SEARCH

Search Details

HONMA Hiroaki
Graduate School of Engineering / Department of Mechanical Engineering
Associate Professor

Researcher basic information

■ Research Keyword
  • 半導体プロセス
  • 表面プラズモン
  • エネルギーハーベスティング
  • 集積回路
  • MEMS
■ Research Areas
  • Nanotechnology/Materials / Nano/micro-systems
  • Manufacturing technology (mechanical, electrical/electronic, chemical engineering) / Electronic devices and equipment
■ Committee History
  • Apr. 2025 - Present, 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会, 広報
  • Jul. 2024 - Present, 電気学会 時空間情報を活用したモビリティデバイスのスマートネットワーク構築に向けた素子技術とその応用に関する調査専門委員会, 幹事
  • May 2024 - Present, 電気学会 センサ・マイクロマシン部門役員会, 会計担当
  • Apr. 2024 - Present, 公益財団法人セイコーインスツル新世代研究財団ナノメカニクス研究会, 会員
  • Apr. 2024 - Present, 電気学会 マイクロマシン・センサシステム技術委員会, １号委員
  • Aug. 2023 - Present, エネルギーハーベスティングコンソーシアム, 正式オブザーバー
  • Aug. 2025 - Dec. 2025, The 24th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2025), Technical Program Committee
  • Apr. 2022 - Mar. 2025, 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会, 副広報
  • Jul. 2024 - Dec. 2024, 第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会, 委員
  • Aug. 2023 - Dec. 2023, The 22th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2023), Technical Program Committee
  • Feb. 2023 - Dec. 2023, センサシンポジウム（SS40）論文委員
  • Aug. 2022 - Dec. 2022, The 21th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2022), Technical Program Committee
  • Feb. 2022 - Dec. 2022, センサシンポジウム（SS39）論文委員
  • Dec. 2021 - Dec. 2021, The 20th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2021), Technical Program Committee
  • Dec. 2021 - Dec. 2021, The 20th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2021), Conference Chairs, Technical Co-Chairs

Research activity information

■ Award
  • Mar. 2024 応用物理学会 第15回集積化MEMSシンポジウム, 優秀論文賞, MEMS振動発電素子の発電特性に対する位相検出電極の影響
    本間浩章, 水野裕登, 年吉洋

  • Feb. 2023 Editors, Sensors and Materials, Best S&M Young Researcher Paper Award 2022, Power Generation Demonstration of Electrostatic Vibrational Energy Harvester with Comb Electrodes and Suspensions Located in Upper and Lower Decks
    Hiroaki Honma

  • Nov. 2022 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第３９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員会, 電気学会・第３９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 優秀技術論文賞, カリウムイオンエレクトレット製デバイス量産化のための長期信頼性技術
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 下村典子, 石黒巧真, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋

  • Mar. 2022 応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術研究会, 応用物理学会 第１３回 集積化ＭＥＭＳシンポジウム 優秀論文賞, エレクトレット帯電／陽極接合同時プロセスによるＭＥＭＳ型振動発電素子
    本間浩章, 池野 翔, 年吉 洋

  • Nov. 2021 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第３８回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員会, 第３８回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 優秀技術論文賞, ＭＥＭＳ振動発電型イベントドリブンセンサを用いた橋梁の低消費異常周波数監視システム
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 橋本勝文, 張凱淳, 下村典子, 門間達希, 本間浩章, 橋口 原, 塩谷智基, 年吉 洋

  • Oct. 2020 応用物理学会第12回集積化MEMSシンポジウム選考委員会, 研究奨励賞, ダブルデッキ構造とジャンパ配線を一体化したエレクトレットMEMS振動発電素子
    本間 浩章

  • Oct. 2020 電気学会・第３７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 優秀技術論文賞, 「ＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタの実機における発電量最大化技術」
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 下村典子, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋

  • Apr. 2020 電気学会, IEEJ Excellent Presentation Award, 「1.3ｍＷ級ＭＥＭＳ環境振動発電素子とＩｏＴ応用大容量キャパシタへの高速充電」
    Hiroaki Honma

  • Mar. 2020 集積化MEMS技術研究会, 第11回集積化MEMSシンポジウム 優秀論文賞, 「ダブルデッキ構造によるＭＥＭＳ振動発電素子の小型化」
    本間浩章, 年吉 洋

  • Nov. 2019 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 五十嵐賞, 「1.3ｍＷ級ＭＥＭＳ環境振動発電素子とＩｏＴ応用大容量キャパシタへの高速充電」
    本間 浩章
    IRI

  • Nov. 2019 第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 優秀技術論文賞, 「エネルギー回収効率９２％のＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタ」
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋

  • Jul. 2019 フジサンケイビジネスアイ（日本工業新聞社）先端技術大賞表彰制度委員会, 第33回 独創性を拓く先端技術大賞＜社会人部門＞経済産業大臣賞
    本間 浩章

  • Nov. 2018 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 優秀ポスター発表賞, 「高パワー密度（３１ｍＷ／ｃｍ３／Ｇ２）を実現したＭＥＭＳ環境振動発電素子とそのＩｏＴ応用」
    本間浩章, 山田駿介, 三屋裕幸, 橋口 原, 年吉 洋

  • Sep. 2018 応用物理学会集積化MEMS技術研究会、第２回台湾-日本国際交流シンポジウム, 優秀ポスター賞, Power Density Enhancement of Electret Based Energy Harvester with Symmetric Comb-Electrode Structure
    Hiroaki Honma, Hiroyuki Mitsuya, Gen Hashiguchi, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi

  • Mar. 2018 応用物理学会・第９回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, 優秀論文賞, 「左右対称構造により静電拘束力を抑制した低Ｇ用のＭＥＭＳ振動発電素子」
    本間浩章, 三屋裕幸, 橋口 原, 藤田博之, 年吉 洋

  • Nov. 2017 電気学会・第３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 優秀ポスター発表賞, 左右対称エレクトレットくし歯電極による広帯域振動エナジーハーベスタ応用
    三屋 裕幸, 芦澤 久幸, 穴井 大輔, 橋口 原, 本間 浩章, 藤田 博之, 年吉 洋

  • Oct. 2016 電気学会・第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 優秀平戸市長賞, 「インパルス振動に特化したコインサイズエナジーハーベスタ」
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 橋口 原, 本間浩章, 藤田博之, 年吉 洋

  • Jun. 2012 電子情報通信学会電子デバイス研究会, 論文発表奨励賞
    本間 浩章

  • Mar. 2012 第3回集積化MEMSワークショップ, 研究奨励賞
    本間 浩章

■ Paper
■ MISC
  • SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY MEASUREMENTS OF DNA WITH A SINGLE NUCLEOTIDE SPATIAL RESOLUTION AND SENSITIVITY
    Tomoya Shinabe, Shintaro Yotsuzuka, Akio Uesugi, Hiroaki Honma, Koji Sugano, Yoshitada Isono
    Jun. 2025, in Proc. the 23rd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2025)

  • Low-Power Frequency Monitoring System for Bridge using MEMS Vibrational-Energy Harvesting Sensor
    Hiroyuki Mitsuya, Katsufumi Hashimoto, Kai-Chun Chang, Hisayuki Ashizawa, Hiroaki Honma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi, Tomoki Shiotani
    Nov. 2023, in Proc. Innovative Non-Destructive Testing for Civil Engineers (INDTCE) and 4th International Workshop on Self-Healing & Intelligent Materials (SHIM)
    [Invited]

  • Atomic layer deposited nano-thick Al2O3 electret films for surface-potential-modulation of carrier transport in SiNWs
    Y. Iguchi, M. Narasaki, A. Uesugi, H. Honma, K. Sugano, Y. Isono
    Sep. 2023, 19th Int. Symp. on Electrets (ISE 19)

  • FREQUENCY TRACKING OF VIBRATIONAL ENERGY HARVESTER USING PHASE-LOCKED LOOP (PLL)
    Yuto Akai, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi
    Jun. 2023, in Proc. 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), 284 - 287

  • A MEMS VIBRATIONAL ENERGY HARVESTER CAPABLE OF RESTLESS CHARGING CAPACITOR FROM RANDOM VIBRATIONS
    Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama, Hiroshi Toshiyoshi
    Lead, Jun. 2023, in Proc. 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023), 1252 - 1255

  • Bandwidth Extension for MEMS Vibrational Energy Harvester using High-Voltage Electret
    Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama, Hiroshi Toshiyoshi
    May 2023, in Proc. Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2023)

  • Characterization of Resonance Sensor Integrated in MEMS Vibrational Energy Harvester
    Hiroaki Honma, Yuto Akai, Hiroshi Toshiyoshi
    May 2023, in Proc. Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2023)

  • MACHINE LEARNING-BASED EXPERIMENT PLANNING OF POTASSIUM-ION SiO2 ELECTRET FORMING
    Refaldi I.D. Putra, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi
    Aug. 2022, in Proc. 2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2022), C1-2-01(3P)

  • Autonomous IoT wireless sensor node driven by 1 mW MEMS electrostatic energy harvester
    Hiroaki Honma, Shunsuke Yamada, Hiroshi Toshiyoshi
    Lead, Aug. 2022, in Proc. 2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2022), C1-2-02(3P)

  • 浩章 本間
    Lead, Institute of Electrical Engineers of Japan (IEE Japan), 01 Jun. 2022, IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, 142(6) (6), NL6_1 - NL6_1

  • Vibrational MEMS Energy Harvester Capable of Monitoring Phase State Variables
    Yuto Akai, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi
    May 2022, in Proc. Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022)

  • Hiroaki Honma, Shota Harada, Hiroshi Toshiyoshi
    Apr. 2022, Proc. 17th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineerred & Molecular Systems (IEEE-NEMS 2022), 253 - 256

  • Mikito Kitazawa, Vivek A. Menon, Hiroaki Honma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi, Takaaki Suzuki
    Jan. 2022, Proc 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2022), 616 - 619, English

  • Temperature-tolerant electret material for MEMS vibrational energy harvester
    Hiroyuki Mitsuya, Hisayuki Ashizawa, Noriko Shimomura, Takuma Ishiguro, Hiroaki Honma, Gen hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi
    Dec. 2021, in Proc. Materials Research Meeting (MRM 2021)

  • VIBRATIONAL ENERGY HARVESTER MADE BY SIMULTANEOUS PROCESS FOR ANODIC BONDING AND ELECTRET CHARGING
    Hiroaki Honma, Sho Ikeno, Hiroshi Toshiyoshi
    Lead, Sep. 2021, in Proc. 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2021)

  • Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama, Hiroshi Toshiyoshi
    Lead, Jun. 2021, in Proc. 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021), 132 - 135, English

  • Energy Harvesting from Non-Stationary Vibrations Using a Low-Threshold Voltage-Boost Rectifier Circuit
    遠山幸也, 本間浩章, 関屋英彦, 年吉洋, 山根大輔
    2021, 電気学会論文誌 E, 141(7) (7)

  • Triboelectric Nanogenerator with Microstructure Fabricated by 3D Lithography at Contact Interface
    柳田幸祐, 飯田泰基, 本間浩章, 橋口原, 年吉洋, 鈴木孝明
    2021, 電気学会論文誌 E, 141(7) (7)

  • A new improvement approach for output power of electret based MEMS energy harvester by optimal impedance
    本間 浩章, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 26 Oct. 2020, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, Japanese

  • Experimental verification of automatic recovery from pull-in phenomenon in electrostatic MEMS energy harvester
    原田 翔太, 本間 浩章, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 26 Oct. 2020, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 4p, Japanese

  • Electret vibrational energy harvester combined with double-deck structures and airborne electrical interconnection
    本間 浩章, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 26 Oct. 2020, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 5p, Japanese

  • MEMS electret energy harvester for IoT
    本間 浩章
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 26 Oct. 2020, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, Japanese

  • A Method to Optimize the Output Power of MEMS Vibrational Energy Harvester
    Hiroyuki Mitsuya, Hisayuki Ashizawa, Noriko Shimomura, Hiroaki Honma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 26 Oct. 2020, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 37, 6p, Japanese

  • Enlargement of Frequency Bandwidth of Vibrational MEMS Energy Harvester by High Density Electrets
    Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama, Hiroyuki Mitsuya, Hisayuki Ashizawa, Hiroshi Toshiyoshi
    Lead, Sep. 2020, in Proc. 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020)

  • Bandwidth enhancement of vibrational energy harvesters using a threshold-compensated voltage-boost rectifier
    遠山 幸也, 本間 浩章, 年吉 洋, 山根 大輔
    電気学会, 06 Jul. 2020, 電気学会研究会資料. MSS, 2020(20) (20), 53 - 56, Japanese

  • Triboelectric Nanogenerator with pyramidal microstructure array at contact interface
    柳田 幸祐, 飯田 泰基, 本間 浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木 孝明
    電気学会, 06 Jul. 2020, 電気学会研究会資料. MSS, 2020(20) (20), 57 - 60, Japanese

  • KITAZAWA Mikito, HONMA Hiroaki, KURIYAMA Nobuaki, HASHIGUCHI Gen, TOSHIYOSHI Hiroshi, SUZUKI Takaaki

    In this study, the power generation function is effectively added to a printed circuit board which occupies a large area in the Internet of Things (IoT) components. We propose power generation flexible printed circuits (FPCs) capable of mounting MEMS sensors, and developed FPCs for performing power generation by vibration and the sensor measurement simultaneously. By wire bonding, MEMS sensors were mounted on the FPC consisting of a piezoelectric polymer vibration energy harvester, an insulating film, and electrical printed circuits. As a result of experiments and finite element analysis, the power generation characteristics of the proposed FPC were controlled by the mounting position of the MEMS sensors on the FPC.

    The Japan Society of Mechanical Engineers, 2020, The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan, 2020, J22203, Japanese

  • Kitazawa Mikito, Honma Hiroaki, hashiguchi Gen, Toshiyoshi Hiroshi, Suzuki Takaaki

    In this study, we propose a power generation flexible printed circuit (FPC) using polymer piezoelectric material. For the the power supply for IoT (Internet of Things) devices, the area of the printed circuit board that occupies a large area in the IoT components is effectively used, and the power generation function is added to the printed circuit board. In particular, We evaluated the vibration and power generation characteristics when the mechanical metamaterial structure was incorporated into the elastic layer of the printed circuit board. As a result of FEM analysis, the proposed vibration energy harvesting FPC incorporates a mechanical metamaterial structure, which reduces the resonance frequency by 12% and improves the power generation by 2.9 times in comparison to a flat plate structure.

    The Japan Society of Mechanical Engineers, 2020, The Proceedings of the Symposium on Micro-Nano Science and Technology, 2020, 27P3 - MN3-5, Japanese

  • Ichige Ryo, Ueno Hidetaka, Honma Hiroaki, Hashiguchi Gen, Toshiyoshi Hiroshi, Suzuki Takaaki

    In this study, we propose an interposer with frequency conversion function using bistable structure for a vibration energy harvester (VEH). The bistable structure consists of a buckling beam having a two dimensional structure. Therefore, the proposed device has high compatibility with the micro electro mechanical systems (MEMS) process and it is easily miniaturized, integrated, and mass-produced. Vibration analysis using the finite element method (FEM) and vibration tests using prototype device were performed to evaluate the vibration behavior and the frequency conversion characteristics. As a result of the experiments and calculations, it is possible to generate an acceleration higher than the input acceleration, which suggested a design guideline for interposer of the VEH.

    The Japan Society of Mechanical Engineers, 2020, The Proceedings of the Symposium on Micro-Nano Science and Technology, 2020, 26P3 - MN2-3, Japanese

  • Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama, Hiroshi Toshiyoshi
    Jan. 2020, Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2020-January, 594 - 597, English

  • C. Sano, V. Menon, H. Honma, G. Hashiguchi, H. Toshiyoshi
    04 Dec. 2019, Journal of Physics: Conference Series, 1407(1) (1)

  • Y. Tohyama, H. Honma, N. Ishihara, H. Sekiya, H. Toshiyoshi, D. Yamane
    04 Dec. 2019, Journal of Physics: Conference Series, 1407(1) (1)

  • H. Mitsuya, H. Ashizawa, M. Morita, H. Homma, G. Hashiguchi, H. Toshiyoshi
    04 Dec. 2019, Journal of Physics: Conference Series, 1407(1) (1)

  • A 1.3mW Electrostatic Vibrational Energy Harvester and Charging of Large Storage Capacitance for IoT Applications
    本間 浩章, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 19 Nov. 2019, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 6p, Japanese

  • Method verification of reducing parasitic capacitance for MEMS vibration energy harvester
    池野 翔, 本間 浩章, 遠山 幸也, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 19 Nov. 2019, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 5p, Japanese

  • Miniaturization of MEMS Electrostatic Vibration Energy Harvester using Double-Deck Structure
    本間 浩章, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 19 Nov. 2019, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 36, 5p, Japanese

  • Hiroyuki Mitsuya, Hisayuki Ashizawa, Hiroaki Honma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi
    19 Nov. 2019, SYMPOSIUM ON DESIGN, TEST, INTEGRATION & PACKAGING OF MEMS AND MOEMS (DTIP 2019), 36, 4p, Japanese

  • Improvement of output of electrostatic MEMS energy harvesters by using high electret potential
    本間浩章, 遠山幸也, 年吉洋
    電気学会, 01 Jul. 2019, 電気学会研究会資料, 2019(11) (11), 61 - 65, Japanese

  • Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Daisuke Yamane
    01 Jun. 2019, 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 1463 - 1466, English

  • Hiroaki Honma, Yukiya Tohyama, Hiroshi Toshiyoshi
    01 Jun. 2019, 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII, 362 - 365, English

  • Hiroyuki Mitsuya, Hisayuki Ashizawa, Hiroaki Homma, Gen Hashiguchi, Hiroshi Toshiyoshi
    Mar. 2019, IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, 2019-March, 171 - 174
    [Refereed]

  • MEMSエレクトレット振動発電デバイスの産業化
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 本間浩章, 藤田博之, 橋口原, 年吉洋
    25 Feb. 2019, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 66th, ROMBUNNO.11a‐W242‐7, Japanese

  • A MEMS VIBRATORY ENERGY HARVESTER CHARGED BY AN OFF-CHIP ELECTRET
    Daisuke Yamane, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi
    2019, 2019 IEEE 32ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1025 - 1028, English

  • A DOUBLE-DECK STRUCTURED MEMS ELECTROSTATIC VIBRATIONAL ENERGY HARVESTER FOR MINIMAL FOOTPRINT
    Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi
    Jan. 2019, 2019 IEEE 32ND INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), 1017 - 1020, English

  • A Power-Density-Enhanced MEMS Electrostatic Energy Harvester with Symmetrized High-Aspect Ratio Comb Electrodes
    H. Honma, H. Mitsuya, G. Hashiguchi, H. Fujita, H. Toshiyoshi
    Dec. 2018, International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (Power MEMS 2018)

  • 高パワー密度(31mW/cm³/G²)を実現したMEMS環境振動発電素子とそのIoT応用
    本間 浩章, 山田 駿介, 三屋 裕幸, 橋口 原, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 30 Oct. 2018, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 4p, Japanese

  • An Equivalent Circuit Simulation of MEMS Vibrational Energy Harvester using Measured Random Environmental Vibrations
    遠山 幸也, 本間 浩章, 年吉 洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 30 Oct. 2018, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 35, 5p, Japanese

  • Y. F. Chen, H. Honma, H. Toshiyoshi
    26 Jul. 2018, Journal of Physics: Conference Series, 1052

  • Power Density Enhancement of Electret Based Energy Harvester with Symmetric Comb-Electrode Structure
    H. Honma, H. Mitsuya, G. Hashiguchi, H. Fujita, H. Toshiyoshi
    Jun. 2018, Taiwan-Japan Joint Symposium (co-organized with the 2018 International Conference on Smart Sensors (ICSS 2018)

  • 共振維持回路による高効率MEMS振動エナジーハーベスタ
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 森田將裕, 本間浩章, 橋口原, 年吉洋
    2018, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 35th

  • IMPROVEMENT OF EFFECTIVENESS AND OUTPUT OF ELECTRET ENERGY HARVESTER BY SYMMETRIC COMB-DRIVE STRUCTURES
    H. Honma, H. Mitsuya, G. Hashiguchi, H. Fujita, H. Toshiyoshi
    Nov. 2017, Power MEMS 2017

  • A Wide-band Vibrational Energy Harvester Using Symmetrical Comb-Drives Coupled with Heavily Charged Electret
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 穴井大輔, 橋口原, 本間浩章, 藤田博之, 年吉洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 31 Oct. 2017, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 34, 1 - 5, Japanese

  • Energy harvester based on three-port comb-drive mechanism for suppressing electrostatic constraint force
    本間浩章, 三屋裕幸, 橋口原, 藤田博之, 年吉洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 31 Oct. 2017, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 34, 4p, Japanese

  • Hiroaki Honma, Hiroyuki Mitsuya, Gen Hashiguchi, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi
    26 Jul. 2017, TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2167 - 2170, English

  • H. Honma, H. Fujita, H. Toshiyoshi, H. Mitsuya, H. Ashizawa, G. Hashiguchi
    Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 18 Jul. 2017, Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2017, English

  • H. Mitsuya, H. Ashizawa, D. Anai, G. Hashiguchi, H. Homma, H. Fujita, H. Toshiyoshi
    Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 18 Jul. 2017, Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2017, English

  • Wenjun Zhao, Hiroaki Homma, Hiroshi Toshiyoshi
    2017, 2017 SYMPOSIUM ON DESIGN, TEST, INTEGRATION AND PACKAGING OF MEMS/MOEMS (DTIP 2017), English

  • Impulse-Excited Energy Harvester based on Potassium-Ion-Electret
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 橋口原, 本間浩章, 藤田博之, 年吉洋
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 02 Oct. 2016, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 33, 1 - 5, Japanese

  • M. Mitsudome, H. Honma, K. Sawada, K. Takahashi
    02 Oct. 2016, 2016 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 33, 1 - 5, Japanese

  • Fabrication of a thin plasmonic color sheet embedded with Al subwavelength gratings in parylene
    熊谷隼人, 本間浩章, 本間浩章, 石田誠, 石田誠, 澤田和明, 澤田和明, 高橋一浩
    電子情報通信学会, 19 May 2016, 電子情報通信学会技術研究報告, 116(48) (48), 29 - 34, Japanese

  • MEMS技術による表面プラズモン異常透過現象の励起波長連続可変制御
    本間浩章, 本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    03 Mar. 2016, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 63rd, ROMBUNNO.20P-S622-1, Japanese

  • ナノインプリント技術を用いた金属‐誘電体‐金属サブ波長格子の製作
    満留将人, 本間浩章, 本間浩章, 伊藤伸太郎, 石田誠, 澤田和明, 高橋一浩
    03 Mar. 2016, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 63rd, ROMBUNNO.19P-S423-1, Japanese

  • MEMS静電アクチュエータを用いたナノ機械伸縮による可変プラズモニックカラーフィルタ
    満留将人, 本間浩章, 澤田和明, 高橋一浩
    2016, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 33rd, ROMBUNNO.25pm4‐PS‐112, Japanese

  • Fabrication of plasmonic color sheet using metal nano periodic structures
    熊谷隼人, 本間浩章, 石田誠, 澤田和明, 高橋一浩
    電子情報通信学会, 03 Aug. 2015, 電子情報通信学会技術研究報告, 115(170) (170), 11 - 13, Japanese

  • Fabrication of surface-plasmon-based tunable color filter using electrostatic comb-drive actuator
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    03 Jul. 2015, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-15(15-34) (15-34), 55 - 59, Japanese

  • H. Honma, K. Takahashi, M. Ishida, K. Sawada
    2015, 2015 TRANSDUCERS - 2015 18TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (TRANSDUCERS), 2053 - 2056, English

  • Fabrication of transmission color filter based on surface plasmon using aluminum nanowire array and investigation of tunable color filter
    本間 浩章, 高橋 一浩, 石田 誠
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 20 Oct. 2014, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 31, 1 - 6, Japanese

  • アルミ微細周期構造による表面プラズモンを利用したフレキシブルカラーフィルムの製作
    熊谷隼人, 本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    01 Sep. 2014, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 75th, ROMBUNNO.18P-A19-5, Japanese

  • Fabrication of transmission color filter based on surface plasmon using aluminum nanowire array
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    27 May 2014, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, MSS-14(1-4.6-23) (1-4.6-23), 93 - 97, Japanese

  • Hiroaki Honma, Kazuhiro Takahashi, Masashi Fukuhara, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada
    2014, 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 143 - 144, English

  • Hayato Kumagai, Hiroaki Honma, Kazuhiro Takahashi, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada
    2014, 2014 INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS (OMN), 17 - 18, English

  • ゲル包埋によるディスクリート型MEMS機能構造体の充填法
    荒木慶太, 大橋亮太, 本間浩章, 三澤宣雄, 高橋一浩, 澤田和明, 石田誠, 村上裕二
    05 Dec. 2013, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 28th, 27, Japanese

  • SLURRY PACKING PLACEMENT OF MEMS MICROPARTS ASSISTED WITH GEL MICROCAPSULE
    荒木慶太, 大橋亮太, 本間浩章, 三澤宣雄, 高橋一浩, 澤田和明, 石田誠, 村上裕二
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 05 Nov. 2013, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 30, 1 - 4, Japanese

  • Hiroaki Honma, Kazuhiro Takahashi, Hiromu Ishii, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada
    Institute of Electrical Engineers of Japan, 05 Nov. 2013, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 30, 1 - 5, Japanese

  • サブ波長格子を用いた透過型可変減衰器の製作
    本間浩章, 高橋一浩, 石井仁, 石田誠, 澤田和明
    31 Aug. 2013, 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 74th, ROMBUNNO.19A-B4-11, Japanese

  • ディスクリート型シリコンMEMSミキサの製作と評価
    荒木慶太, 大橋亮太, 本間浩章, 高橋一浩, 澤田和明, 石田誠, 村上裕二
    23 May 2013, 化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会講演要旨集, 27th, 15, Japanese

  • ディスクリート型微小構造体を用いたマイクロ化学デバイスの新規製作法によるMEMSミキサ
    荒木慶太, 大橋亮太, 本間浩章, 高橋一浩, 澤田和明, 石田誠, 村上裕二
    05 Mar. 2013, 電気学会全国大会講演論文集, 2013(3) (3), 148, Japanese

  • K. Araki, R. Ohashi, H. Honma, N. Misawa, K. Takahashi, K. Sawada, M. Ishida, Y. Murakami, Y. Murakami
    01 Jan. 2013, 17th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2013, 2, 793 - 795

  • Y. Murakami, K. Araki, R. Ohashi, H. Honma, K. Takahashi, K. Sawada, M. Ishida
    2013, 2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013, 1958 - 1961, English

  • NEMS静電アクチュエータを用いた近赤外可変フィルタの設計
    平尾直也, 本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    18 Sep. 2012, 電気関係学会東海支部連合大会講演論文集(CD-ROM), 2012, ROMBUNNO.M2-9, Japanese

  • A tunable color filter based on sub-wavelength gratings using electrostatic microactuator
    HONMA H., MIYAO H., TAKAHASHI K., ISHIDA M., SAWADA K.
    We have proposed a NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) tunable color filter using electrostatic microactuator which can control the guided-mode resonance by tuning periodic structure. The sub-wavelength gratings were fabricated using SOI (Silicon on Insulator) wafer. The free-standing nano periodic structure was successfully developed by wet sacrificial etching using buffered HF and supercritical CO2 drying technique. Color tuning from yellow to green was obtained by drive voltage of 20 V. For low voltage driving, a color filter using another NEMS actuator with three pairs of electrode was also developed. We obtained the reflected light attenuation by 34 % at 680 run wavelength with drive voltage of 6.7 V.
    The Institute of Electronics, Information and Communication Engineers, 10 May 2012, IEICE technical report. Component parts and materials, 112(33) (33), 111 - 115, Japanese

  • サブ波長格子を利用した低電圧駆動NEMS可変カラーフィルタの製作
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    29 Feb. 2012, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM), 59th, ROMBUNNO.15P-GP3-7, Japanese

  • Hiroaki Honma, Kazuhiro Takahashi, Makoto Ishida, Kazuaki Sawada
    2012, Materials Research Society Symposium Proceedings, 1427, 68 - 73, English

  • NEMS可変カラーフィルタとLSI駆動回路の集積化
    本間浩章, 宮尾肇, 高橋一浩, 二川雅登, 太齋文博, 石田誠, 澤田和明
    26 Sep. 2011, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 28th, ROMBUNNO.A1-3, Japanese

  • NEMS tunable color filter using sub-wavelength grating
    HONMA Hiroaki, MIYAO Hajime, TAKAHASHI Kazuhiro, ISHIDA Makoto, SAWADA Kazuaki
    01 Jul. 2011, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料, 2011(1) (1), 21 - 24, Japanese

  • H. Honma, H. Miyao, K. Takahashi, M. Futagawa, F. Dasai, M. Ishida, K. Sawada
    2011, 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, TRANSDUCERS'11, 2928 - 2931, English

■ Lectures, oral presentations, etc.
  • INVESTIGATION OF MAXIMUM SURFACE POTENTIAL IN THIN SILICON OXIDE ELECTRETS FILM DOPED WITH POTASSIUM IONS
    Masahiro Mikasa, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono
    IEEE International Symposium on Electrets, Sep. 2025

  • MOS STRUCTURE WITH HIGH-POTENTIAL ELECTRET FOR NON-VOLATILE MEMORY DEVICES
    Masaya Iwanaga, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi, Akio Uesugi, Koji Sugano, Yoshitada Isono
    IEEE International Symposium on Electrets, Sep. 2025

  • Si基板接合による縦型櫛歯電極構造の作製
    堀井 慧, 田口順啓, 本間浩章, 年吉 洋, 上杉晃生, 菅野公ニ, 磯野吉正
    マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム研究会, Aug. 2025

  • MEMS振動発電素子を用いた工作機械びびり振動検知イベントドリブンシステムの解析的検証
    石井友樹, 本間浩章, 上杉晃生, 菅野公ニ, 磯野吉正
    マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム研究会, Aug. 2025

  • SURFACE-ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY MEASUREMENTS OF DNA WITH A SINGLE NUCLEOTIDE SPATIAL RESOLUTION AND SENSITIVITY
    Tomoya Shinabe, Shintaro Yotsuzuka, Akio Uesugi, Hiroaki Honma, Koji Sugano, Yoshitada Isono
    The 23rd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2025), Jul. 2025

  • MEMS Vibrational Energy Harvester with Potassium-Ion-Electrets
    Hiroaki Honma
    247th ECS Meeting, May 2025
    [Invited]

  • カリウムイオンエレクトレットを利用した振動エナジーハーベスタ
    本間浩章
    電気学会 電子材料研究会 「エコシステム材料の合成・プロセスと次世代デバイス応用への展開」, Nov. 2024
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • 薄膜カリウムイオンエレクトレットの表面電位評価
    三笠 雅大, 本間 浩章, 年吉 洋, 上杉 晃生, 菅野 公二, 磯野 吉正
    第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Nov. 2024

  • 金回折格子を有する静電型マイクロ振動子短波長赤外光センサの波長依存性評価
    関 拓郎, 有永 尚樹, 上杉 晃生, 本間 浩章, 菅野 公二, 磯野 吉正
    第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Nov. 2024

  • 表面増強ラマン分光によるDNAオリゴマー中の単一塩基計測特性評価
    四塚 真太郎, 品部 智哉, 上杉 晃生, 本間 浩章, 菅野 公二, 磯野 吉正
    第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Nov. 2024

  • マイクロマシン/MEMS技術の応用
    本間浩章
    工学研究科 技術室 第169回 技術室研究会, Sep. 2024
    [Invited]

  • MEMS技術を利用した振動エナジーハーベスタ
    本間 浩章
    バイオセンサ夏季セミナー2024, Sep. 2024
    [Invited]

  • 振動エナジーハーベスタを利用した環境モニタリング
    本間 浩章
    令和6年電気学会 基礎・材料・共通部門大会, Sep. 2024
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • エレクトレット帯電/陽極接合同時プロセスで作製したMEMS振動発電素子の発電評価
    本間 浩章, 池野 翔, 年吉 洋
    マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム研究会, Aug. 2024

  • エレクトレットMEMSエナジーハーベスタと応用
    本間浩章
    第１回エッジデバイス・システム技術分科会, Jul. 2024
    [Invited]

  • MEMS型エレクトレット振動エナジーハーベスタ
    本間浩章
    第71回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2024
    [Invited]

  • カリウムイオンエレクトレットによる振動発電ハーベスタ
    本間浩章
    情報・知能・精密機器部門講演会 IIP2024, Mar. 2024
    [Invited]

  • 環境振動から発電するMEMSエナジーハーベスタ
    本間浩章
    有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム第50回記念定例会, Dec. 2023
    [Invited]

  • MEMS振動発電素子の発電特性に対する位相検出電極の影響
    本間浩章, 水野裕登, 年吉洋
    応用物理学会・第15回集積化MEMSシンポジウム, Nov. 2023

  • Electret MEMS Energy Harvester Capable of High-Speed Charging from Random Vibrations
    本間浩章, 遠山幸也, 年吉 洋
    電気学会・第４０回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Nov. 2023

  • Automatic Frequency Tracking of MEMS Vibrational Energy Harvester using PLL Control
    本間浩章, 水野裕登, 年吉 洋
    電気学会・第４０回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Nov. 2023

  • Atomic Layer Deposited Nano-thick Al2O3 Electret Films for Surface-potential-modulation of Carrier Transport in SiNWs
    Yoshito Iguchi, Momoko Narasaki, Akio Uesugi, Hiroaki Honma, Koji Sugano, Yoshitada Isono
    19th International Symposium on Electrets (ISE 19), Sep. 2023

  • ダブルデッキ構造とジャンパ配線を一体化したエレクトレット型振動発電素子の発電性能評価
    本間浩章, 年吉洋
    電気学会E部門マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム合同研究会, Aug. 2023

  • 非定常振動から発電するMEMSエナジーハーベスタ
    本間浩章
    第160回 フロンティア材料研究所学術講演会・第 27 回 未来産業技術研究所生体医歯工公開セミナー, Jul. 2023
    [Invited]

  • インパルス加振に適した圧電ポリマー振動発電デバイスの開発
    森下浩多, 田中有弥, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    ＩＩＰ２０２３（日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会）

  • １ｍＷ級出力エナジーハーベスタで駆動するＩｏＴ無線センサ端末の動作検証
    本間浩章, 山田駿介, 年吉 洋
    応用物理学会・第１４回集積化ＭＥＭＳシンポジウム

  • Effect of H2O and H2 gas to the Lifetime of Vacuum-annealed Potassium-doped SiO2 Electret for MEMS Vibrational Energy Harvester
    プトラ・レファルディ, 小澤孝拓, 本間浩章, 福谷克之, 年吉 洋
    電気学会・第３９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • 位相情報を同時出力可能なＭＥＭＳ振動発電素子
    赤井裕登, 本間浩章, 年吉 洋
    電気学会第３９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • エレクトレット振動発電用プルイン自動復旧のための自律昇圧回路
    本間浩章, 原田翔太, 年吉 洋
    電気学会第３９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • カリウムイオンエレクトレット製デバイス量産化のための長期信頼性技術
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 下村典子, 石黒巧真, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋
    電気学会第３９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • 圧電ポリマー振動発電デバイスのインパルス加振に対する発電特性
    森下浩多, 田中有弥, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会・第１３回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

  • MEMS Vibrational Energy Harvester with Potassium-Ion-Electrets for IoT Applications
    Hiroaki Honma
    France-Japan Workshop on Vibration Energy Harvesting, Sep. 2022
    [Invited]

  • 圧電ポリマーを用いた発電フレキシブルプリント基板のためのメタマテリアル弾性層の設計
    北澤幹人, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催第１２回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

  • 微小入力エネルギに対応したマイクロ界面構造を有するトライボ発電デバイス
    柳田幸祐, 飯田泰基, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催 第１２回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

  • ＭＥＭＳ振動発電を用いた低消費異常周波数監視システム
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 橋本勝文, 張凱淳, 下村典子, 門間達希, 本間浩章, 橋口 原, 塩谷智基, 年吉 洋
    第３８回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • 短ストロークエレクトレット櫛歯電極を有する非共振型振動発電素子の非定常振動発電評価
    本間浩章, 年吉 洋
    第３８回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • エレクトレット帯電／陽極接合同時プロセスによるＭＥＭＳ型振動発電素子
    本間浩章, 池野 翔, 年吉 洋
    応用物理学会・第１３回集積化ＭＥＭＳシンポジウム

  • シリコンＭＥＭＳ振動発電から見たポリマー材料の可能性
    本間浩章, 年吉 洋
    日本機械学会年次大会 マイクロ・ナノ部門 先端技術フォーラム, Sep. 2021
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • IoT向けのMEMS環境振動発電素子
    本間 浩章
    第29回マイクロシステム融合研究会, Mar. 2021
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • ３Ｄリソグラフィ法により作製したマイクメートルオーダーの界面構造を有するトライボ発電デバイスの開発
    柳田幸祐, 飯田泰基, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会 群馬ブロック 研究・技術交流会, Dec. 2020

  • ＭＥＭＳ振動発電デバイスのための周波数変換インターポーザの開発
    市毛 亮, 上野秀貴, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会 群馬ブロック 研究・技術交流会, Dec. 2020

  • MEMS vibrational energy harvester for IoT,
    Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi
    Vietnamese Academic Network in Japan Conference 2020 (VANJ 2020), Nov. 2020
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • メカニカルメタマテリアル構造を有した発電フレキシブルプリント基板
    北澤幹人, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 第１１回マイクロナノ工学シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • ダブルデッキ構造とジャンパ配線を一体化したエレクトレットＭＥＭＳ振動発電素子
    本間浩章, 年吉 洋
    応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術研究会主催 第１２回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • エレクトレット型振動発電素子のプルイン自動解除システム構築に向けた検証
    原田翔太, 本間浩章, 年吉 洋
    電気学会・第３７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • エレクトレット型振動発電素子の最適インピーダンスによる高出力化新手法
    本間浩章, 年吉 洋
    電気学会・第３７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • MEMS electret energy harvester for IoT
    Hiroaki Honma
    第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2020
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • ３Ｄリソグラフィ法により作製した微細ピラミッドアレイを接触界面に有するトライボ発電デバイス
    柳田幸祐, 飯田泰基, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    電気学会・第３７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • 振動発電のための双安定構造を用いた周波数変換インターポーザの開発
    市毛 亮, 上野秀貴, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 第１１回マイクロナノ工学シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • 低閾値整流昇圧回路を用いた非定常環境振動下における振動発電
    遠山幸也, 本間浩章, 石原 昇, 関屋英彦, 年吉 洋, 山根大輔
    電気学会・第３７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • ＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタの実機における発電量最大化技術
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 下村典子, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋
    電気学会・第３７回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2020
    Oral presentation

  • ポリマー圧電材料を用いた発電フレキシブルプリント基板の開発
    北澤幹人, 本間浩章, 栗山頌明, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    日本機械学会２０２０年度年次大会, Sep. 2020
    Oral presentation

  • 接触界面に微細ピラミッド構造配列を有するトライボ発電デバイス
    柳田幸祐, 飯田泰基, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋, 鈴木孝明
    令和２年度・電気学会Ｅ部門総合研究会, Jul. 2020
    Oral presentation

  • 閾値自己補償整流昇圧回路による振動発電素子の実効帯域向上
    遠山幸也, 本間浩章, 年吉 洋, 山根大輔
    令和２年度・電気学会Ｅ部門総合研究会, Jul. 2020
    Oral presentation

  • ダブルデッキ構造によるＭＥＭＳ振動発電素子の小型化
    本間浩章, 年吉 洋
    応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術研究会・第１１回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Nov. 2019
    Oral presentation

  • ＭＥＭＳ振動発電素子の浮遊容量削減法の検証
    池野 翔, 本間浩章, 遠山幸也, 年吉 洋
    電気学会・第３６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Nov. 2019
    Poster presentation

  • １．３ｍＷ級ＭＥＭＳ環境振動発電素子とＩｏＴ応用大容量キャパシタへの高速充電
    本間浩章, 年吉 洋
    電気学会・第３６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Nov. 2019
    Oral presentation

  • エネルギー回収効率９２％のＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタ
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋
    電気学会・第３６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Nov. 2019
    Oral presentation

  • エレクトレット電位増強による非定常振動発電特性の向上
    本間浩章, 遠山幸也, 年吉 洋
    電気学会Ｅ部門総合研究会（マイクロマシン・センサシステム研究会, Jul. 2019
    Oral presentation

  • IEEE MEMS 2019参加報告 IoT関連（エナジーハーベスタ、バッテリーフリーセンサ）
    Hiroaki Honma
    有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム第31回定例会, Mar. 2019
    [Invited]

  • IEEE MEMS2019・参加報告 IoT関連（エナジーハーベスタ, バッテリーフリーセンサ）
    本間 浩章
    第31回定例会 有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム, Mar. 2019
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • ＭＥＭＳエレクトレット振動発電デバイスの産業化
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 本間浩章, 藤田博之, 橋口 原, 年吉 洋
    第６６回 応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2019
    [Invited]
    Invited oral presentation

  • 共振維持回路による高効率ＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタ
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 森田將裕, 本間浩章, 橋口 原, 年吉 洋
    第３５回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Nov. 2018
    Poster presentation

  • ランダム環境振動加速度波形データを用いた振動発電素子の等価回路挙動解析
    遠山幸也, 本間浩章, 年吉 洋
    第３５回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）, Oct. 2018
    Poster presentation

  • 高パワー密度（３１ｍＷ／ｃｍ３／Ｇ２）を実現したＭＥＭＳ環境振動発電素子とそのＩｏＴ応用
    本間浩章, 山田駿介, 三屋裕幸, 橋口 原, 年吉 洋
    Oct. 2018
    Poster presentation

  • 左右対称構造により静電拘束力を抑制した低Ｇ用のＭＥＭＳ振動発電素子
    本間浩章, 三屋裕幸, 橋口 原, 藤田博之, 年吉 洋
    応用物理学会 集積化ＭＥＭＳ技術研究会主催 第９回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2017
    Oral presentation

  • 左右対称エレクトレットくし歯電極による広帯域振動エナジーハーベスタ応用
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 穴井大輔, 橋口 原, 本間浩章, 藤田博之, 年吉 洋
    電気学会 第３４回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • インパルス振動に特化したコインサイズエナジーハーベスタ
    三屋裕幸, 芦澤久幸, 橋口 原, 本間浩章, 藤田博之, 年吉 洋
    電気学会・第３３回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Oct. 2016
    Oral presentation

  • MEMS技術による表面プラズモン異常透過現象の励起波長連続可変制御
    本間 浩章, 高橋 一浩, 石田 誠, 澤田 和明
    第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016
    Oral presentation

  • ナノインプリント技術を用いた金属-誘電体-金属サブ波長格子の製作
    満留 将人, 本間 浩章, 伊藤 伸太郎, 石田 誠, 澤田 和明, 高橋 一浩
    第63回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2016
    Oral presentation

  • 金属ナノ周期構造を利用したプラズモニックカラーシートの製作
    熊谷隼人, 本間浩章, 石田誠, 澤田和明, 高橋一浩
    電子情報通信学会, Aug. 2015

  • 静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, Jul. 2015

  • アルミナノワイヤアレイを用いた表面プラズモンカラーフィルタの製作と可変カラーフィルタへの検討
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術研究会・第６回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Oct. 2014

  • アルミ微細周期構造による表面プラズモンを利用したフレキシブルカラーフィルムの製作
    熊谷隼人, 本間浩章, 高橋一浩, 石田 誠, 澤田和明
    第７５回応用物理学会関係連合講演会, Sep. 2014

  • アルミナノワイヤを用いた透過型表面プラズモンカラーフィルタの製作
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, May 2014

  • サブ波長格子を用いた３．３ V駆動透過型可変減衰器
    本間浩章, 高橋一浩, 石井仁, 石田誠, 澤田和明
    応用物理学会・集積化ＭＥＭＳ技術研究会・第５回集積化ＭＥＭＳシンポジウム, Nov. 2013

  • 微小ゲルカプセルを用いたMEMS構造物のスラリー充填配置
    荒木慶太, 大橋亮太, 本間浩章, 高橋一浩, 澤田和明, 石田 誠, 村上裕二
    電気学会・第３０回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Nov. 2013

  • サブ波長格子を用いた透過型可変減衰器の製作
    本間浩章, 高橋一浩, 石井仁, 石田誠, 澤田和明
    第７４回応用物理学会関係連合講演会, Sep. 2013

  • ディスクリート型微小構造体を用いたマイクロ化学デバイスの新規製作法によるＭＥＭＳミキサ
    荒木慶太, 大橋亮太, 本間浩章, 高橋一浩, 澤田和明, 石田 誠, 村上裕二
    電気学会全国大会, Mar. 2013

  • ＮＥＭＳ静電アクチュエータを用いた近赤外可変フィルタの設計
    平尾直也, 本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    電気関係学会東海支部連合大会, Sep. 2012

  • 静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ
    本間浩章, 宮尾肇, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    電子情報通信学会, May 2012

  • サブ波長格子を利用した低電圧駆動ＮＥＭＳ可変カラーフィルタの製作
    本間浩章, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    第５９回応用物理学会関係連合講演会, Mar. 2012

  • ＮＥＭＳ可変カラーフィルタとＬＳＩ駆動回路の集積化
    本間浩章, 宮尾肇, 高橋一浩, 二川雅登, 太斎文博, 石田誠, 澤田和明
    電気学会・第２８回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, Sep. 2011

  • サブ波長格子を用いたNEMS可変カラーフィルタの製作
    本間浩章, 宮尾肇, 高橋一浩, 石田誠, 澤田和明
    電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, Jul. 2011

■ Affiliated Academic Society
  • 集積化MEMS技術研究会

  • THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN

  • THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

  • 日本機械学会

■ Research Themes
  • 共振の自己最適化機能により充電を継続可能なMEMS振動発電
    本間 浩章
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 神戸大学, Apr. 2024 - Mar. 2027

  • 公益財団法人 NSKメカトロニクス技術高度化財団, 研究助成, 神戸大学大学院工学研究科 機械工学専攻, Apr. 2024 - Feb. 2026

  • 道路環境から常時発電するエナジーハーベスタと設備監視システムへの応用検討
    公益信託NEXCO関係会社高速道路防災対策等に関する支援基金, 研究助成, Kobe University, Apr. 2024 - Mar. 2025, Principal investigator

  • エレクトレットにより帯域を拡張するゼロパワー加速度センサの実現
    本間浩章
    公益財団法人 マツダ財団, マツダ研究助成, 神戸大学大学院工学研究科, Sep. 2023 - Mar. 2025

  • グラニュールMEMS振動発電（研究領域: リアル空間を強靭にするハードウェアの未来）
    本間浩章
    国立研究開発法人科学技術振興機構, 戦略的創造研究推進事業（ACT-X）, 東京大学 生産技術研究所, Oct. 2022 - Mar. 2025, Principal investigator

  • エレクトレット型ゼロパワーMEMS 振動センサ
    神戸大学工学振興会, 研究プロジ ェクト支援事業, Jul. 2023 - Mar. 2024

  • Resonant frequency tracking system for MEMS vibrational energy harvesters
    本間 浩章
    Japan Society for the Promotion of Science, Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Early-Career Scientists, Grant-in-Aid for Early-Career Scientists, The University of Tokyo, 01 Apr. 2021 - 31 Mar. 2023, Principal investigator
    本研究は、環境振動源の周波数変動に連動しMEMS振動発電素子の共振周波数をシフトさせるオートコントロールシステムの実現に挑戦する。特に、外部インピーダンス変化による振動発電素子の共振シフト効果を応用し、外部振動と共振周波数を比較する位相比較器により後段インピーダンスを自動で調整する、発電出力の自動調整システムを実証する。本研究の実現は、共振型振動発電素子の出力性能を維持したまま周波数への過敏さを緩和するため、刻一刻と変わる実環境でも振動発電素子の最大発電性能を発揮し続けることを可能にする。 研究代表者らはこれまでに、櫛歯構造の側面にエレクトレットを形成する技術を用いてエレクトレット型ＭＥＭＳ振動発電素子を実現し、共振時に最大発電電力が1.2ミリワットを超えることを実証した。この発電電力により無線回路を1分以下の間隔で間欠駆動させた。また、外部負荷により共振周波数を調整可能であることも実証している。 本年度は、発電出力と同時にMEMS発電機構の位相をモニタ可能なエレクトレットMEMS型振動発電素子を開発し、共振周波数付近での位相変化を実測することに成功した。櫛歯電極の一部が発電用と位相モニタ用に分離しており互いに影響はしない。さらに、2端子入力EX-OR回路を使った位相比較器を提案しシステム全体の等価回路モデルからその有効性を解析的に検証した。また、システムに必要な部品を選定しブレットボード上に試作を行った。現在、位相モニタ可能な振動発電素子とシステムを一体化し、発電出力の自動調整システム全体の実証実験に取り組んでいる。

  • A High-Efficiency MEMS Energy Harvester for Stochastic Environmental Vibrations
    Honma Hiroaki
    Japan Society for the Promotion of Science, Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for Early-Career Scientists, Grant-in-Aid for Early-Career Scientists, The University of Tokyo, 01 Apr. 2019 - 31 Mar. 2021
    A design strategy is presented to simultaneously enhance the bandwidth and the sensitivity of electrostatic vibrational energy harvester without excessively depending on the velocity amplification through mechanical resonance. Instead, the new design uses comb-electrodes of very short-stroke that are finished with an extremely high density electret film, thereby enhancing the mechano-electric power conversion efficiency, leading to a 3.6-fold expansion of frequency bandwidth from 18 Hz to 64 Hz around a center frequency of around 100 Hz when the electret potential is 1.5-fold enhanced from -200 V to -300 V. Normalized power density as large as 0.7 mW/cm3/G2 is confirmed.

  • 表面プラズモンを用いた可変カラーフィルタの製作
    本間 浩章
    Japan Society for the Promotion of Science, Grants-in-Aid for Scientific Research Grant-in-Aid for JSPS Fellows, Grant-in-Aid for JSPS Fellows, Toyohashi University of Technology, 24 Apr. 2015 - 31 Mar. 2017
    本研究では、金属ナノ格子と周期構造を制御するMEMSアクチュエータの一体化により、表面プラズモン異常透過の励起波長の連続可変制御を達成した。 周期500 nmのアルミ格子と静電アクチュエータを微小バネにより接続し基板貫通孔上に配置した表面プラズモン可変フィルタを設計，製作した。静電アクチュエータに印加される駆動電圧を0 Vから60 Vへ増加させることで、静電アクチュエータの横変位が得られアルミ格子の周期は500 nmから642 nmへ拡張された。これにより、表面プラズモンの励起波長は周期に依存するため可視域において124 nmの連続シフトが得られた。また、可変フィルタからの透過光の色度は、電圧の増加に伴い円を描き色度図上をシフトした。 これらの結果はMEMSアクチュエータによる表面プラズモン励起波長の連続制御に成功したことを示しており，周囲の誘電率を変化させる既存の方法と比較し帯域が広く、100 nm以上の連続シフトを可視域に与えることに成功した。また、色度の変化は透過光の色変化を表しており、可視域の全色を電圧制御により選択的に透過させる機能を持つ可能性を示した。 さらに、彩度向上のため、表面プラズモン異常透過を強める金属と誘電体の中空積層格子をMEMSアクチュエータと一体化した可変プラズモニックカラーフィルタを提案した。予備検討として、アルミとシリコン酸化膜の積層格子を基板貫通孔上に配置した中空プラズモニックカラーフィルタを製作し、励起波長における90%以上の透過率を実現した。 よって、1素子で複数の波長帯域を選択的に透過させる可変プラズモニックカラーフィルタの実現の見通しが立ったと言える．これは、表示素子に限らず1 μm以下の微小領域においてカラースペクトルを得ることも可能になると予想され、バイオ・メディカル分野に新たな知見を与えることが期待できる．

■ Industrial Property Rights
  • 環境発電装置
    矢嶋 赳彬, 年吉 洋, 本間 浩章, 遠山 幸也, 三屋 裕幸
    特願2019-116310(P2019-116310), 24 Jun. 2019, 株式会社鷺宮製作所, 特開2021-2963(P2021-2963A), 07 Jan. 2021
    Patent right
    IRI

  • 静電型デバイス、静電型デバイス中間体および製造方法
    年吉洋, 本間浩章, 三屋裕幸
    特願2019-106231(P2019-106231), 06 Jun. 2019, 国立大学法人 東京大学, 株式会社鷺宮製作所, 特開2020-202614(P2020-202614A), 17 Dec. 2020
    Patent right
    IRI

  • 静電型デバイスおよび静電型デバイス製造方法
    年吉洋, 本間浩章, 三屋裕幸
    特願2019-106230(P2019-106230), 06 Jun. 2019, 国立大学法人 東京大学, 株式会社鷺宮製作所, 特開2020-202613(P2020-202613A), 17 Dec. 2020
    Patent right
    IRI

  • 振動発電素子
    年吉 洋, 本間 浩章, 三屋 裕幸
    特願2018-215630(P2018-215630), 16 Nov. 2018, 国立大学法人 東京大学, 株式会社鷺宮製作所, 特開2020-88935(P2020-88935A), 04 Jun. 2020, WO2020-153362, 30 Jul. 2020
    Patent right
    IRI

  • 櫛歯型素子の製造方法
    年吉 洋, 本間 浩章, 三屋 裕幸
    特願2018-215631(P2018-215631), 16 Nov. 2018, 国立大学法人 東京大学, 株式会社鷺宮製作所, 特開2020-82223(P2020-82223A), 04 Jun. 2020, 特許第6927530号, 10 Aug. 2021
    Patent right
    IRI

  • カラーフィルタならびにこれを使用する発光装置および表示装置
    高橋 一浩, 本間 浩章
    特願2014-106462, 22 May 2014, 国立大学法人豊橋技術科学大学, 特開2015-222331, 10 Dec. 2015, 特許第6598184号, 11 Oct. 2019, 11 Oct. 2019
    Patent right
    IRI

  • 振動発電装置
    山根大輔, 石原昇, 年吉 洋, 本間 浩章
    特願2018-130894(P2018-130894), 10 Jul. 2018, 国立大学法人東京工業大学, 国立大学法人 東京大学, 特開2020-010541, 16 Jan. 2020
    Patent right
    IRI

  • カラーフィルタならびにこれを使用する発光装置および表示装置
    高橋 一浩, 本間 浩章
    特願2014-106462, 22 May 2014, 国立大学法人豊橋技術科学大学, 特開2015-222331, 10 Dec. 2015
    Patent right
    IRI

■ Media Coverage
■ Academic Contribution Activities
  • 「専門高校からの進学」講演会
    神戸市立科学技術高等学校
    13 Nov. 2024 - 13 Nov. 2024
    Others

  • 「専門高校からの進学」講演会
    神戸市立科学技術高等学校
    18 Oct. 2023 - 18 Oct. 2023
    Others

  • 「課題研究」神戸大学・本間准教授参観
    神戸市立科学技術高等学校
    22 Jun. 2023 - 22 Jun. 2023, 神戸市立科学技術高等学校

  • 【動態展示】ＭＥＭＳエナジーハーベスタによる環境振動発電のデモ
    【動態展示】ＭＥＭＳエナジーハーベスタによる環境振動発電のデモ
    ＮＥＤＯ効率的・高速処理を可能とするＡＩチップ・次世代コンピューティングの技術開発・高度なＩｏＴ社会を実現する横断的技術開発ワークショップ★デモセッション～みんなで作る人工知能～
    12 Nov. 2018 - 12 Nov. 2018, 早稲田大学・西早稲田キャンパス６３号館２Ｆ０３〜０５会議室
    Competition etc

  • エレクトレット型ＭＥＭＳ振動発電素子の実用化
    エレクトレット型ＭＥＭＳ振動発電素子の実用化
    ＪＳＴ戦略的創造研究推進事業「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」公開シンポジウム講演会「ここまで来た！環境発電技術の最前線」
    07 Nov. 2018 - 08 Nov. 2018, 早稲田大学・西早稲田キャンパス６３号館
    Competition etc

  • 【動態展示】エレクトレットＭＥＭＳ振動発電
    【動態展示】エレクトレットＭＥＭＳ振動発電
    ＪＳＴ戦略的創造研究推進事業「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」様々な環境発電技術が集結！
    07 Nov. 2018 - 08 Nov. 2018, 早稲田大学・西早稲田キャンパス６３号館
    Competition etc

  • 【ポスター展示】振動発電素子のエネルギー変換効率モデル
    【ポスター展示】振動発電素子のエネルギー変換効率モデル
    ＪＳＴ戦略的創造研究推進事業「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」公開シンポジウム 様々な環境発電技術が集結！
    07 Nov. 2018 - 08 Nov. 2018, 早稲田大学・西早稲田キャンパス６３号館
    Competition etc

TOP