Piezoresistance effect of VLS-synthesized core/shell-SiC nanowires

  Shinya Nakata, Daiki Imoto, Koji Sugano, Francesca Rossi, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Near Infrared Optical Absorption Property of Gold Nanoparticle Aggregates for Laser Wavelength Measurement

  Shuji Joya, Naoyuki Arai, Yuki Tanaka, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• High temperature creep forming technique of single crystal silicon thin film for 3D MEMS tactile sensors

  Kensuke Yamamoto, Satoshi Nakata, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Highly-Sensitive and Rapid Detection of DNA bases using Surface-Enhanced Raman Spectroscopy with Gold Nanoparticle Dimer Array

  Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Symposium on Micro-Nano Science and Technology2016, 2016年12月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• Single-Molecule Surface-Enhanced Raman Spectroscopy of 4,4'-bipyridine on Fabricated Substrates with Directionally Arrayed Gold Nanoparticle Dimers

  Koji Sugano, Kiyohito Aiba, Kohei Ikegami, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Optimization of Gold Nanorod Array Structure on Microresonator for Resonant-Based Laser Wavelength Measurement Using Photothermal Conversion

  Koji Sugano, Yuki Tanaka, Etsuo Maeda, Reo Kometani, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Mechanical Characterization of VLS-Grown Core-Shell SiC Nanowires for Nanomechanical Sensors

  Shinya Nakata, Koji Sugano, Francesca Rossi, Giancarlo Salyiati, Alois Lugstein, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Characterization Method of Relative Raman Enhancement for Surface Enhanced Raman Spectroscopy Using Gold Nanoparticle Dimer Array

  Kohei Ikegami, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016), 2016年11月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の高感度・高速表面増強ラマン分光

  池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノロッド構造を用いた光熱変換によるレーザ光波長計測マイクロ振動子デバイス

  菅野 公二, 田中 祐樹, 前田 悦男, 米谷 玲皇, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 逆解析手法による単結晶Si薄膜の高温クリープ特性解明と触覚センサ開発への応用

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 逆解析による単結晶Si薄膜の三次元高温クリープ成形加工技術の確立

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本機械学会 M&M2016材料力学カンファレンス, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• VLSボトムアップ成長Core/Shell-SiCナノワイヤのMEMS援用ピエゾ抵抗特性評価

  仲田 進哉, 井本 大暉, Feancesca Rossi, Alois Lugstein, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2016年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Single Molecule SERS with Directionally Arrayed Gold Nanoparticle Dimers on Substrate

  Koji Sugano

  Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-state Science 2016 (PRiME2016), 2016年10月, 英語, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• 逆解析手法による単結晶シリコン薄膜の高温クリープ三次元成形加工技術の確立

  山本 賢祐, 中田 悟史, 菅野 公二, 磯野 吉正

  マルチスケール材料力学シンポジウム, 2016年05月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 3C-SiCNWのMEMS援用Elastic Strain Engineering研究 －ピエゾ抵抗効果の実験解明

  仲田 進哉, 井本 大暉, 菅野 公二, 磯野 吉正

  マルチスケール材料力学シンポジウム, 2016年05月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Plasmonic Nanostructure based on Self-Assembled Gold Nanoparticles for Highly Sensitive Surface-Enhanced Raman Spectroscopy

  Koji Sugano

  The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS2016), 2016年04月, 英語, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• Fabrication and Characterization of CNT Forest Integrated Micromechanical Resonator for Rarefied Gas Sensor

  Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Ryota Tsutsui, Hiroyuki Kishihara, Naoki Matsuzuka, Yoshitada Isono

  The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016), 2016年04月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Crystal Orientation Dependence of Piezoresistivity for VLS-Grown Single Crystal Silicon Nanowires

  Shinya Nakata, Yuma Kitada, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016), 2016年04月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Gold Nanoparticle Synthesis Using High-Speed Pulsed Mixing Microfluidic Device

  Koji Sugano, Ayumi Maedomari, Yuki Tanaka, Yoshitada Isono

  28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2015), 2015年11月, 英語, 国際会議

  ポスター発表


• 金ナノ粒子二量体配列を用いた表面増強ラマン分光におけるラマン増強度評価法

  池上 晃平, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体配列を用いたDNA塩基の表面増強ラマン分光

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 金ナノ粒子二量体配列における表面増強ラマン分光1分子検出特性

  饗庭 清仁, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子直線状配列を用いた表面増強ラマン分光の特性評価

  池上 晃平, 竹下 俊光, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• VLS成長シリコンナノワイヤの歪み誘起電気伝導特性の結晶方位依存性

  仲田 進哉, 北田 勇馬, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第32回「センサ・マイクロマシン と応用システム」シンポジウム, 2015年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Evaluation of Piezoresistivity for VLS-Grown Silicon NanowiresUnder Enormous Elastic Strain

  Sinya Nakata, Yuma Kitada, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, Koji Sugano, Yoshitada Isono

  International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2015 (ATEM'15), 2015年10月, 英語, 国際会議

  口頭発表（一般）


• 直線状金ナノ粒子配列の表面増強ラマン分光特性

  竹下 俊光, 池上 晃平, 菅野 公二, 磯野 吉正

  平成27年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2015年07月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy Analysis Using Micro/Nanofluidic Devices with Gold Nanoparticle-Embedded Nanochannels

  Koji Sugano, Keisuke Suekuni, Toshimitsu Takeshita, Yoshitada Isono

  27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2014), 2014年11月, 英語, Fukuoka, Japan, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Highly-sensitive Surface-Enhanced Raman Spectroscopy with Directionally-Arrayed Gold Nanoparticle Dimers

  Koji Sugano, Daimon Matsui, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2014), 2014年11月, 英語, Fukuoka, Japan, 国際会議

  ポスター発表


• 半導体ナノワイヤ物性評価のためのMEMS-Based Strain Engineering

  北田 勇真, 川瀬 真也, 菅野 公二, Stefan Wagesreither, Alois Lugstein, 磯野 吉正

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  ポスター発表


• 金粒子配列ナノ流路を用いた表面増強ラマン分光分析デバイス

  竹下 俊光, 末國 啓輔, 饗庭 清仁, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光

  菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修

  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2014年10月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MEMS デバイスによる多層カーボンナノチューブの層間すべり変形機構の解明

  竹下 俊光, 木村 大気, 菅野 公二, 磯野 吉正

  日本機械学会2014年度年次大会, 2014年09月, 日本語, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Surface-Enhanced Raman Spectroscopy for Molecular Trace Analysis using Directionally-Arranged Gold Nanoparticles

  Koji Sugano

  2014 International Symposium of Materials on Regenerative Medicine (2014 ISOMRM), 2014年08月, 英語, Tao-Yuan, Taiwan, 国際会議

  [招待有り]

  口頭発表（招待・特別）


• 一方向に配列した金ナノ粒子二量体構造の表面増強ラマン分光特性評価

  菅野 公二, 松井 大門, 土屋 智由, 田畑 修

  平成26年度電気学会マイクロマシン・センサシステム部門総合研究会, 2014年05月, 日本語, 東京大学，東京, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 表面増強ラマン分光法のための金粒子配列ナノチャンネルの作製

  末國 啓輔, 竹下 俊光, 菅野 公二, 磯野 吉正

  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2013年11月, 日本語, 仙台, 国内会議

  ポスター発表


• Development of MWCNT Embedded Micromechanical Resonator Working as rarefied Gas Sensor

  松本 竜, 岸原 宏幸, 菅野 公二, 花崎 逸雄, 山下 一郎, 浦岡 行治, 磯野 吉正

  応用物理学会 関西支部第2回講演会, 2013年10月, 日本語, 奈良, 国内会議

  ポスター発表


• 多段 ICP-RIEプロセスを用いた架橋構造Siナノワイヤの加工

  鈴木 淳也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  日本機械学会 2013年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山, 国内会議

  口頭発表（一般）


• ビオチン修飾1本鎖DNAを用いた単層カーボンナノチューブのギャップ電極への孤立アセンブル

  外薗 洸佑, 鈴木 淳也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  日本機械学会 2013年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山, 国内会議

  口頭発表（一般）


• MWCNT-Embedded MEMS Resonator Fabricated by Bio-MEMS Compatible Process for Rarefied Gas Sensing

  Koji Sugano, Ryu Matsumoto, Yukiharu Uraoka, Ichiro Yamashita, Yoshitada Isono

  2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013年09月, 英語, Kyoto, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Atomic MEMSのための新規なアルカリ金属蒸気セル作製手法

  辻本 和也, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 藩 和宏, 水谷 夏彦, 田畑 修

  電子情報通信学会 ソサイエティ大会, 2013年09月, 日本語, 福岡, 国内会議

  口頭発表（一般）


• (100)及び(110)単結晶シリコンにおける引張強度の結晶方位依存性

  上杉 晃生, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修

  日本機械学会 2013年度年次大会, 2013年09月, 日本語, 岡山, 国内会議

  口頭発表（一般）


• 3軸加速度センサのマトリックス感度校正における取付角度誤差の影響評価

  中野 篤, 平井 義和, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修, 梅田 章

  日本機械学会 Dynamics and Design Conference 2013 (第13回「運動と振動の制御」シンポジウム), 2013年08月, 日本語, 福岡, 国内会議

  口頭発表（一般）


• Fractography Analysis of Tensile Tested (110) Silicon Prepared by Different Surface Morphology and Crystal Orientations

  Akio Uesugi, Yoshikazu Hirai, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK2013), 2013年07月, 英語, Burlingame, USA, 国際会議

  口頭発表（一般）


• Novel process optimization approach for DMD-based grayscale 3D microstructuring photolithography

  Yoshiki Kato, Yoshikazu Hirai, Floris van Kempen, Fred van Keulen, Koji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata

  ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Integration of Electronic and Photonic Microsystems (InterPACK2013), 2013年04月, 英語, Berlin, Germany, 国際会議

  口頭発表（一般）

• The Society of Powder Technilogy, Japan


• The Japan Society of Mechanical Engineers


• Japan Institute of Electronics Packaging


• The Institute of Electrical Engineers of Japan


• IEEE(The Institute of Electrical and Electronics Engineers)


• 粉体工学会


• (社)日本機械学会


• エレクトロニクス実装学会


• 電気学会


• IEEE

• マイクロナノ融合プロセスによる光電気複合型ナノポアセンサデバイスの基盤技術構築

  田畑 修, 菅野 公二, 山下 直輝, 川合 健太郎

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 2019年04月 - 2022年03月, 研究分担者


• 表面増強ラマン分光を用いた次世代DNAシーケンシング基盤技術

  菅野 公二, 磯野 吉正

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2018年04月 - 2021年03月, 研究代表者

  本申請課題では，従来のナノポアなど電気的検出法による次世代DNAシーケンシング技術より高い信頼性を有する新規な技術として，分子識別能力に優れた表面増強ラマン分光（SERS：Surface Enhanced Raman Spectroscopy）によるDNAシーケンシングを提案し，その基盤技術の確立を目的としている。この研究により，メチル化など異常修飾を含めた塩基配列を識別可能なDNAシーケンシング技術が期待される。平成30年度では以下の項目を明らかにすることを目的としてSERSおよび電気的手法によるDNAオリゴマー検出実験を行った。 (1)DNA断片における1塩基検出感度・1塩基空間分解能の実現と諸特性・現象の理解 単一金ナノ粒子二量体を用いてDNAオリゴマーのSERS計測を行った。単一の金ナノ粒子二量体のナノギャップ部分は単一のDNAオリゴマーのみ侵入可能な空間であり，本実験でDNAオリゴマー内容物のラマンピークが観測されることで単一DNAオリゴマーの検出が確認できる。CCCCACCCのDNAオリゴマー内にある種類の塩基（アデニン）が1つのみ含まれる配列にてSERS計測を行った結果，アデニンの明確なラマンピークが検出された。これにより，DNAオリゴマー内の1分子塩基感度の検出・同定が可能であることを実証した。 (2)巨大電磁場増強場におけるDNA断片挙動の理解とマニピュレーション技術の確立 トップダウン加工でナノギャップ電極を形成し，ナノギャップ（巨大電磁場増強場）におけるDNA断片の挙動を電気的計測により調べた。レーザ照射による電磁場増強によって大きな電場勾配が発生するためDNAオリゴマーに誘電泳動力が働くと考えられる。これまでにレーザ照射することでナノギャップ間に電流シグナルが得られた。この結果によりレーザ照射により分子がナノギャップに引き寄せられていることが考えられる。


• 半導体ナノ細線の弾性歪み誘起電気伝導特性に対する表面電位の関与解明

  磯野 吉正, 菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2018年04月 - 2021年03月, 研究分担者


• MEMSとDNA融合プロセスによる光電気複合型ナノポアセンサデバイスの基盤構築

  田畑 修, 菅野 公二, 川合 健太郎

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 京都大学, 2016年04月 - 2019年03月, 研究分担者

  DNAナノ構造を利用し直径30nmの金ナノ粒子二量体を形成し，表面増強ラマン分光（SERS）による分子由来のシグナルの高感度検出に成功した。粒子径の最適化により，単一の二量体構造を用いて単一のDNAオリゴマーの検出と単一のアデニン塩基の検出・識別が可能であることを明らかにした。50%を超える収率で基板上の所望位置へのDNAナノ構造を固定化に成功した。Heイオンビームを用いてDNA塩基計測に最適な1.5-2nmのグラフェンナノポアを再現性良く形成し、作製したナノポアを用いてイオン電流によるDNAセンシングに成功した。以上より，光電気複合型ナノポアセンサデバイス実現に必要な基盤技術構築を完了した。


• 1分子検出高感度表面増強ラマン分光による多成分化学分析技術

  菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(Ｃ), 基盤研究(Ｃ), 神戸大学, 2015年10月 - 2018年03月, 研究代表者

  巨大な表面増強ラマン散乱（SERS）を生み出す金ナノ粒子二量体アレイの高効率生成技術および高速高感度SERS分光分析技術を基盤として，1分子ずつ多成分をラマン分光検出する分子同定技術の構築を目的とした。その中で，単独の金ナノ粒子二量体を用いてDNAオリゴマーの検出が可能であることを確認した。局所的なラマン散乱光増強場から１つのDNAオリゴマーを検出したと考えられる。さらに，構成要素であるアデニンやグアニン，骨格要素に由来するラマンピークを検出したことから，多成分を同定できることを示した。


• ＭＥＭＳ援用弾性歪み工学による半導体ナノ細線の応力誘起電子伝導特性評価

  磯野 吉正, 菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(B), 基盤研究(B), 神戸大学, 2015年04月 - 2018年03月, 研究分担者

  3C-SiCNWは、過酷環境下で使用されるMEMS用ピエゾ抵抗素子としての利用が期待されている。本研究では「ナノ細線集積MEMS歪み制御デバイス」を新開発し、同デバイスを利用してSiO2で包まれた3C-SiCNW（C/S-SiCNWという)の機械的特性およびピエゾ抵抗を明らかにした。SiO2シェルを含まない3C-SiCNWとC/S-SiCNWの引張強さは、平均でそれぞれ22.4、7.3GPaを示した。また、3C-SiCNWのゲージ係数は0.022εで-17.6であった。このように、3C-SiCNWはn型半導体の振る舞いを示し、ピエゾ抵抗素子材料として有用であると示唆された。


• 単分子架橋ナノ粒子二量体配列による単分子表面増強ラマン分光

  菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 基盤研究(C), 基盤研究(C), 2012年04月 - 2015年03月, 研究代表者

  金ナノ粒子二量体は，その粒子連結方向と入射光偏光方向が一致した際に，巨大な電磁場増強を引き起こすことが知られている．本研究では，巨大な増強を得るために，ナノトレンチを用いたセルフアセンブルによって方向が揃ったナノ粒子二量体アレイを基板上に生成した．入射光偏光方向と粒子連結方向が一致した際に最大のラマン強度が得られることを，実験による評価によって実証した。さらに，二量体間距離に最適値があることを明らかにし，構造の最適化を達成した。その結果，4,4'-ビピリジン分子を10 pMの極低濃度で検出することに成功し，また100 nMの溶液では0.2 sの短時間で検出できることを示した。


• A-STEP「金ナノ粒子二量体配列基板を用いた高感度・高信頼性表面増強ラマン分光技術の開発」

  菅野 公二

  科学技術振興機構, 研究成果最適展開支援プログラム フィージビリティスタディステージ 探索タイプ, 2015年, 研究代表者

  競争的資金


• A-STEP「金ナノ粒子二量体配列基板を用いた高感度・高信頼性表面増強ラマン分光技術の開発」

  菅野 公二

  研究成果最適展開支援プログラム フィージビリティスタディステージ 探索タイプ, 2014年, 研究代表者

  競争的資金


• 粒子間隔を制御可能なナノ粒子配列技術

  菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 若手研究(B), 若手研究(B), 京都大学, 2010年 - 2011年, 研究代表者

  ナノメータスケールの溝パターンをテンプレートとしたTemplate-Assisted Self-Assembly手法によって,粒子二量体構造の粒子間隔を10nmから60nmまで10nm毎に高精度に制御できる技術を構築した.ナノスケール溝へのセルフアセンブルの際に問題となる粒子間反発力を電解質添加によって抑制し, 90%程度の高収率で粒子間隔が制御された粒子二量体構造を作製することに成功した.


• マイクロチップを用いた脈動混合による単分散金ナノ粒子創製

  菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 若手研究(B), 若手研究(B), 京都大学, 2006年 - 2007年, 研究代表者

  金ナノ粒子の局所プラズモン共鳴(LPR)や表面増強ラマン散乱(SERS)を用いた化学分析の高感度化を実現するために,最も大きな電場増強を示す粒子径60nmで粒子径分布の小さな金ナノ粒子を還元法により作製することを目的とした.そのため,マイクロポンプと混合用マイクロ流路を用いた脈動混合を2液に適用した.この手法により迅速な2液混合を行い,小さな粒子径分布の金ナノ粒子を作製する.研究成果を以下に示す. (1)脈動混合法の混合速度評価: 蛍光顕微鏡を用いて蛍光色素と純水の2液が混合する様子を観察し,混合速度を計算した.その結果,最短で95msecの混合が可能であり,混合速度をマイクロポンプの切替周波数により制御できることがわかった. (2)ポリマーマイクロ流路の設計・製作: ポリマー製の最適な混合流路形状を設計するために,流路内圧による流路変形を考慮することができる新しい電気等価回路解析モデルを構築した.このモデルにより,流路形状による流量や流れの応答性を正確に解析することができる. (3)脈動混合を用いた金ナノ粒子作製と粒子生成メカニズムの考察: 脈動混合により混合速度を制御し金ナノ粒子を作製した.(1)での混合速度と生成した粒子の粒子径・粒子径分布の関係から生成メカニズムについて考察を行った. (4)化学分析への応用の検討: LSPもしくはSERSを用いた化学分析に応用するために,金ナノ粒子の電場増強と消失スペクトルを有限差分領域法(FDTD)を用いて計算し,最適な構造を導出した.


• 異種材料微粒子アセンブル技術による卓上型シンクロトロンのための軟X線源の開発

  菅野 公二

  日本学術振興会, 科学研究費助成事業 若手研究(B), 若手研究(B), 京都大学, 2004年 - 2005年, 研究代表者

  本研究では新規な微粒子のアセンブル技術を用いて卓上型シンクロトロン用の軟X線源構造を作製することを目的とした.本年度は1)理論計算による軟X線源構造の設計と2)軟X線源の中の微細構造を実現する粒子アセンブル技術の開発を行った. 1)理論計算による軟X線源構造の設計 理論計算によって軟X線放射に必要な膜厚と間隔を求めることができる.その際に,膜厚と間隔の誤差が放射強度に与える影響を計算した.その結果,使用する軟X線放射の角度によって誤差の影響が変わった.41mradの放射角度を使用する場合,寸法誤差による放射強度の減少を10%に抑えるためには約0.2μmの寸法誤差まで許容することが明らかになった. 2)粒子アセンブル技術 軟X線源実現のために膜厚の間隔を上記で求めた許容誤差範囲に抑えることが重要である.そのため,膜厚間に支柱を設けるための微粒子アセンブル技術を開発した.微粒子として直径500nmのポリスチレン粒子を用いた.支柱となる微粒子を所望の形状にパターン化するために,a)微細溝を有するテンプレート基板へのセルフアセンブル技術とb)アセンブルによって形成したパターンのターゲット基板への転写技術を実現した.a)ではテンプレート基板上のコロイド溶液を乾燥させ,メニスカスの後退速度を制御することで,微細溝への高収率なアセンブルが可能となった.b)では自己組織化膜を用いて基板の撥水性を変えることで,粒子と基板間の付着力を制御した.これらの結果により所望の粒子パターンを得ることができ,軟X線源のための支柱構造が実現される.